Баннер 13

Дети категории

81. Электроприборы и оборудование

81. Электроприборы и оборудование (7)

Баннер 13

 

81. Электроприборы и оборудование

Редактор глав: Н. А. Смит


Содержание

Таблицы и рисунки

Общий Профиль
Н. А. Смит

Производство свинцово-кислотных аккумуляторов
Барри П. Келли

батареи
Н. А. Смит

Производство электрических кабелей
Дэвид А. О'Мэлли

Производство электрических ламп и трубок
Альберт М. Зелински

Производство бытовой электротехники
Н. А. Смит и В. Клост

Вопросы окружающей среды и общественного здравоохранения
Питтман, Александр

таблицы

Щелкните ссылку ниже, чтобы просмотреть таблицу в контексте статьи.

1. Состав обычных батарей
2. Производство: бытовые электроприборы

цифры

Наведите курсор на миниатюру, чтобы увидеть подпись к рисунку, щелкните, чтобы увидеть рисунок в контексте статьи.

ЭЛА020Ф1ЭЛА030Ф1ЭЛА030Ф2ЭЛА030Ф3ЭЛА060Ф1

Просмотр элементов ...
82. Металлообрабатывающая и металлообрабатывающая промышленность.

82. Металлообрабатывающая и металлообрабатывающая промышленность (14)

Баннер 13

 

82. Металлообрабатывающая и металлообрабатывающая промышленность.

Редактор глав: Майкл Макканн


Содержание

Таблицы и рисунки

Общий Профиль

Плавильные и рафинирующие операции

Плавка и рафинирование
Пекка Рото

Выплавка и рафинирование меди, свинца и цинка

Выплавка и рафинирование алюминия
Бертрам Д. Динман

Плавка и аффинаж золота
И. Д. Гадаскина и Л. Рызик

Металлообработка и металлообработка

Литейные цеха
Франклин Э. Мирер

Ковка и штамповка
Роберт М. Парк

Сварка и термическая резка
Филип А. Платкоу и Г. С. Линдон

Токарные станки
Тони Ретч

Шлифовка и полировка
К. Велиндер

Промышленные смазочные материалы, жидкости для металлообработки и автомобильные масла
Ричард С. Краус

Поверхностная обработка металлов
Дж. Г. Джонс, Дж. Р. Беван, Дж. А. Кэттон, А. Зобер, Н. Фиш, К. М. Морс, Г. Томас, М. А. Эль Кадим и Филип А. Платкоу

Восстановление металла
Мелвин Э. Кэссиди и Ричард Д. Рингенвальд-младший.

Экологические проблемы в отделке металлов и промышленных покрытиях
Стюарт Форбс

таблицы

Щелкните ссылку ниже, чтобы просмотреть таблицу в контексте статьи.

1. Входы и выходы для плавки меди
2. Входы и выходы для плавки свинца
3. Входы и выходы для плавки цинка
4. Входы и выходы для плавки алюминия
5. Типы литейных печей
6. Входы технологических материалов и выходы загрязнения
7. Сварочные процессы: описание и опасности
8. Краткое описание опасностей
9. Элементы управления для алюминия, по операциям
10. Контроль меди по операциям
11. Контроль свинца по операциям
12. Контроль цинка по операциям
13. Контроль магния по операциям
14. Контроль ртути по операциям
15. Контроль никеля по операциям
16. Контроль драгоценных металлов
17. Контроль кадмия по операциям
18. Контроль селена по операциям
19. Контроль кобальта по операциям
20. Контроль олова по операциям
21. Элементы управления для титана, по операциям

цифры

Наведите курсор на миниатюру, чтобы увидеть подпись к рисунку, щелкните, чтобы увидеть рисунок в контексте статьи.

МЕТ030Ф1МЕТ040Ф1МЕТ040Ф2МЕТ050Ф1МЕТ060Ф1МЕТ070Ф1МЕТ110Ф1


Нажмите, чтобы вернуться к началу страницы

Просмотр элементов ...
83. Микроэлектроника и полупроводники

83. Микроэлектроника и полупроводники (7)

Баннер 13

 

83. Микроэлектроника и полупроводники

Редактор глав: Майкл Э. Уильямс


Содержание

Таблицы и рисунки

Общий Профиль
Майкл Э. Уильямс

Производство кремниевых полупроводников
Дэвид Г. Болдуин, Джеймс Р. Рубин и Афсане Джерами

Жидкокристаллические дисплеи
Дэвид Г. Болдуин, Джеймс Р. Рубин и Афсане Джерами

Производство полупроводников III-V
Дэвид Г. Болдуин, Афсане Джерами и Джеймс Р. Рубин

Печатная плата и сборка компьютера
Майкл Э. Уильямс

Воздействие на здоровье и модели заболеваний
Дональд В. Ласситер

Вопросы окружающей среды и общественного здравоохранения
Корки Чу

таблицы

Щелкните ссылку ниже, чтобы просмотреть таблицу в контексте статьи.

1. Системы фоторезистов
2. Инструмент для снятия фоторезиста
3. Мокрые химические травители
4. Газы для плазменного травления и травленые материалы
5. Добавки для формирования соединения для диффузии
6. Основные категории кремниевой эпитаксии
7. Основные категории ССЗ
8. Чистка плоскопанельных дисплеев
9. Процесс PWB: окружающая среда, здоровье и безопасность
10. Производство и контроль отходов PWB
11. Производство и контроль отходов ПХД
12. Образование отходов и контроль
13. Матрица приоритетных потребностей

цифры

Наведите курсор на миниатюру, чтобы увидеть подпись к рисунку, щелкните, чтобы увидеть рисунок в контексте статьи.

MIC060F7МИКО10Ф2MIC010F3MIC020F3MIC030F1MIC050F4МИКО50Ф5MIC050F6MIC060F6MIC060F7MIC060F2MIC060F3MIC060F4MIC060F5


Нажмите, чтобы вернуться к началу страницы

Просмотр элементов ...
84. Стекло, керамика и сопутствующие материалы.

84. Стекло, керамика и сопутствующие материалы (3)

Баннер 13

 

84. Стекло, керамика и сопутствующие материалы.

Редакторы глав: Джоэл Бендер и Джонатан П. Хеллерштейн


Содержание

Таблицы и рисунки

Стекло, керамика и родственные материалы
Джонатан П. Хеллерштейн, Джоэл Бендер, Джон Г. Хэдли и Чарльз М. Хохман

     Практический пример: оптические волокна
     Джордж Р. Осборн

     Практический пример: синтетические драгоценные камни
     Василий Дельфин

таблицы

Щелкните ссылку ниже, чтобы просмотреть таблицу в контексте статьи.

1. Типичные составляющие тела
2. Производственные процессы
3. Отдельные химические добавки
4. Использование огнеупоров в промышленности США
5. Потенциальные угрозы здоровью и безопасности
6. Несмертельные профессиональные травмы и заболевания

цифры

Наведите курсор на миниатюру, чтобы увидеть подпись к рисунку, щелкните, чтобы увидеть рисунок в контексте статьи.

POT010F1POT010F2POT010F3POT010F4POT010F5POT010F6POT010F7POT010F8POT010F9POT10F10POT10F25POT10F11POT10F12POT10F13POT10F14POT10F15POT10F16POT10F17POT10F18POT10F19POT10F20POT10F21POT10F22POT10F23POT10F24POT020F2POT020F1

Просмотр элементов ...
85. Полиграфия, фотография и репродукция.

85. Полиграфия, фотография и репродукция (6)

Баннер 13

 

85. Полиграфия, фотография и репродукция.

Редактор главы: Дэвид Ричардсон


Содержание

Таблицы и рисунки

Печать и публикации
Гордон С. Миллер

Услуги по воспроизведению и тиражированию
Роберт В. Килппер

Проблемы со здоровьем и модели заболеваний
Барри Р. Фридлендер

Обзор экологических проблем
Дэниел Р. Инглиш

Коммерческие фотолаборатории
Дэвид Ричардсон

таблицы

Щелкните ссылку ниже, чтобы просмотреть таблицу в контексте статьи.

1. Экспозиции в полиграфической промышленности
2. Печать торговых рисков смертности
3. Химическое воздействие при обработке

цифры

Наведите курсор на миниатюру, чтобы увидеть подпись к рисунку, щелкните, чтобы увидеть рисунок в контексте статьи.

ПРИ020Ф1ПРИ040Ф1ПРИ100Ф1ПРИ100Ф2ПРИ100Ф3ПРИ100Ф4

Просмотр элементов ...
86. Деревообработка

86. Деревообработка (5)

Баннер 13

 

86. Деревообработка

Редактор главы: Джон Пэриш


Содержание

Таблицы и рисунки

Общий Профиль
Дебра Осински

Процессы деревообработки
Джон К. Пэриш

Маршрутизаторы
Победить Вегмюллера

Строгальные станки по дереву
Победить Вегмюллера

Воздействие на здоровье и модели заболеваний
Леон Дж. Уоршоу

таблицы

Щелкните ссылку ниже, чтобы просмотреть таблицу в контексте статьи.

1. Ядовитые, аллергенные и биологически активные породы древесины

цифры

Наведите курсор на миниатюру, чтобы увидеть подпись к рисунку, щелкните, чтобы увидеть рисунок в контексте статьи.

WDI10F12WDI010F2WDI010F3WDI010F1WDI10F13WDI010F6WDI010F8WDI010F9WDI010F4WDI010F5WDI010F7WDI10F11WDI10F10WDI020F2WDI020F3WDI010F8WDI025F3WDI25F10

Просмотр элементов ...
Среда, Март 16 2011 21: 30

Сварка и термическая резка

Эта статья является переработкой статьи Г.С. Линдона «Сварка и термическая резка» из 3-го издания Энциклопедии по охране труда и технике безопасности.

Обзор процесса

сварка это общий термин, относящийся к соединению кусков металла на поверхностях стыков, которые превращаются в пластик или жидкость под действием тепла или давления, или того и другого. Три распространенных прямых источника тепла:

  1. пламя, образующееся при сгорании топливного газа с воздухом или кислородом
  2. электрическая дуга, возникающая между электродом и заготовкой или между двумя электродами
  3. электрическое сопротивление, оказываемое прохождению тока между двумя или более деталями.

 

Другие источники тепла для сварки обсуждаются ниже (см. таблицу 1).

Таблица 1. Входы технологических материалов и выбросы загрязняющих веществ при выплавке и рафинировании свинца

Обработка

Вклад материала

Выбросы в атмосферу

Технологические отходы

Прочие отходы

Спекание свинца

Свинцовая руда, железо, кремнезем, известняковый флюс, кокс, сода, зола, пирит, цинк, каустик, мешочная пыль

Диоксид серы, твердые частицы, содержащие кадмий и свинец

   

Плавка свинца

Свинцовый агломерат, кокс

Диоксид серы, твердые частицы, содержащие кадмий и свинец

Сточные воды промывки завода, вода грануляции шлака

Шлак, содержащий примеси, такие как цинк, железо, кремнезем и известь, твердые частицы поверхностных водоемов

Свинцовый шлак

Слиток свинца, кальцинированная сода, сера, рукавная пыль, кокс

   

Шлак, содержащий такие примеси, как медь, поверхностные твердые включения

Очистка свинца

Свинцовый шлак

     

 

In газовая сварка и резка, кислород или воздух и горючий газ подаются в паяльную трубку (горелку), в которой они смешиваются перед сгоранием в сопле. Паяльную трубку обычно держат в руках (см. рис. 1). Тепло расплавляет металлические поверхности соединяемых деталей, заставляя их течь вместе. Часто добавляют присадочный металл или сплав. Сплав часто имеет более низкую температуру плавления, чем соединяемые детали. В этом случае две детали, как правило, не доводят до температуры плавления (пайка твердым припоем). Для предотвращения окисления и облегчения соединения можно использовать химические флюсы.

Рис. 1. Газовая сварка с горелкой и стержнем из фильтрующего металла. Сварщик защищен кожаным фартуком, рукавицами и очками.

МЕТ040Ф1

При дуговой сварке дуга зажигается между электродом и заготовкой. Электрод может быть подключен к источнику переменного тока (AC) или постоянного тока (DC). Температура этой операции составляет около 4,000°C, когда заготовки сплавляются друг с другом. Обычно необходимо добавить расплавленный металл в соединение либо путем расплавления самого электрода (процессы с плавящимся электродом), либо путем расплавления отдельного присадочного стержня, не проводящего ток (процессы с неплавящимся электродом).

Наиболее обычная дуговая сварка выполняется вручную с помощью плавящегося электрода с покрытием (с покрытием) в ручном электрододержателе. Сварка также выполняется многими полуавтоматическими или полностью автоматическими процессами электросварки, такими как контактная сварка или непрерывная подача электрода.

Во время процесса сварки место сварки должно быть защищено от атмосферы, чтобы предотвратить окисление и загрязнение. Существует два типа защиты: флюсовые покрытия и защита от инертного газа. В дуговая сварка под флюсом, расходуемый электрод состоит из металлического сердечника, окруженного флюсовым покрытием, которое обычно представляет собой сложную смесь минеральных и других компонентов. В процессе сварки флюс плавится, покрывая расплавленный металл шлаком и окружая зону сварки защитной газовой атмосферой (например, двуокисью углерода), создаваемой нагретым флюсом. После сварки шлак необходимо удалить, часто путем скалывания.

In дуговая сварка в защитных газах, слой инертного газа изолирует атмосферу и предотвращает окисление и загрязнение в процессе сварки. В качестве инертных газов обычно используют аргон, гелий, азот или углекислый газ. Выбор газа зависит от характера свариваемых материалов. Двумя наиболее популярными типами дуговой сварки в защитных газах являются сварка металлом и вольфрамом в среде инертного газа (MIG и TIG).

Сварка сопротивлением включает использование электрического сопротивления прохождению сильного тока при низком напряжении через свариваемые компоненты для выработки тепла для плавления металла. Тепло, выделяющееся на границе раздела компонентов, доводит их до температур сварки.

Опасности и их предотвращение

Любая сварка сопряжена с опасностью возгорания, ожогов, лучистого тепла (инфракрасного излучения) и вдыхания паров металлов и других загрязняющих веществ. Другие опасности, связанные с конкретными сварочными процессами, включают опасность поражения электрическим током, шум, ультрафиолетовое излучение, озон, двуокись азота, окись углерода, фториды, баллоны со сжатым газом и взрывы. Дополнительные сведения см. в таблице 2.

Таблица 2. Описание и опасности сварочных процессов

Процесс сварки

Описание

опасности

Газовая сварка и резка

сварка

Горелка расплавляет металлическую поверхность и присадочный стержень, вызывая образование соединения.

Пары металлов, двуокись азота, угарный газ, шум, ожоги, инфракрасное излучение, пожар, взрывы

пайка твердым припоем

Две металлические поверхности соединяются без расплавления металла. Температура плавления присадочного металла выше 450 °С. Нагрев осуществляется пламенным нагревом, резистивным нагревом и индукционным нагревом.

Металлические пары (особенно кадмия), фториды, пожар, взрыв, ожоги

паять

Аналогично пайке, за исключением того, что температура плавления присадочного металла ниже 450 °C. Нагрев также производится с помощью паяльника.

Флюсы, пары свинца, ожоги

Резка металла и строжка пламенем

В одном варианте металл нагревается пламенем, а струя чистого кислорода направляется на точку реза и перемещается по линии реза. При строжке пламенем удаляется полоса поверхностного металла, но металл не прорезается.

Пары металлов, двуокись азота, угарный газ, шум, ожоги, инфракрасное излучение, пожар, взрывы

Сварка давлением газа

Детали нагреваются газовыми струями под давлением и сплавляются друг с другом.

Пары металлов, двуокись азота, угарный газ, шум, ожоги, инфракрасное излучение, пожар, взрывы

Дуговая сварка под флюсом

Дуговая сварка защищенным металлом (SMAC); дуговая сварка «палочкой»; ручная дуговая сварка металлическим электродом (ММА); сварка открытой дугой

Использует расходуемый электрод, состоящий из металлического сердечника, окруженного флюсовым покрытием.

Пары металлов, фториды (особенно с электродами с низким содержанием водорода), инфракрасное и ультрафиолетовое излучение, ожоги, электричество, огонь; также шум, озон, диоксид азота

Дуговая сварка под флюсом (SAW)

На заготовку наносится слой гранулированного флюса, а затем расходуемый электрод из оголенной металлической проволоки. Дуга расплавляет флюс, образуя защитный экран из расплавленного металла в зоне сварки.

Фториды, огонь, ожоги, инфракрасное излучение, электричество; также пары металлов, шум, ультрафиолетовое излучение, озон и диоксид азота.

Дуговая сварка в защитных газах

Металлический инертный газ (МИГ); дуговая сварка металлическим газом (GMAC)

Электрод обычно представляет собой неизолированную расходуемую проволоку того же состава, что и металл сварного шва, и непрерывно подается на дугу.

Ультрафиолетовое излучение, пары металлов, озон, окись углерода (с CO2 газ), двуокись азота, огонь, ожоги, инфракрасное излучение, электричество, фториды, шум

Вольфрамовый инертный газ (TIG); дуговая сварка вольфрамовым электродом в среде защитного газа (GTAW); гелиарк

Вольфрамовый электрод является неплавящимся, а присадочный металл вводится в дугу в качестве расходуемого вручную.

Ультрафиолетовое излучение, пары металлов, озон, диоксид азота, огонь, ожоги, инфракрасное излучение, электричество, шум, фториды, окись углерода


Плазменно-дуговая сварка (PAW) и плазменно-дуговое напыление; вольфрамовая дуговая резка

Аналогичен сварке TIG, за исключением того, что дуга и поток инертных газов проходят через небольшое отверстие, прежде чем достигнуть заготовки, создавая «плазму» высокоионизированного газа, температура которой может достигать более 33,400 XNUMX °C. Это также используется для металлизации.

Пары металлов, озон, диоксид азота, ультрафиолетовое и инфракрасное излучение, шум; огонь, ожоги, электричество, фториды, угарный газ, возможные рентгеновские лучи

Дуговая сварка под флюсом (FCAW); сварка металлов в активном газе (MAG)

Использует расходуемый электрод с флюсовой сердцевиной; может иметь защиту от углекислого газа (MAG)

Ультрафиолетовое излучение, пары металлов, озон, окись углерода (с CO2 газ), двуокись азота, огонь, ожоги, инфракрасное излучение, электричество, фториды, шум

Электросварка сопротивлением

Сварка сопротивлением (точечная, шовная, выступающая или стыковая сварка)

Через два компонента от электродов протекает сильный ток при низком напряжении. Тепло, выделяющееся на границе раздела компонентов, доводит их до температур сварки. Во время прохождения тока давление электродов производит кузнечный сварной шов. Флюс и присадочный металл не используются.

Озон, шум (иногда), опасность машинного оборудования, огонь, ожоги, электрические пары, пары металлов

Электрошлаковая сварка

Используется для вертикальной стыковой сварки. Заготовки устанавливают вертикально, с зазором между ними, а с одной или с обеих сторон стыка укладывают медные пластины или башмаки, образуя ванну. Дуга возникает под слоем флюса между одной или несколькими непрерывно подаваемыми электродными проволоками и металлической пластиной. Образуется ванна расплавленного металла, защищенная расплавленным флюсом или шлаком, который удерживается в расплавленном состоянии за счет сопротивления току, проходящему между электродом и заготовками. Это тепло, генерируемое сопротивлением, расплавляет стороны соединения и электродную проволоку, заполняя соединение и образуя сварной шов. В процессе сварки расплавленный металл и шлак удерживаются на месте за счет смещения медных пластин.

Ожоги, огонь, инфракрасное излучение, электричество, пары металлов

Сварка оплавлением

Две свариваемые металлические детали подключаются к низковольтному источнику сильного тока. Когда концы компонентов соприкасаются, протекает большой ток, вызывающий «оплавление» и доведение концов компонентов до температур сварки. Кузнечный шов получают давлением.

Электричество, ожоги, огонь, пары металла


Другие сварочные процессы

Электронно-лучевая сварка

Заготовка в вакуумной камере бомбардируется пучком электронов из электронной пушки под высоким напряжением. Энергия электронов преобразуется в тепло при ударе о заготовку, таким образом расплавляя металл и сплавляя заготовку.

Рентгеновские лучи под высоким напряжением, электрические разряды, ожоги, металлическая пыль, замкнутые пространства

Резка Arcair

Дуга зажигается между концом угольного электрода (в ручном электрододержателе с собственной подачей сжатого воздуха) и заготовкой. Образовавшийся расплавленный металл выдувается струями сжатого воздуха.

Пары металлов, окись углерода, двуокись азота, озон, огонь, ожоги, инфракрасное излучение, электрические

Сварка трением

Чисто механический метод сварки, при котором один компонент остается неподвижным, а другой вращается вокруг него под давлением. При трении выделяется тепло, и при температуре ковки вращение прекращается. Затем давление ковки воздействует на сварной шов.

Жара, ожоги, опасность машин

Лазерная сварка и сверление

Лазерные лучи могут использоваться в промышленных приложениях, требующих исключительно высокой точности, таких как миниатюрные сборки и микротехнологии в электронной промышленности или фильеры для производства искусственных волокон. Лазерный луч расплавляет и соединяет заготовки.

Электрическое, лазерное излучение, ультрафиолетовое излучение, огонь, ожоги, пары металлов, продукты разложения покрытий деталей

Сварка шпилек

Дуга зажигается между металлическим стержнем (действующим как электрод), удерживаемым в сварочном пистолете, и металлической пластиной, которую нужно соединить, и повышает температуру концов компонентов до точки плавления. Пистолет прижимает шпильку к пластине и приваривает ее. Экранирование обеспечивается керамическим наконечником, окружающим шпильку.

Металлические пары, инфракрасное и ультрафиолетовое излучение, ожоги, электричество, огонь, шум, озон, диоксид азота

Термитная сварка

Смесь порошка алюминия и порошка оксида металла (железо, медь и т. д.) воспламеняется в тигле, образуя расплавленный металл с выделением сильного тепла. Тигель открывается, и расплавленный металл стекает в свариваемую полость (окруженную песчаной формой). Это часто используется для ремонта отливок или поковок.

Пожар, взрыв, инфракрасное излучение, ожоги

 

Большая часть сварки выполняется не в мастерских, где обычно можно контролировать условия, а в полевых условиях при строительстве или ремонте крупных конструкций и машин (например, каркасов зданий, мостов и башен, кораблей, железнодорожных двигателей и автомобилей, тяжелого оборудования и т. д.). на). Сварщику, возможно, придется нести все свое оборудование на место, устанавливать его и работать в ограниченном пространстве или на строительных лесах. Физическое напряжение, чрезмерная усталость и травмы опорно-двигательного аппарата могут последовать за необходимостью тянуться, стоять на коленях или работать в других неудобных и неудобных положениях. Тепловой стресс может возникнуть в результате работы в теплую погоду и окклюзионного действия средств индивидуальной защиты, даже без выделения тепла в процессе сварки.

Баллоны со сжатым газом

В газосварочных установках высокого давления кислород и топливный газ (ацетилен, водород, городской газ, пропан) подаются к горелке из баллонов. Газы хранятся в этих баллонах под высоким давлением. Особая опасность пожара и взрыва, а также меры предосторожности для безопасного использования и хранения топливных газов также обсуждаются в других разделах настоящего документа. Энциклопедия. Следует соблюдать следующие меры предосторожности:

  • На баллоны следует устанавливать только регуляторы давления, предназначенные для используемого газа. Например, регулятор ацетилена не следует использовать с угольным газом или водородом (хотя его можно использовать с пропаном).
  • Паяльная трубка должна содержаться в хорошем состоянии и регулярно очищаться. Для очистки наконечников следует использовать палочку из твердой древесины или мягкую латунную проволоку. Их следует соединять с регуляторами специальными армированными брезентовыми шлангами, уложенными таким образом, чтобы их повреждение было маловероятным.
  • Баллоны с кислородом и ацетиленом должны храниться раздельно и только в огнеупорных помещениях, лишенных легковоспламеняющихся материалов, и должны быть расположены так, чтобы их можно было легко снять в случае пожара. Необходимо ознакомиться с местными строительными и противопожарными нормами.
  • Необходимо неукоснительно соблюдать действующую или рекомендуемую цветовую маркировку для идентификации баллонов и принадлежностей. Во многих странах в этой области применяются международно признанные цветовые коды, используемые для перевозки опасных материалов. Необходимость соблюдения единых международных стандартов в этом отношении подкрепляется соображениями безопасности, связанными с растущей международной миграцией промышленных рабочих.

 

Ацетиленовые генераторы

В процессе газовой сварки низкого давления ацетилен обычно производится в генераторах в результате реакции карбида кальция и воды. Затем газ подается к сварочной или газовой горелке, в которую подается кислород.

Стационарные электростанции следует устанавливать либо на открытом воздухе, либо в хорошо проветриваемом помещении вдали от основных цехов. Вентиляция машинного зала должна быть такой, чтобы не допускать образования взрывоопасной или токсичной атмосферы. должно быть обеспечено достаточное освещение; выключатели, другое электрооборудование и электрические лампы должны быть либо расположены вне здания, либо быть взрывозащищенными. Курение, огонь, факелы, сварочное оборудование или легковоспламеняющиеся материалы должны быть исключены из дома или поблизости от генератора под открытым небом. Многие из этих мер предосторожности применимы и к портативным генераторам. Портативные генераторы следует использовать, очищать и заряжать только на открытом воздухе или в хорошо проветриваемом помещении, вдали от любых легковоспламеняющихся материалов.

Карбид кальция поставляется в герметичных бочках. Материал должен храниться в сухом месте на платформе, приподнятой над уровнем пола. Магазины должны располагаться под навесом, а если они примыкают к другому зданию, то перегородка должна быть противопожарной. Складское помещение должно соответствующим образом вентилироваться через крышу. Барабаны следует открывать только непосредственно перед зарядкой генератора. Должен быть предоставлен и использован специальный открывалка; молоток и долото никогда не должны использоваться для вскрытия барабанов. Опасно оставлять бочки из карбида кальция рядом с любым источником воды.

Перед демонтажем генератора необходимо удалить весь карбид кальция и заполнить установку водой. Вода должна оставаться в установке не менее получаса, чтобы обеспечить отсутствие газа в каждой части. Демонтаж и обслуживание должны производиться только производителем оборудования или специалистом. При перезарядке или очистке генератора старый заряд нельзя использовать снова.

Кусочки карбида кальция, заклинившие в подающем механизме или прилипшие к частям установки, следует осторожно удалить, используя искробезопасные инструменты из бронзы или другого подходящего цветного сплава.

Все заинтересованные лица должны быть полностью ознакомлены с инструкциями производителя, которые должны быть размещены на видном месте. Также следует соблюдать следующие меры предосторожности:

  • Правильно сконструированный обратный клапан должен быть установлен между генератором и каждой нагнетательной трубкой, чтобы предотвратить обратный поток или обратный поток газа. Клапан следует регулярно осматривать после обратного выстрела, а уровень воды проверять ежедневно.
  • Должны использоваться только нагнетательные трубки инжекторного типа, предназначенные для работы при низком давлении. Для нагрева и резки иногда используется городской газ или водород при низком давлении. В этих случаях между каждой паяльной трубкой и подающей магистралью или трубопроводом должен быть установлен обратный клапан.
  • Взрыв может быть вызван «обратным ударом», возникающим в результате погружения наконечника сопла в ванну с расплавленным металлом, грязью или краской, или в результате любой другой остановки. Частицы шлака или металла, прилипшие к наконечнику, следует удалить. Наконечник также следует часто охлаждать.
  • Необходимо ознакомиться с местными строительными и противопожарными нормами.

 

Защита от пожаров и взрывов

При размещении сварочных работ следует учитывать окружающие стены, полы, близлежащие объекты и отходы. Необходимо соблюдать следующие процедуры:

  • Все горючие материалы должны быть удалены или должным образом защищены листовым металлом или другими подходящими материалами; никогда не следует использовать брезент.
  • Деревянные конструкции не должны поощряться или должны быть защищены аналогичным образом. Следует избегать деревянных полов.
  • Меры предосторожности следует принимать в случае отверстий или трещин в стенах и полах; легковоспламеняющиеся материалы в соседних комнатах или этажом ниже следует убрать в безопасное место. Необходимо ознакомиться с местными строительными и противопожарными нормами.
  • Подходящие средства пожаротушения всегда должны быть под рукой. В случае установки низкого давления, использующей ацетиленовый генератор, следует также иметь в наличии ведра с сухим песком; огнетушители сухого порошкового или углекислотного типов являются удовлетворительными. Ни в коем случае нельзя использовать воду.
  • Может потребоваться пожарная команда. Должно быть назначено ответственное лицо для наблюдения за участком в течение не менее получаса после завершения работ, чтобы справиться с любой вспышкой пожара.
  • Поскольку при наличии в воздухе газообразного ацетилена в любой пропорции от 2 до 80% могут произойти взрывы, для обеспечения отсутствия утечек газа требуются адекватная вентиляция и мониторинг. Для поиска утечек газа следует использовать только мыльную воду.
  • Кислород должен тщательно контролироваться. Например, его нельзя выпускать в воздух в замкнутом пространстве; многие металлы, одежда и другие материалы становятся активно горючими в присутствии кислорода. При газовой резке любой кислород, который не может быть использован, будет выпущен в атмосферу; газовая резка никогда не должна проводиться в замкнутом пространстве без надлежащей вентиляции.
  • Сплавы, богатые магнием или другими горючими металлами, следует хранить вдали от сварочного пламени или дуги.
  • Сварка контейнеров может быть чрезвычайно опасной. Если предыдущее содержимое неизвестно, с сосудом всегда следует обращаться так, как если бы он содержал легковоспламеняющееся вещество. Взрывы можно предотвратить, либо удалив любой горючий материал, либо сделав его невзрывоопасным и негорючим.
  • Смесь алюминия и оксида железа, используемая при термитной сварке, стабильна при нормальных условиях. Однако ввиду легкости воспламенения алюминиевого порошка и квазивзрывного характера реакции следует соблюдать соответствующие меры предосторожности при обращении и хранении (избегание воздействия высоких температур и возможных источников воспламенения).
  • В некоторых юрисдикциях для сварки требуется письменная программа разрешений на проведение огневых работ. В этой программе описаны меры предосторожности и процедуры, которые необходимо соблюдать во время сварки, резки, прожига и т. д. Эта программа должна включать в себя конкретные операции, проводимые вместе с мерами предосторожности, которые должны быть реализованы. Он должен быть привязан к конкретному предприятию и может включать внутреннюю систему разрешений, которую необходимо заполнять для каждой отдельной операции.

 

Защита от жары и опасностей ожогов

Возможны ожоги глаз и открытых частей тела из-за контакта с горячим металлом и разбрызгивания частиц раскаленного металла или расплавленного металла. При дуговой сварке высокочастотная искра, используемая для возбуждения дуги, может вызвать небольшие глубокие ожоги, если она сконцентрирована в точке на коже. Интенсивное инфракрасное и видимое излучение от пламени газовой сварки или резки и раскаленного металла в сварочной ванне может причинять дискомфорт оператору и лицам, находящимся поблизости от места проведения операции. Каждая операция должна быть продумана заранее, и должны быть разработаны и реализованы необходимые меры предосторожности. Защитные очки, изготовленные специально для газовой сварки и резки, следует носить для защиты глаз от тепла и света, излучаемых во время работы. Защитные крышки на стекле фильтра следует очищать по мере необходимости и заменять, если они поцарапаны или повреждены. При выбросе расплавленного металла или горячих частиц защитная одежда должна отражать брызги. Тип и толщина надеваемой огнеупорной одежды следует выбирать в зависимости от степени опасности. При резке и дуговой сварке следует надевать кожаные бахилы или другие подходящие гетры, чтобы предотвратить попадание горячих частиц в ботинки или обувь. Для защиты кистей и предплечий от тепла, брызг, шлака и т. д. достаточно кожаных перчаток с брезентовыми или кожаными манжетами. Другие типы защитной одежды включают кожаные фартуки, куртки, рукава, леггинсы и головные уборы. При потолочной сварке необходимы защитный плащ и колпак. Вся защитная одежда должна быть очищена от масла или жира, а швы должны быть внутри, чтобы не задерживать шарики расплавленного металла. Одежда не должна иметь карманов или манжет, которые могут задерживать искры, и ее следует носить так, чтобы рукава накладывались на перчатки, леггинсы на обувь и так далее. Защитную одежду следует осматривать на наличие лопнувших швов или отверстий, через которые может попасть расплавленный металл или шлак. Тяжелые предметы, оставленные горячими после завершения сварки, всегда должны быть помечены как «горячие» в качестве предупреждения для других рабочих. При контактной сварке выделяющееся тепло может быть невидимым, а прикосновение к горячим узлам может привести к ожогам. Частицы горячего или расплавленного металла не должны вылетать из точечных, стыковых или выступающих сварных швов, если условия соблюдаются, но следует использовать негорючие экраны и соблюдать меры предосторожности. Экраны также защищают прохожих от ожогов глаз. Не следует оставлять незакрепленные детали в горловине машины, потому что они могут быть выброшены с некоторой скоростью.

Электрическая безопасность

Хотя напряжения холостого хода при ручной дуговой сварке относительно низкие (около 80 В или меньше), сварочные токи высоки, а первичные цепи трансформатора представляют опасность, характерную для оборудования, работающего от сетевого напряжения. Поэтому нельзя игнорировать риск поражения электрическим током, особенно в тесных помещениях или в небезопасных положениях.

Перед началом сварки необходимо всегда проверять заземление на оборудовании для дуговой сварки. Кабели и соединения должны быть прочными и иметь достаточную мощность. Всегда следует использовать надлежащий зажим заземления или клемму с болтовым креплением. Если два или более сварочных аппарата заземлены на одну и ту же конструкцию или используются другие портативные электрические инструменты, заземление должно контролироваться компетентным лицом. Рабочее место должно быть сухим, безопасным и свободным от опасных препятствий. Большое значение имеет благоустроенное, хорошо освещенное, должным образом проветриваемое и чистое рабочее место. Для работы в ограниченном пространстве или в опасных местах в сварочную цепь может быть установлена ​​дополнительная электрическая защита (холостые, низковольтные устройства), обеспечивающая подачу на электрододержатель тока только крайне низкого напряжения, когда сварка не ведется. . (См. описание ограниченных пространств ниже.) Рекомендуются электрододержатели, в которых электроды удерживаются с помощью пружинного захвата или винтовой резьбы. Дискомфорт, связанный с нагревом, можно уменьшить за счет эффективной теплоизоляции той части электрододержателя, которую держат в руке. Зажимы и соединения электрододержателей следует периодически очищать и подтягивать во избежание перегрева. Следует предусмотреть безопасное крепление держателя электрода, когда он не используется, с помощью изолированного крючка или полностью изолированного держателя. Кабельное соединение должно быть спроектировано таким образом, чтобы дальнейшее изгибание кабеля не приводило к износу и повреждению изоляции. Следует избегать протаскивания кабелей и пластиковых труб подачи газа (процессы в газовой защите) по нагревательным плитам или сварным швам. Провод электрода не должен соприкасаться с рабочим местом или любым другим заземленным объектом (землей). Резиновые трубки и кабели с резиновым покрытием нельзя использовать вблизи источников высокочастотного разряда, поскольку образующийся озон вызывает гниение резины. Пластиковые трубки и кабели с покрытием из поливинилхлорида (ПВХ) следует использовать для всех источников питания от трансформатора до электрододержателя. Кабели с вулканизированной или прочной резиновой оболочкой подходят для первичной стороны. Грязь и металлическая или другая токопроводящая пыль могут привести к выходу из строя блока высокочастотного разряда. Чтобы избежать этого состояния, необходимо регулярно чистить устройство, продувая его сжатым воздухом. При использовании сжатого воздуха более нескольких секунд следует надевать средства защиты органов слуха. При электронно-лучевой сварке перед каждой операцией необходимо проверять безопасность используемого оборудования. Для защиты от поражения электрическим током на различных шкафах должна быть установлена ​​система блокировки. Необходима надежная система заземления всех агрегатов и шкафов управления. Для оборудования плазменной сварки, используемого для резки больших толщин, напряжение может достигать 400 В, и следует предвидеть опасность. Техника зажигания дуги высокочастотным импульсом подвергает оператора опасности неприятного удара током и болезненного проникающего высокочастотного ожога.

Ультрафиолетовая радиация

Яркий свет, излучаемый электрической дугой, содержит высокую долю ультрафиолетового излучения. Даже кратковременное воздействие вспышек дуги, включая случайные вспышки от дуг других рабочих, может вызвать болезненный конъюнктивит (фотоофтальмию), известный как «дуговой глаз» или «вспышка глаза». Если кто-либо подвергся воздействию вспышки дуги, необходимо немедленно обратиться за медицинской помощью. Чрезмерное воздействие ультрафиолетового излучения также может вызвать перегрев и ожог кожи (эффект загара). Меры предосторожности включают:

  • Следует использовать щит или каску с фильтром надлежащего класса (см. статью «Защита глаз и лица» в другом месте настоящего Энциклопедия). Для процессов дуговой сварки в среде защитных газов и резки угольной дугой плоские щитки для рук обеспечивают недостаточную защиту от отраженного излучения; следует использовать шлемы. Защитные очки или очки с боковыми щитками следует надевать под каску, чтобы избежать воздействия, когда каска поднимается для осмотра работы. Каски также обеспечивают защиту от брызг и горячего шлака. Шлемы и щитки снабжены снаружи фильтрующим стеклом и защитным покровным стеклом. Его следует регулярно осматривать, очищать и заменять в случае появления царапин или повреждений.
  • Лицо, затылок и другие открытые части тела должны быть надлежащим образом защищены, особенно при работе рядом с другими сварщиками.
  • Ассистенты должны носить как минимум подходящие защитные очки и другие средства индивидуальной защиты, если того требует риск.
  • Все операции дуговой сварки должны быть экранированы, чтобы защитить других людей, работающих поблизости. Если работа выполняется на стационарных столах или в сварочных цехах, по возможности должны быть установлены постоянные экраны; в противном случае следует использовать временные экраны. Все экраны должны быть непрозрачными, прочной конструкции и из огнеупорного материала.
  • Использование черных красок внутри сварочных камер стало общепринятой практикой, но краска должна давать матовое покрытие. Должно быть обеспечено достаточное окружающее освещение, чтобы предотвратить напряжение глаз, ведущее к головным болям и несчастным случаям.
  • Сварочные кабины и переносные экраны следует регулярно проверять, чтобы убедиться в отсутствии повреждений, которые могут привести к воздействию дуги на работающих поблизости людей.

 

Химическая опасность

Загрязняющие вещества в воздухе при сварке и газопламенной резке, включая пары и газы, возникают из различных источников:

  • свариваемый металл, металл в присадочном стержне или компоненты из различных типов стали, таких как никель или хром)
  • любое металлическое покрытие на свариваемом изделии или на присадочном стержне (например, цинк и кадмий от гальванического покрытия, цинк от цинкования и медь в виде тонкого покрытия на сплошных присадочных стержнях из мягкой стали)
  • любая краска, жир, мусор и тому подобное на свариваемом изделии (например, окись углерода, двуокись углерода, дым и другие раздражающие продукты распада)
  • флюсовое покрытие на присадочном стержне (например, неорганический фторид)
  • воздействие тепла или ультрафиолетового света на окружающий воздух (например, диоксид азота, озон) или на хлорированные углеводороды (например, фосген)
  • инертный газ, используемый в качестве защиты (например, двуокись углерода, гелий, аргон).

 

Дымы и газы должны удаляться у источника с помощью LEV. Это может быть обеспечено частичным ограждением процесса или установкой колпаков, обеспечивающих достаточно высокую скорость воздуха в месте сварки, чтобы обеспечить улавливание дыма.

Особое внимание следует уделить вентиляции при сварке цветных металлов и некоторых легированных сталей, а также защите от опасности образования озона, монооксида углерода и диоксида азота. Доступны переносные и стационарные системы вентиляции. Как правило, отработанный воздух не должен подвергаться рециркуляции. Его следует рециркулировать только в том случае, если нет опасных уровней озона или других токсичных газов, а отработанный воздух фильтруется через высокоэффективный фильтр.

При электронно-лучевой сварке и в случае, если свариваемые материалы имеют токсическую природу (например, бериллий, плутоний и т. д.), необходимо позаботиться о защите оператора от любого облака пыли при открытии камеры.

Когда существует риск для здоровья от токсичных паров (например, свинца) и LEV нецелесообразен, например, когда конструкции, окрашенные свинцом, разрушаются путем резки пламенем, необходимо использовать средства защиты органов дыхания. В таких обстоятельствах следует носить утвержденный высокоэффективный полнолицевой респиратор или высокоэффективный респиратор с принудительной очисткой воздуха (PAPR). Необходим высокий уровень технического обслуживания двигателя и аккумулятора, особенно при использовании оригинального высокоэффективного респиратора с положительным давлением. Использование респираторов со сжатым воздухом под избыточным давлением следует поощрять там, где имеется подходящая подача сжатого воздуха, пригодного для дыхания. Всякий раз, когда необходимо носить средства защиты органов дыхания, безопасность рабочего места следует пересмотреть, чтобы определить, необходимы ли дополнительные меры предосторожности, принимая во внимание ограниченное зрение, возможность запутывания и т. д. для лиц, использующих средства защиты органов дыхания.

Металлическая лихорадка

Металлическая лихорадка обычно наблюдается у рабочих, подвергающихся воздействию паров цинка в процессе цинкования или лужения, при литье латуни, при сварке оцинкованного металла и при металлизации или напылении металла, а также при воздействии других металлов, таких как медь, марганец и железо. Это происходит у новых работников и у тех, кто возвращается на работу после перерыва в выходные или праздничные дни. Это острое состояние, которое возникает через несколько часов после первоначального вдыхания частиц металла или его оксидов. Он начинается с неприятного привкуса во рту, за которым следует сухость и раздражение слизистой оболочки дыхательных путей, что приводит к кашлю, иногда к одышке и «сдавленности» в груди. Они могут сопровождаться тошнотой и головной болью, а через 10–12 часов после контакта — ознобом и лихорадкой, которые могут быть довольно сильными. Они длятся несколько часов и сопровождаются потливостью, сном и часто полиурией и диареей. Особого лечения не требуется, и выздоровление обычно наступает примерно через 24 часа без каких-либо остаточных явлений. Его можно предотвратить, поддерживая воздействие неприятных металлических паров в пределах рекомендуемых уровней за счет использования эффективных LEV.

Ограниченное пространство

При входе в замкнутые пространства может возникнуть риск того, что атмосфера будет взрывоопасной, токсичной, с недостатком кислорода или сочетанием вышеперечисленного. Любое такое замкнутое пространство должно быть сертифицировано ответственным лицом как безопасное для входа и работы с дугой или пламенем. Программа доступа в замкнутое пространство, включая систему разрешений на вход, может потребоваться и настоятельно рекомендуется для работ, которые должны выполняться в помещениях, которые обычно не предназначены для постоянного пребывания. Примеры включают, но не ограничиваются ими, люки, хранилища, трюмы и т.п. Вентиляция замкнутых пространств имеет решающее значение, поскольку при газовой сварке не только образуются переносимые по воздуху загрязняющие вещества, но и расходуется кислород. Процессы дуговой сварки в среде защитного газа могут снизить содержание кислорода в воздухе. (См. рис. 2.)

Рисунок 2. Сварка в закрытом помещении

МЕТ040Ф2

С. Ф. Гилман

Шум

Шум представляет опасность в нескольких сварочных процессах, включая плазменную сварку, некоторые типы аппаратов для контактной сварки и газовую сварку. При плазменной сварке струя плазмы выбрасывается с очень высокой скоростью, производя интенсивный шум (до 90 дБА), особенно в высокочастотных диапазонах. Использование сжатого воздуха для удаления пыли также создает высокий уровень шума. Чтобы предотвратить повреждение слуха, необходимо носить беруши или наушники, а также следует внедрить программу сохранения слуха, включая аудиометрические обследования (обследование слуха) и обучение сотрудников.

Ионизирующее излучение

В сварочных цехах, где сварные швы контролируются рентгенографическим или гамма-аппаратом, должны строго соблюдаться обычные предупредительные надписи и инструкции. Рабочие должны находиться на безопасном расстоянии от такого оборудования. Работать с радиоактивными источниками следует только с помощью необходимых специальных инструментов и с соблюдением особых мер предосторожности.

Необходимо соблюдать местные и государственные правила. См. главу Радиационное, ионизирующее в другом месте в этом Энциклопедия.

При электронно-лучевой сварке должно быть обеспечено достаточное экранирование для предотвращения проникновения рентгеновских лучей через стены и окна камеры. Любые части машины, обеспечивающие защиту от рентгеновского излучения, должны быть заблокированы таким образом, чтобы машина не могла быть запитана, если они не находятся на месте. Машины следует проверять на наличие утечек рентгеновского излучения во время установки, а затем регулярно.

Прочие опасности

Сварочные аппараты для контактной сварки имеют по крайней мере один электрод, который перемещается со значительным усилием. Если машина работает, когда между электродами находится палец или рука, это может привести к сильному защемлению. По возможности должны быть предусмотрены подходящие средства ограждения для защиты оператора. Порезы и рваные раны можно свести к минимуму, предварительно удалив заусенцы с компонентов и надев защитные перчатки или рукавицы.

Процедуры блокировки/маркировки следует использовать при обслуживании или ремонте машин с электрическими, механическими или другими источниками энергии.

При удалении шлака со сварных швов скалыванием и т. д. глаза должны быть защищены очками или другими средствами.

 

Назад

Среда, Март 16 2011 21: 40

Токарные станки

Адаптировано из 3-го издания Энциклопедии по охране труда и технике безопасности.

Важную роль токарных станков в металлообрабатывающих цехах лучше всего иллюстрирует тот факт, что от 90 до 95 % стружки (металлической стружки), производимой в производстве клапанов и фитингов, образуется на токарных станках. Около одной десятой несчастных случаев, зарегистрированных в этой отрасли, происходят из-за токарных станков; это соответствует одной трети всех машинных аварий. Согласно исследованию относительной частоты несчастных случаев на единицу станка, проведенному на заводе, производящем мелкие прецизионные детали и электрооборудование, токарные станки занимают пятое место после деревообрабатывающих станков, металлорежущих пил, механических прессов и сверлильных станков. Поэтому необходимость защитных мер на токарных станках не вызывает сомнений.

Токарная обработка — это машинный процесс, при котором диаметр материала уменьшается с помощью инструмента со специальной режущей кромкой. Движение резания производится вращением заготовки, а движения подачи и перемещения - инструментом. Варьируя эти три основных движения, а также выбирая соответствующую геометрию и материал режущей кромки инструмента, можно влиять на скорость снятия припуска, качество поверхности, форму образующейся стружки и износ инструмента.

Структура токарных станков

Типичный токарный станок состоит из:

  • станина или основание с механически обработанными направляющими для седла и задней бабки
  • передняя бабка, установленная на станине, со шпинделем и патроном
  • редуктор подачи, прикрепленный к передней части станины, для передачи движения подачи в зависимости от скорости резания через ходовой винт или вал подачи и фартук на седло
  • седло (или каретка) с поперечными салазками, выполняющими поперечное движение
  • резцедержатель, установленный на поперечном суппорте (см. рис. 1).

 

Рисунок 1. Токарные станки и подобные им станки

МЕТ050Ф1

Эта базовая модель токарного станка может быть бесконечно разнообразной, от универсального станка до специального токарного автомата, предназначенного только для одного вида работ.

Наиболее распространены следующие типы токарных станков:

  • Центр токарного станка. Это наиболее часто используемый токарный станок. Соответствует базовой модели с горизонтальной осью поворота. Работа удерживается между центрами, планшайбой или в патроне.
  • Многоинструментальный токарный станок. Это позволяет использовать несколько инструментов одновременно.
  • Токарно-револьверный станок, токарный станок. Станки этого типа позволяют обрабатывать заготовку несколькими инструментами, которые включаются друг за другом. Инструменты удерживаются в револьверной головке, которая вращается для перевода их в положение резки. Револьверные головки, как правило, дискового или коронного типа, но есть и револьверные станки барабанного типа.
  • Копировально-токарные станки. Желаемая форма передается трассирующим контролем от шаблона к работе.
  • Автоматический токарный станок. Различные операции, в том числе и смена работы, автоматизированы. Есть барная автоматика и патронная автоматика.
  • Токарно-карусельный станок (расточно-токарный станок). Работа вращается вокруг вертикальной оси; он закреплен на горизонтальном вращающемся столе. Этот тип станков обычно используется для обработки крупных отливок и поковок.
  • Токарные станки с ЧПУ и ЧПУ. Все вышеперечисленные станки могут быть оснащены системой числового программного управления (ЧПУ) или компьютеризированным числовым программным управлением (ЧПУ). В результате получается полуавтоматическая или полностью автоматическая машина, которая может использоваться довольно универсально благодаря большой универсальности и простоте программирования системы управления.

 

Дальнейшее развитие токарного станка, вероятно, будет сосредоточено на системах управления. Контактное управление будет все больше заменяться электронными системами управления. Что касается последнего, то существует тенденция эволюции от интерполяционно-программируемых к программируемым в памяти элементам управления. Можно предвидеть, что в долгосрочной перспективе использование все более эффективных компьютеров управления процессами приведет к оптимизации процесса обработки.

Аварии

Несчастные случаи на токарных станках обычно происходят по следующим причинам:

  • игнорирование правил техники безопасности при установке машин в мастерских (например, недостаточное пространство между машинами, отсутствие выключателя питания для каждой машины)
  • отсутствие ограждений или вспомогательных устройств (тяжелые травмы были нанесены рабочим, которые пытались затормозить шпиндель своих токарных станков, нажимая одной рукой на незащищенные ременные шкивы, и операторам, которые непреднамеренно задействовали незащищенные рычаги сцепления или педали; также имели место летающие стружки из-за отсутствия откидных или сдвижных крышек)
  • неадекватно расположенные элементы управления (например, руку токаря можно проткнуть центром задней бабки, если педаль управления патроном ошибочно принять за педаль, управляющую гидравлическим контуром движения центра задней бабки)
  • неблагоприятные условия труда (т. е. недостатки с точки зрения физиологии труда)
  • отсутствие СИЗ или ношение неподходящей рабочей одежды (тяжелые и даже смертельные травмы были причинены токарям, которые носили свободную одежду или имели длинные, свободно свисающие волосы)
  • недостаточный инструктаж персонала (подмастерье получил смертельную травму при подпиливании короткого вала, закрепленного между центрами и вращавшегося с помощью кривошипного водила на носике шпинделя и прямого на валу; токарное водило зацепило его за левую втулку, которая обвивал заготовку, яростно втягивая ученика в токарный станок)
  • плохая организация работы, приводящая к использованию неподходящего оборудования (например, на обычном серийном токарном станке обрабатывался длинный пруток; он был слишком длинным для этого станка и выступал за переднюю бабку более чем на 1 м; кроме того, отверстие патрона было слишком большой для прутка и компенсировался вставкой деревянных клиньев; при вращении шпинделя станка свободный конец прутка изгибался на 45° и ударялся о голову оператора; в следующую ночь оператор скончался)
  • дефектные элементы станка (например, ослабление несущего штифта в муфте может привести к тому, что шпиндель станка начнет вращаться, пока оператор регулирует заготовку в патроне).

 

Предотвращение несчастных случаев

Предупреждение несчастных случаев на токарных станках начинается на стадии проектирования. Особое внимание конструкторы должны уделить элементам управления и трансмиссии.

Элементы управления

Каждый токарный станок должен быть оборудован выключателем питания (или изолирующим) для безопасного проведения работ по техническому обслуживанию и ремонту. Этот выключатель должен отключать ток на всех полюсах, надежно отключать пневматическую и гидравлическую энергию и вентилировать цепи. На больших машинах разъединитель должен иметь такую ​​конструкцию, чтобы его можно было заблокировать в выключенном положении — мера безопасности против случайного повторного включения.

Расположение органов управления машиной должно быть таким, чтобы оператор мог легко их различить и достать, а манипуляции с ними не представляли опасности. Это означает, что элементы управления никогда не должны располагаться в местах, до которых можно добраться, только проведя рукой над рабочей зоной станка, или где они могут быть поражены летящими стружками.

Выключатели, которые контролируют ограждения и блокируют их с приводом машины, должны быть выбраны и установлены таким образом, чтобы они размыкали цепь, как только ограждение перемещается из защитного положения.

Устройства аварийной остановки должны вызывать немедленную остановку опасного движения. Они должны быть сконструированы и расположены таким образом, чтобы работник, которому угрожает опасность, мог легко ими управлять. Кнопки аварийной остановки должны быть легко доступны и должны быть красного цвета.

Исполнительные элементы механизма управления, которые могут привести к срабатыванию опасного движения машины, должны быть ограждены, чтобы исключить любое непреднамеренное срабатывание. Например, рычаги включения сцепления на передней бабке и фартуке должны быть снабжены предохранительными блокировочными устройствами или экранами. Кнопку можно обезопасить, поместив ее в углубление или накрыв защитным кольцом.

Ручные органы управления должны быть спроектированы и расположены таким образом, чтобы движение руки соответствовало движению управляемой машины.

Органы управления должны быть обозначены легко читаемой и понятной маркировкой. Во избежание недоразумений и языковых трудностей целесообразно использовать символы.

Элементы трансмиссии

Все подвижные элементы трансмиссии (ремни, шкивы, шестерни) должны быть закрыты кожухами. Важный вклад в предотвращение несчастных случаев на токарных станках могут внести лица, ответственные за установку станка. Токарные станки должны быть установлены таким образом, чтобы обслуживающие их операторы не мешали и не подвергали опасности друг друга. Операторы не должны поворачиваться спиной к проходам. Защитные экраны должны быть установлены там, где соседние рабочие места или проходы находятся в пределах досягаемости летящей стружки.

Проходы должны быть четко обозначены. Необходимо оставить достаточно места для подъемно-транспортного оборудования, штабелирования заготовок и ящиков для инструментов. Направляющие прутка не должны выступать в проходы.

Пол, на котором стоит оператор, должен быть изолирован от холода. Следует следить за тем, чтобы изоляция не создавала препятствия для спотыкания, а пол не становился скользким, даже если он покрыт масляной пленкой.

Кабелепроводы и трубопроводы должны быть установлены таким образом, чтобы они не становились препятствиями. Следует избегать временных установок.

Технические меры безопасности в цехе должны быть направлены, в частности, на следующие пункты:

  • удерживающие приспособления (планшайбы, патроны, цанги) должны быть динамически сбалансированы перед использованием
  • максимально допустимая скорость патрона должна быть указана производителем на патроне и соблюдаться оператором станка
  • при использовании спиральных патронов необходимо следить за тем, чтобы кулачки не выдвигались при запуске токарного станка.
  • Патроны этого типа должны быть сконструированы таким образом, чтобы шпонка не могла быть удалена до того, как кулачки будут закреплены. Ключи патрона вообще должны быть сконструированы таким образом, чтобы их нельзя было оставлять в патроне.

 

Важно предусмотреть вспомогательное подъемное оборудование для облегчения монтажа и демонтажа тяжелых патронов и планшайб. Чтобы патроны не соскальзывали со шпинделя при резком торможении токарного станка, их необходимо надежно зафиксировать. Этого можно добиться, надев стопорную гайку с левой резьбой на торец шпинделя, используя быстродействующую муфту «Camlock», установив патрон с помощью стопорного ключа или закрепив его стопорным кольцом, состоящим из двух частей.

При использовании механических приспособлений, таких как патроны с гидравлическим приводом, цанговые патроны и центры задней бабки, должны быть приняты меры, исключающие попадание рук в опасную зону замыкающих приспособлений. Этого можно добиться, ограничив ход зажимного элемента до 6 мм, выбрав расположение ручек аварийного останова таким образом, чтобы исключить попадание рук в опасную зону, или предусмотрев подвижное ограждение, которое необходимо закрыть перед зажимом. можно начинать движение.

Если пуск токарного станка при открытых кулачках патрона представляет опасность, станок должен быть оборудован устройством, предотвращающим начало вращения шпинделя до того, как кулачки будут сомкнуты. Отсутствие питания не должно приводить к открытию или закрытию замков с приводом.

Если усилие зажима силового патрона уменьшается, вращение шпинделя должно быть остановлено, а запуск шпинделя должен быть невозможен. Изменение направления захвата изнутри наружу (или наоборот) при вращении шпинделя не должно приводить к смещению патрона со шпинделя. Снятие удерживающих приспособлений со шпинделя должно быть возможно только после прекращения вращения шпинделя.

При обработке прутка часть, выступающая за токарный станок, должна быть ограждена направляющими прутка. Грузы подачи прутка должны быть защищены откидными крышками, доходящими до пола.

Перевозчики

Во избежание серьезных несчастных случаев, в частности, при работе на токарном станке, нельзя использовать незащищенные держатели. Следует использовать центрирующий предохранительный держатель или на обычном держателе следует установить защитный воротник. Также можно использовать самоблокирующиеся держатели или снабдить несущий диск защитным кожухом.

Рабочая зона токарного станка

Патроны токарно-универсальных станков должны быть защищены откидными крышками. По возможности защитные кожухи должны быть сблокированы с цепями привода шпинделя. Вертикально-расточные и токарные станки должны быть ограждены стержнями или пластинами для предотвращения травм от вращающихся частей. Чтобы оператор мог безопасно наблюдать за процессом обработки, должны быть предусмотрены платформы с перилами. В некоторых случаях могут быть установлены телевизионные камеры, чтобы оператор мог контролировать кромку инструмента и подачу инструмента.

Рабочие зоны токарных автоматов, станков с ЧПУ и ЧПУ должны быть полностью закрыты. Корпуса полностью автоматических станков должны иметь только отверстия, через которые вводится обрабатываемая заготовка, выбрасывается токарная деталь и удаляется стружка из рабочей зоны. Эти отверстия не должны представлять опасности при прохождении через них работы, и через них не должно быть доступа в опасную зону.

Рабочие зоны полуавтоматов, токарных станков с ЧПУ и ЧПУ должны быть ограждены в процессе обработки. Корпуса, как правило, представляют собой раздвижные крышки с концевыми выключателями и цепью блокировки.

Операции, требующие доступа в рабочую зону, такие как смена работы или инструментов, калибровка и т. д., не должны выполняться до безопасной остановки токарного станка. Обнуление привода с регулируемой скоростью не считается безопасной остановкой. Машины с такими приводами должны иметь закрытые защитные кожухи, которые нельзя разблокировать, пока машина не будет безопасно остановлена ​​(например, отключением питания двигателя шпинделя).

Если требуются специальные операции по наладке инструмента, должно быть предусмотрено медленное управление, которое позволяет отключать определенные движения станка при открытой защитной крышке. В таких случаях оператор может быть защищен с помощью специальных схемных решений (например, разрешая срабатывание только одного движения за раз). Этого можно добиться, используя двуручное управление.

Токарная стружка

Длинная токарная стружка опасна, поскольку может запутаться в руках и ногах и нанести серьезную травму. Сплошной и растрепанной стружки можно избежать, выбирая соответствующие скорости резания, подачи и толщину стружки или применяя токарные инструменты со стружколомами впадинного или ступенчатого типа. Для удаления стружки следует использовать крючки для стружки с ручкой и пряжкой.

Эргономика

Каждая машина должна быть сконструирована таким образом, чтобы она позволяла получить максимальную производительность при минимальной нагрузке на оператора. Этого можно добиться, приспособив машину к рабочему.

При проектировании человеко-машинного интерфейса токарного станка необходимо учитывать эргономические факторы. Рациональная конструкция рабочего места также предусматривает наличие вспомогательного погрузочно-разгрузочного оборудования, такого как погрузочно-разгрузочное оборудование.

Все органы управления должны находиться в пределах физиологической сферы или досягаемости обеих рук. Элементы управления должны быть четко изложены и должны быть логичны в работе. Следует избегать педального управления на машинах, за которыми обслуживаются стоящие операторы.

Опыт показывает, что хорошая работа выполняется, когда рабочее место рассчитано как на стоячее, так и на сидячее положение. Если оператору приходится работать стоя, ему должна быть предоставлена ​​возможность менять позу. Гибкие сиденья во многих случаях являются желанным облегчением для напряженных ног.

Должны быть приняты меры для создания оптимального теплового комфорта с учетом температуры воздуха, относительной влажности, движения воздуха и лучистого тепла. Мастерская должна хорошо проветриваться. Должны быть локальные вытяжные устройства для устранения газовыделения. При обработке пруткового проката следует использовать направляющие трубы со звукопоглощающей футеровкой.

Рабочее место предпочтительно должно быть обеспечено равномерным освещением, обеспечивающим достаточный уровень освещенности.

Рабочая одежда и средства индивидуальной защиты

Комбинезон должен быть облегающим и застегиваться на пуговицы или молнию до шеи. Они должны быть без нагрудных карманов, а рукава должны быть плотно застегнуты на запястьях. Не следует носить ремни. При работе на токарных станках нельзя носить перстни и браслеты. Ношение защитных очков должно быть обязательным. При обработке тяжелых заготовок необходимо носить защитную обувь со стальными носками. При сборе стружки необходимо надевать защитные перчатки.

Обучение

Безопасность оператора токарного станка во многом зависит от методов работы. Поэтому важно, чтобы он или она прошли тщательную теоретическую и практическую подготовку, чтобы приобрести навыки и выработать поведение, обеспечивающее наилучшие возможные гарантии. Правильная осанка, правильные движения, правильный выбор инструментов и обращение с ними должны стать рутиной до такой степени, чтобы оператор работал правильно, даже если его или ее концентрация временно ослаблена.

Важными моментами в программе обучения являются вертикальное положение, правильная установка и снятие патрона, а также точная и надежная фиксация заготовок. Необходимо интенсивно практиковать правильное владение напильниками и скребками и безопасную работу с наждачной бумагой.

Рабочие должны быть хорошо информированы об опасности травм, которые могут быть вызваны замерами, проверкой регулировок и чисткой токарных станков.

Обслуживание

Токарные станки необходимо регулярно обслуживать и смазывать. Неисправности необходимо исправлять немедленно. Если безопасность находится под угрозой в случае неисправности, машина должна быть остановлена ​​до тех пор, пока не будут предприняты корректирующие действия.

Работы по ремонту и техническому обслуживанию должны выполняться только после отключения машины от источника питания.

.

Назад

Среда, Март 16 2011 21: 58

Шлифовка и полировка

Адаптировано из 3-го издания, Энциклопедия охраны труда и техники безопасности.

Шлифовка обычно включает использование абразива на связке для изнашивания частей заготовки. Цель состоит в том, чтобы придать работе определенную форму, исправить ее размеры, повысить гладкость поверхности или улучшить остроту режущих кромок. Примеры включают удаление литников и шероховатостей с литейной отливки, удаление поверхностной окалины с металлов перед ковкой или сваркой, а также снятие заусенцев с деталей в цехах по обработке листового металла и механических цехах. Полировка используется для удаления дефектов поверхности, таких как следы инструмента. Полировка не удаляет металл, а использует мягкий абразив, смешанный с восковой или жировой основой, для получения блестящей поверхности.

Шлифование является наиболее всеобъемлющим и разнообразным из всех методов механической обработки и используется для обработки многих материалов, преимущественно железа и стали, но также и других металлов, дерева, пластмассы, камня, стекла, керамики и т. д. Этот термин охватывает другие методы получения очень гладких и блестящих поверхностей, такие как полировка, хонингование, точение и притирка.

В качестве инструментов используются круги разных размеров, шлифовальные сегменты, шлифовальные головки, точильные камни, напильники, полировальные круги, ремни, диски и так далее. В шлифовальных кругах и т.п. абразивный материал скрепляется связующими веществами, образуя жесткое, обычно пористое тело. В случае абразивных лент связующее удерживает абразив на гибком основном материале. Полировальные круги изготавливаются из ватных или других текстильных дисков, сшитых между собой.

Природные абразивы — природный корунд или наждак (оксиды алюминия), алмаз, песчаник, кремень и гранат — в значительной степени вытеснены искусственными абразивами, включая оксид алюминия (плавленый оксид алюминия), карбид кремния (карборунд) и синтетические алмазы. Также используется ряд мелкозернистых материалов, таких как мел, пемза, трепел, оловянная замазка и оксид железа, особенно для полировки и полировки.

Оксид алюминия наиболее широко используется в шлифовальных кругах, за ним следует карбид кремния. Природные и искусственные алмазы используются для важных специальных применений. Оксид алюминия, карбид кремния, наждак, гранат и кремень используются в шлифовальных и полировальных лентах.

В шлифовальных кругах используются как органические, так и неорганические связующие вещества. Основным типом неорганической связки являются стекловидные силикаты и магнезиты. Среди органических связующих выделяются феноло- или карбамидоформальдегидные смолы, каучук и шеллак. Застеклованные связующие вещества и фенольные смолы полностью доминируют в соответствующих группах. Алмазные шлифовальные круги также могут быть связаны металлом. Различные связующие придают кругам разные свойства шлифования, а также разные свойства в отношении безопасности.

Абразивные и полировальные ленты и диски состоят из гибкой бумажной или тканевой основы, к которой абразив приклеивается с помощью природного или синтетического клея.

Различные станки используются для различных видов операций, таких как плоское шлифование, круглое (в том числе бесцентровое) шлифование, внутреннее шлифование, черновое шлифование и резка. Два основных типа: те, где либо шлифовальный станок, либо работа перемещаются вручную, и машины с механической подачей и патронами. Общие типы оборудования включают: плоскошлифовальные машины; шлифовальные, полировальные и шлифовальные станки тумбы; дисковые шлифовальные и полировальные машины; внутренние шлифовальные машины; абразивно-отрезные станки; ленточные полировщики; переносные шлифовальные, полировальные и шлифовальные машины; и несколько полировщиков и буферов.

Опасности и их предотвращение

Ворвавшись

Основной риск травм при использовании шлифовальных кругов заключается в том, что круг может лопнуть во время шлифования. Обычно шлифовальные круги работают на высоких скоростях. Существует тенденция к постоянному увеличению скорости. В большинстве промышленно развитых стран действуют правила, ограничивающие максимальные скорости, на которых могут работать различные типы шлифовальных кругов.

Основная защитная мера состоит в том, чтобы сделать шлифовальный круг максимально прочным; природа связующего агента является наиболее важной. Колеса с органической связкой, в частности, с фенольной смолой, прочнее, чем с неорганической связкой, и более устойчивы к ударам. Для колес с органической связкой могут быть допустимы высокие окружные скорости.

В частности, очень скоростные колеса часто включают в себя различные типы усиления. Например, некоторые чашечные колеса снабжены стальными ступицами для увеличения их прочности. При вращении основное напряжение возникает вокруг центрального отверстия. Таким образом, для усиления круга участок вокруг центрального отверстия, не принимающий участия в шлифовании, может быть изготовлен из особо прочного материала, непригодного для шлифования. Большие круги с усиленным таким образом центральным сечением используются, в частности, на сталелитейных заводах для шлифования слябов, заготовок и т.п. на скоростях до 80 м/с.

Однако наиболее распространенным методом армирования шлифовальных кругов является включение в их конструкцию ткани из стекловолокна. Тонкие колеса, например те, которые используются для резки, могут включать ткань из стекловолокна в центре или с каждой стороны, в то время как более толстые колеса имеют несколько слоев ткани в зависимости от толщины колеса.

За исключением некоторых шлифовальных кругов малых размеров, либо все круги, либо их статистическая выборка должны быть подвергнуты изготовителем испытаниям на скорость. При испытаниях круги в течение определенного времени обкатываются со скоростью, превышающей разрешенную при шлифовании. Правила испытаний варьируются от страны к стране, но обычно колесо должно быть испытано на скорости, на 50% превышающей рабочую скорость. В некоторых странах правила требуют специальных испытаний колес, которые должны работать на более высоких скоростях, чем обычно, в центральном испытательном институте. Институт может также вырезать образцы из колеса и исследовать их физические свойства. Отрезные круги подвергаются определенным испытаниям на удар, изгиб и так далее. Производитель также обязан убедиться, что шлифовальный круг перед поставкой хорошо отбалансирован.

Разрыв шлифовального круга может привести к смертельному исходу или очень серьезным травмам окружающих, а также к серьезному повреждению оборудования или помещений. Несмотря на все меры предосторожности, предпринятые производителями, все же могут произойти случайные разрывы или поломки колес, если не соблюдать надлежащую осторожность при их использовании. Меры предосторожности включают:

  • Обработка и хранение. Колесо может быть повреждено или треснуто во время транспортировки или погрузочно-разгрузочных работ. Влага может воздействовать на связующее вещество в колесах из фенольной смолы, что в конечном итоге снижает их прочность. Керамические круги могут быть чувствительны к повторяющимся колебаниям температуры. Неравномерно поглощаемая влага может вывести колесо из равновесия. Следовательно, очень важно, чтобы с колесами обращались осторожно на всех этапах и хранили их в надлежащем порядке в сухом и защищенном месте.
  • Проверка на наличие трещин. Новое колесо следует проверить, чтобы убедиться, что оно не повреждено и сухое, проще всего постукивая деревянным молотком. Безупречный керамический круг дает чистый звон, круг на органической связке - менее звонкий тон; но любой из них можно отличить от треска неисправного колеса. В случае сомнений колесо не следует использовать и следует проконсультироваться с поставщиком.
  • Тестирование. Прежде чем новое колесо будет введено в эксплуатацию, его следует испытать на полной скорости с соблюдением соответствующих мер предосторожности. После мокрой шлифовки круг должен работать на холостом ходу, чтобы удалить воду; в противном случае вода может собраться в нижней части колеса и вызвать дисбаланс, что может привести к разрыву колеса при следующем использовании.
  • Монтаж. Несчастные случаи и поломки происходят при установке шлифовальных кругов на неподходящие приспособления, например на концы шпинделей шлифовальных машин. Шпиндель должен быть соответствующего диаметра, но не настолько большим, чтобы расширять центральное отверстие колеса; фланцы должны быть не менее одной трети диаметра колеса и изготовлены из мягкой стали или аналогичного материала.
  • Скорость. Ни в коем случае нельзя превышать максимально допустимую рабочую скорость, указанную производителями. На всех шлифовальных станках должна быть установлена ​​табличка с указанием скорости шпинделя, а на круге должна быть указана максимально допустимая окружная скорость и соответствующее число оборотов для нового круга. Особые меры предосторожности необходимы при работе с шлифовальными машинами с регулируемой скоростью и для обеспечения установки кругов соответствующих допустимых скоростей в переносных шлифовальных машинах.
  • Рабочий отдых. Везде, где это возможно, должны быть предусмотрены жестко закрепленные рабочие упоры соответствующих размеров. Они должны быть регулируемыми и располагаться как можно ближе к колесу, чтобы предотвратить защемление, в котором изделие может быть прижато к колесу и сломать его или, что более вероятно, захватить и повредить руку оператора.
  • Охрана. Абразивные круги должны быть снабжены защитными кожухами, достаточно прочными, чтобы удерживать части разрывного круга (см. рисунок 1). В некоторых странах действуют подробные правила, касающиеся конструкции ограждений и используемых материалов. Как правило, следует избегать чугуна и литого алюминия. Шлифовальное отверстие должно быть как можно меньше, и может потребоваться регулируемая насадка. В исключительных случаях, когда характер работы не позволяет использовать защитный кожух, могут использоваться специальные защитные фланцы или предохранительные патроны. Шпиндели и конические концы двусторонних полировальных машин могут стать причиной запутывания, если они не защищены должным образом.

 

Рис. 1. Хорошо защищенный стеклокерамический абразивный круг, установленный на плоскошлифовальном станке и работающий с окружной скоростью 33 м/с.

МЕТ060Ф1

Травмы глаз

Пыль, абразивы, зерна и осколки представляют собой общую опасность для глаз при всех операциях сухого шлифования. Необходима эффективная защита глаз очками или очками и фиксированными щитками для глаз на машине; фиксированные щитки для глаз особенно полезны, когда круги используются с перерывами, например, для заточки инструмента.

Для пожарных

Шлифование магниевых сплавов сопряжено с высокой пожароопасностью, если не будут приняты строгие меры предосторожности против случайного воспламенения, а также при удалении и смачивании пыли. Все вытяжные воздуховоды должны соответствовать высоким стандартам чистоты и технического обслуживания, чтобы предотвратить риск возгорания, а также обеспечить эффективную работу вентиляции. Текстильная пыль, образующаяся при полировании, представляет собой пожароопасную опасность, требующую надлежащего ведения хозяйства и LEV.

вибрация

Портативные и стационарные шлифовальные машины несут риск синдрома вибрации рук (HAVS), также известного как «белый палец» из-за его наиболее заметного признака. Рекомендации включают ограничение интенсивности и продолжительности воздействия, изменение конструкции инструментов, защитного снаряжения и мониторинг воздействия и состояния здоровья.

Опасности для здоровья

Хотя современные шлифовальные круги сами по себе не создают серьезной опасности силикоза, связанной в прошлом с кругами из песчаника, очень опасная кварцевая пыль все еще может выделяться из измельчаемых материалов, например, отливок в песчаные формы. Некоторые колеса на смоляной связке могут содержать наполнители, которые создают опасную пыль. Кроме того, смолы на основе формальдегида могут выделять формальдегид во время измельчения. В любом случае, объем пыли, образующейся при шлифовании, делает необходимым эффективный LEV. Сложнее обеспечить локальную вытяжку для переносных колес, хотя некоторый успех в этом направлении был достигнут за счет использования малообъемных высокоскоростных систем улавливания. Следует избегать продолжительной работы и при необходимости использовать средства защиты органов дыхания. Вытяжная вентиляция также требуется для большинства ленточных шлифовальных, чистовых, полирующих и подобных операций. В частности, при полировке горючая текстильная пыль представляет собой серьезную проблему.

Должны быть обеспечены защитная одежда и хорошие санитарно-моечные помещения с душевыми, желательно медицинское наблюдение, особенно за шлифовальными станками по металлу.

 

Назад

Промышленная революция не могла бы произойти без разработки индустриальных масел, смазочных материалов, смазочно-охлаждающих жидкостей и смазок на основе очищенной нефти. До открытия в 1860-х годах того, что превосходный смазочный материал может быть получен путем перегонки сырой нефти в вакууме, промышленность зависела от природных масел и животных жиров, таких как свиное сало и масло спермы кита, для смазки движущихся частей. Эти масла и продукты животного происхождения были особенно подвержены плавлению, окислению и разложению под воздействием тепла и влаги, создаваемых паровыми двигателями, которые в то время приводили в действие почти все промышленное оборудование. Эволюция продуктов нефтепереработки продолжалась от первой смазки, которая использовалась для дубления кожи, до современных синтетических масел и смазок с более длительным сроком службы, превосходными смазывающими свойствами и лучшей устойчивостью к изменениям при различных температурах и климатических условиях.

Промышленные смазки

Все движущиеся части машин и оборудования требуют смазки. Хотя смазка может быть обеспечена сухими материалами, такими как тефлон или графит, которые используются в таких деталях, как подшипники небольших электродвигателей, масла и консистентные смазки являются наиболее часто используемыми смазочными материалами. По мере увеличения сложности машин требования к смазочным материалам и маслам для обработки металлов становятся более строгими. Смазочные масла в настоящее время варьируются от прозрачных, очень жидких масел, используемых для смазывания чувствительных инструментов, до густых, похожих на смолу масел, используемых в больших зубчатых колесах, таких как те, которые вращают сталелитейные заводы. Масла с очень специфическими требованиями используются как в гидравлических системах, так и для смазывания больших станков с компьютерным управлением, таких как те, которые используются в аэрокосмической промышленности для производства деталей с чрезвычайно жесткими допусками. Синтетические масла, жидкости и смазки, а также смеси синтетических и нефтяных масел используются там, где требуется увеличенный срок службы смазки, например, в электродвигателях с пожизненной герметизацией, где увеличение времени между заменами масла компенсирует разницу в стоимости; там, где существуют расширенные диапазоны температур и давлений, например, в аэрокосмических приложениях; или там, где сложно и дорого повторно нанести смазку.

Индустриальные масла

Промышленные масла, такие как шпиндельные и смазочные масла, трансмиссионные смазки, гидравлические и турбинные масла, а также трансмиссионные жидкости, предназначены для удовлетворения конкретных физических и химических требований и для работы без заметных изменений в течение длительного времени в различных условиях. Смазочные материалы для аэрокосмического применения должны отвечать совершенно новым требованиям, включая чистоту, долговечность, устойчивость к космическому излучению и способность работать при экстремально низких и высоких температурах, без гравитации и в вакууме.

Трансмиссии, турбины и гидравлические системы содержат жидкости, передающие силу или мощность, резервуары для хранения жидкостей, насосы для перемещения жидкостей из одного места в другое и вспомогательное оборудование, такое как клапаны, трубопроводы, охладители и фильтры. Гидравлические системы, трансмиссии и турбины требуют жидкостей с определенной вязкостью и химической стабильностью, чтобы обеспечить бесперебойную работу и контролируемую передачу мощности. Характеристики хороших гидравлических и турбинных масел включают высокий индекс вязкости, термическую стабильность, долгий срок службы в циркуляционных системах, устойчивость к отложениям, высокую смазывающую способность, антипенные свойства, защиту от ржавчины и хорошую деэмульгируемость.

Смазочные материалы для зубчатых передач предназначены для образования прочных, цепких пленок, которые обеспечивают смазку между зубчатыми колесами при экстремальном давлении. К характеристикам трансмиссионных масел относятся хорошая химическая стабильность, деэмульгируемость, устойчивость к повышению вязкости и образованию отложений. Шпиндельные масла представляют собой жидкие, чрезвычайно чистые и прозрачные масла со смазочными присадками. Наиболее важными характеристиками масел для путей, используемых для смазывания двух плоских скользящих поверхностей при высоком давлении и низкой скорости, являются смазывающая способность и липкость, препятствующие выдавливанию, и устойчивость к экстремальному давлению.

Цилиндровые и компрессорные масла сочетают в себе характеристики промышленных и автомобильных масел. Они должны препятствовать накоплению отложений, выступать в качестве теплоносителя (цилиндры двигателей внутреннего сгорания), обеспечивать смазку цилиндров и поршней, обеспечивать уплотнение для противодействия обратному давлению, иметь химическую и термическую стабильность (особенно масло для вакуумных насосов), иметь высокий индекс вязкости и устойчивость к мытью водой (паровые цилиндры) и моющим средствам.

Автомобильные моторные масла

Производители двигателей внутреннего сгорания и организации, такие как Общество инженеров-автомобилестроителей (SAE) в США и Канаде, установили специальные критерии эффективности автомобильных моторных масел. Автомобильные бензиновые и дизельные моторные масла проходят ряд эксплуатационных испытаний для определения их химической и термической стабильности, коррозионной стойкости, вязкости, защиты от износа, смазывающей способности, моющих свойств, а также характеристик при высоких и низких температурах. Затем они классифицируются в соответствии с системой кодов, которая позволяет потребителям определить их пригодность для использования в тяжелых условиях и для различных температур и диапазонов вязкости.

Масла для автомобильных двигателей, трансмиссий и коробок передач имеют высокие индексы вязкости, чтобы противостоять изменениям вязкости при изменении температуры. Автомобильные моторные масла специально разработаны для защиты от разрушения при нагревании, так как они смазывают двигатели внутреннего сгорания. Масла для двигателей внутреннего сгорания не должны быть слишком густыми, чтобы смазывать внутренние движущиеся части при запуске двигателя в холодную погоду, и не должны разжижаться по мере нагрева двигателя при работе. Они должны противостоять нагарообразованию на клапанах, кольцах и цилиндрах, а также образованию коррозионно-активных кислот или отложений из-за влаги. Автомобильные моторные масла содержат детергенты, предназначенные для удерживания углеродистых и металлических частиц износа во взвешенном состоянии, чтобы они могли отфильтровываться при циркуляции масла и не накапливались на внутренних деталях двигателя и не вызывали повреждений.

Смазочно-охлаждающие жидкости

В промышленности используются три типа смазочно-охлаждающих жидкостей: минеральные масла, растворимые масла и синтетические жидкости. Смазочно-охлаждающие жидкости, как правило, представляют собой смесь высококачественных, высокостабильных минеральных масел различной вязкости вместе с присадками, обеспечивающими определенные характеристики в зависимости от типа обрабатываемого материала и выполняемой работы. Растворимые водомасляные смазочно-охлаждающие жидкости представляют собой минеральные масла (или синтетические масла), которые содержат эмульгаторы и специальные присадки, включая пеногасители, ингибиторы коррозии, детергенты, бактерициды и гермициды. Перед употреблением их разбавляют водой в различных соотношениях. Синтетические смазочно-охлаждающие жидкости представляют собой растворы жидкостей, добавок и воды не на нефтяной основе, а не эмульсии, некоторые из которых являются огнестойкими для обработки определенных металлов. Полусинтетические жидкости содержат от 10 до 15% минерального масла. Некоторые специальные жидкости имеют характеристики как смазочного масла, так и смазочно-охлаждающей жидкости из-за тенденции жидкостей к утечке и смешиванию в определенных станках, таких как многошпиндельные, автоматические винтовые станки.

Требуемые характеристики смазочно-охлаждающих жидкостей зависят от состава обрабатываемого металла, используемого режущего инструмента и типа выполняемой операции резки, строгания или формовки. Смазочно-охлаждающие жидкости улучшают и улучшают процесс металлообработки за счет охлаждения и смазки (т. е. защиты кромки режущего инструмента). Например, при работе с мягким металлом, выделяющим много тепла, наиболее важным критерием является охлаждение. Улучшенное охлаждение обеспечивается за счет использования легкого масла (например, керосина) или смазочно-охлаждающей жидкости на водной основе. Контроль нароста на режущих инструментах обеспечивается противосварочными или противоизносными присадками, такими как соединения серы, хлора или фосфора. Смазывающая способность, которая важна при работе со сталью для преодоления абразивности сульфида железа, обеспечивается синтетическими и животными жирами или добавками сульфурированного масла спермы.

Другие металлообрабатывающие и технологические масла

Шлифовальные жидкости предназначены для обеспечения охлаждения и предотвращения налипания металла на шлифовальные круги. Их характеристики включают термическую и химическую стабильность, защиту от ржавчины (растворимые жидкости), предотвращение смолистых отложений при испарении и безопасную температуру воспламенения для выполняемой работы.

Закалочные масла, требующие высокой стабильности, используются при обработке металлов для контроля изменения молекулярной структуры стали при ее охлаждении. Закалка в более легком масле используется для цементации небольших недорогих стальных деталей. Более медленная скорость закалки используется для производства станочных сталей, которые достаточно тверды снаружи и имеют более низкое внутреннее напряжение. Масло с зазором или многофазное закалочное масло используется для обработки высокоуглеродистых и легированных сталей.

Масла для валков представляют собой специально разработанные минеральные или растворимые масла, которые смазывают и обеспечивают гладкую поверхность металла, особенно алюминия, меди и латуни, когда он проходит через станы горячей и холодной прокатки. Разделительные масла используются для покрытия штампов и пресс-форм, чтобы облегчить высвобождение формованных металлических деталей. Дубильные масла до сих пор используются в войлочной и кожевенной промышленности. Трансформаторные масла представляют собой специально разработанные диэлектрические жидкости, используемые в трансформаторах, больших электрических выключателях и переключателях.

Масла-теплоносители используются в открытых или закрытых системах и могут служить до 15 лет. Основными характеристиками являются хорошая термическая стабильность, так как системы работают при температурах от 150 до 315°C, устойчивость к окислению и высокая температура вспышки. Масла-теплоносители обычно слишком вязкие, чтобы их можно было перекачивать при температуре окружающей среды, и их необходимо нагревать для обеспечения текучести.

Нефтяные растворители используются для очистки деталей распылением, капанием или погружением. Растворители удаляют масло и эмульгируют грязь и металлические частицы. Антикоррозионные масла могут быть на основе растворителя или на водной основе. Они наносятся на катушки из нержавеющей стали, подшипники и другие детали погружением или распылением и оставляют поляризованные или восковые пленки на металлических поверхностях для защиты от отпечатков пальцев и ржавчины, а также для вытеснения воды.

Greases

Консистентные смазки представляют собой смеси жидкостей, загустителей и присадок, используемые для смазывания деталей и оборудования, которые нельзя сделать маслонепроницаемыми, которые труднодоступны или где утечка или разбрызгивание жидких смазочных материалов могут загрязнить продукты или создать опасность. Они имеют широкий спектр применения и требований к производительности, от смазки подшипников реактивных двигателей при минусовых температурах до шестерен горячей прокатки, а также устойчивы к вымыванию кислотой или водой, а также к постоянному трению, создаваемому подшипниками качения колес железнодорожных вагонов.

Смазку получают путем смешивания металлических мыл (солей длинноцепочечных жирных кислот) со смазочной масляной средой при температуре от 205 до 315°С. Синтетические смазки могут использовать диэфиры, силиконовые или фосфорные эфиры и полиалкилгликоли в качестве жидкостей. Характеристики смазки в значительной степени зависят от конкретной текучей среды, металлического элемента (например, кальция, натрия, алюминия, лития и т. д.) в мыле и добавок, используемых для улучшения характеристик и стабильности, а также для уменьшения трения. Эти присадки включают противозадирные присадки, которые покрывают металл тонким слоем неагрессивных соединений металлической серы, нафтенат свинца или дитиофосфат цинка, ингибиторы ржавчины, антиоксиданты, жирные кислоты для дополнительной смазывающей способности, присадки, придающие липкость, цветные красители для идентификации и ингибиторы воды. Некоторые смазки могут содержать графитовые или молибденовые наполнители, которые покрывают металлические детали и обеспечивают смазку после того, как смазка истечет или разложится.

Промышленные смазочные материалы, консистентные смазки и присадки к автомобильным моторным маслам

В дополнение к использованию высококачественных базовых масел с химической и термической стабильностью и высокими индексами вязкости необходимы присадки для повышения качества жидкости и придания специфических характеристик, требуемых в промышленных смазочных материалах, смазочно-охлаждающих жидкостях, консистентных смазках и автомобильных моторных маслах. Наиболее часто используемые добавки включают, но не ограничиваются следующим:

  • Антиоксиданты. Ингибиторы окисления, такие как 2,6-ди-трет-бутил, паракрезол и фенилнафтиламин, снижают скорость порчи масла, разрушая молекулы с длинной цепью, образующиеся при воздействии кислорода. Ингибиторы окисления используются для покрытия таких металлов, как медь, цинк и свинец, чтобы предотвратить контакт с маслом, чтобы они не действовали как катализаторы, ускоряя окисление и образуя кислоты, которые воздействуют на другие металлы.
  • Ингибиторы пенообразования. Пеногасители, такие как силиконы и полиорганические силоксаны, используются в гидравлических маслах, трансмиссионных маслах, трансмиссионных и турбинных маслах для снижения поверхностного натяжения пленки и удаления воздуха, захваченного маслом насосами и компрессорами, для поддержания постоянного гидравлического давления и предотвращения кавитации. .
  • Ингибиторы коррозии. Антикоррозийные присадки, такие как нафтенат свинца и сульфонат натрия, используются для предотвращения образования ржавчины на металлических деталях и системах, где циркулирующее масло было загрязнено водой или влажным воздухом, который попал в резервуары системы при их охлаждении, когда оборудование или машины не был в использовании.
  • Противоизносные присадки. Противоизносные присадки, такие как трикрезилфосфат, образуют полярные соединения, которые притягиваются к металлическим поверхностям и обеспечивают физический слой дополнительной защиты в случае недостаточности масляной пленки.
  • Улучшители индекса вязкости. Присадки, улучшающие индекс вязкости, помогают маслам противостоять воздействию температурных изменений. К сожалению, их эффективность снижается при длительном использовании. Синтетические масла имеют очень высокие индексы вязкости, что позволяет им сохранять свою структуру в более широком диапазоне температур и в течение гораздо более длительного периода времени, чем минеральные масла с присадками, улучшающими индекс вязкости.
  • Деэмульгаторы. Ингибиторы воды и специальные составы отделяют воду от масла и предотвращают образование смолы; они содержат восковые масла, которые обеспечивают дополнительную смазывающую способность. Они используются там, где оборудование подвергается промывке водой или присутствует большое количество влаги, например, в паровых цилиндрах, воздушных компрессорах и редукторах, загрязненных растворимыми смазочно-охлаждающими жидкостями.
  • Цветные красители. Красители используются, чтобы помочь пользователям идентифицировать различные масла, используемые для определенных целей, такие как трансмиссионные жидкости и редукторные масла, чтобы предотвратить неправильное применение.
  • Противозадирные присадки. Противозадирные присадки, такие как неагрессивные сульфурированные жирные соединения, дитиофосфат цинка и нафтенат свинца, используются в автомобильных, трансмиссионных и трансмиссионных маслах для образования покрытий, которые защищают металлические поверхности, когда защитная масляная пленка истончается или выдавливается, и не могут предотвратить разрушение металла. металлический контакт.
  • Моющие средства. Моющие средства на основе сульфонатов и фенатов металлов используются для удержания грязи, углерода и металлических частиц износа во взвешенном состоянии в гидравлических маслах, трансмиссионных маслах, моторных маслах и трансмиссионных жидкостях. Эти загрязняющие вещества обычно удаляются, когда масло проходит через фильтр, чтобы предотвратить их рециркуляцию в системе, где они могут нанести ущерб.
  • Липкие добавки. Адгезивные или липкие добавки используются для того, чтобы масла могли прилипать к подшипниковым узлам, коробкам передач, большим открытым шестерням на мельницах и строительном оборудовании, а также подвесным механизмам и препятствовать их утечке. Их липкость уменьшается с увеличением срока службы.
  • Эмульгаторы. Жирные кислоты и жирные масла используются в качестве эмульгаторов в растворимых маслах, помогая образовывать растворы с водой.
  • Смазочные присадки. Жир, лярд, твердый жир, сперма и растительные масла используются для обеспечения более высокой степени маслянистости смазочно-охлаждающих жидкостей и некоторых трансмиссионных масел.
  • Бактерициды. Бактерициды и гермициды, такие как фенол и сосновое масло, добавляются в растворимые смазочно-охлаждающие жидкости, чтобы продлить срок службы жидкости, сохранить стабильность, уменьшить запахи и предотвратить дерматит.

 

Производство промышленных смазочных материалов и автомобильных масел

Промышленные смазочные материалы и масла, консистентные смазки, смазочно-охлаждающие жидкости и автомобильные моторные масла производятся на предприятиях по смешиванию и упаковке, также называемых «заводами по производству смазочных материалов» или «заводами по смешиванию». Эти объекты могут быть расположены либо на нефтеперерабатывающих заводах, производящих базовые масла для смазочных материалов, либо рядом с ними, либо они могут находиться на некотором расстоянии и получать базовые масла морскими танкерами или баржами, железнодорожными цистернами или автоцистернами. Смесительные и упаковочные заводы смешивают и смешивают присадки с базовыми компонентами смазочных масел для производства широкого спектра готовых продуктов, которые затем отправляются навалом или в контейнерах.

Процессы смешивания и компаундирования, используемые для производства смазочных материалов, жидкостей и консистентных смазок, зависят от возраста и сложности предприятия, имеющегося оборудования, типов и состава используемых добавок, а также разнообразия и объема производимой продукции. Для смешивания может потребоваться только физическое смешивание базовых компонентов и пакетов добавок в котле с использованием мешалок, лопастей или перемешивания воздухом, или может потребоваться дополнительное тепло от электрических или паровых змеевиков, чтобы способствовать растворению и смешиванию добавок. Другие промышленные жидкости и смазочные материалы производятся автоматически путем смешивания базовых компонентов и предварительно смешанных присадок и масляных суспензий через коллекторные системы. Смазка может производиться серийно или непрерывно. Заводы по производству смазочных материалов могут составлять свои собственные добавки из химикатов или приобретать расфасованные добавки у специализированных компаний; одно предприятие может использовать оба метода. Когда заводы по производству смазочных материалов производят свои собственные присадки и пакеты присадок, может возникнуть потребность в высоких температурах и давлениях в дополнение к химическим реакциям и физическому перемешиванию для соединения химикатов и материалов.

После производства жидкости и смазочные материалы могут храниться в смесительных котлах или помещаться в резервуары для хранения, чтобы гарантировать, что добавки остаются в виде суспензии или раствора, чтобы дать время для испытаний, чтобы определить, соответствует ли продукт спецификациям качества и требованиям сертификации, а также чтобы процесс температуры, чтобы вернуться к уровню окружающей среды, прежде чем продукты будут упакованы и отправлены. По окончании испытаний готовая продукция выпускается для оптовой отгрузки или упаковки в тару.

Готовая продукция отгружается наливом в железнодорожных цистернах или в автоцистернах напрямую потребителям, дистрибьюторам или сторонним упаковочным предприятиям. Готовая продукция также отгружается потребителям и дистрибьюторам в крытых вагонах или грузовиках для доставки посылок в различных контейнерах, а именно:

  • Металлические, пластмассовые и комбинированные металлические/пластиковые или пластмассовые/волокнистые контейнеры средней грузоподъемности для массовых грузов объемом от 227 л до примерно 2,840 л перевозятся отдельными единицами на встроенных или отдельных поддонах, уложенных друг на друга в 1 или 2 высоты.
  • Металлические, фибровые или пластиковые бочки вместимостью 208 л, 114 л или 180 кг обычно отгружаются по 4 штуки на поддоне.
  • Металлические или пластиковые бочки вместимостью 60 л или 54 кг, а также металлические или пластиковые ведра 19 л или 16 кг укладываются на поддоны и обвязываются или обматываются стрейч-пленкой для сохранения устойчивости.
  • Металлические или пластиковые контейнеры вместимостью 8 л или 4 л, 1 л пластиковые, металлические и фибровые бутылки и банки и картриджи со смазкой по 2 кг упаковываются в картонные коробки, которые штабелируются на поддонах и обвязываются лентой или стрейч-пленкой для отгрузки.


Некоторые заводы по смешиванию и упаковке могут отгружать поддоны со смешанной продукцией, а также контейнеры и упаковки разного размера непосредственно мелким потребителям. Например, поставка одной паллеты на станцию ​​технического обслуживания может включать 1 бочку трансмиссионной жидкости, 2 кега консистентной смазки, 8 ящиков автомобильного моторного масла и 4 ведра трансмиссионного масла.

Качество продукции и цвета

Качество смазочных материалов важно для правильной работы машин и оборудования, а также для производства качественных деталей и материалов. Смесительные и фасовочные заводы производят готовые нефтепродукты в соответствии со строгими спецификациями и требованиями к качеству. Пользователи должны поддерживать уровень качества, устанавливая безопасные методы обращения, хранения, дозирования и перекачки смазочных материалов из их оригинальных контейнеров или баков в дозирующее оборудование и в точку нанесения на машину или оборудование, подлежащее смазке, или систему, подлежащую смазке. быть заполненным. На некоторых промышленных объектах установлены централизованные дозирующие, смазочные и гидравлические системы, которые сводят к минимуму загрязнение и воздействие. Промышленные масла, смазочные материалы, смазочно-охлаждающие жидкости и консистентные смазки портятся из-за загрязнения водой или влагой, воздействия чрезмерно высоких или низких температур, непреднамеренного смешивания с другими продуктами и длительного хранения, что приводит к выпадению добавок или химическим изменениям.

Здоровье и безопасность

Поскольку они используются и обрабатываются потребителями, готовые промышленные и автомобильные продукты должны быть относительно безопасными. Существует вероятность опасного воздействия при смешивании и компаундировании продуктов, при работе с присадками, при использовании смазочно-охлаждающих жидкостей и при эксплуатации систем смазки масляным туманом.

Глава Нефтеперерабатывающие и газоперерабатывающие заводы В этом Энциклопедия дает информацию о потенциальных опасностях, связанных с вспомогательными объектами на предприятиях по смешиванию и фасовке, такими как котельные, лаборатории, офисы, водомасляные сепараторы и очистные сооружения, морские доки, хранилища резервуаров, складские операции, эстакады налива железнодорожных цистерн и автоцистерн и средства погрузки и разгрузки железнодорожных крытых вагонов и грузовых автомобилей.

Сохранность

Производственные добавки и суспензии, серийное смешивание, периодическое смешивание и смешивание в потоке требуют строгого контроля для поддержания желаемого качества продукта и, наряду с использованием СИЗ, для сведения к минимуму воздействия потенциально опасных химических веществ и материалов, а также контакта с горячими поверхностями и пар. Бочки и контейнеры с добавками следует хранить в безопасном месте и держать плотно закрытыми до тех пор, пока они не будут готовы к использованию. С добавками в бочках и мешках необходимо обращаться надлежащим образом, чтобы избежать мышечного напряжения. Опасные химические вещества должны храниться надлежащим образом, а несовместимые химические вещества не должны храниться там, где они могут смешиваться друг с другом. Меры предосторожности, которые необходимо соблюдать при работе с оборудованием для розлива и упаковки, включают использование перчаток и предотвращение защемления пальцев устройствами, сжимающими крышки бочонков и ведер. Защитные ограждения и защитные системы нельзя снимать, отсоединять или обходить для ускорения работы. Контейнеры средней грузоподъемности и бочки должны быть проверены перед заполнением, чтобы убедиться, что они чистые и пригодные для использования.

Должна быть установлена ​​система разрешений на ограниченное пространство для входа в резервуары для хранения и смесительные котлы для очистки, осмотра, технического обслуживания или ремонта. Перед работой с упаковочным оборудованием, смесительными котлами со смесителями, конвейерами, укладчиками на поддоны и другим оборудованием с движущимися частями следует установить и внедрить процедуру блокировки/маркировки.

Протекающие бочки и контейнеры должны быть удалены из зоны хранения, а разливы должны быть убраны, чтобы предотвратить скольжение и падение. Переработка, сжигание и утилизация отходов, пролитых и использованных смазочных материалов, автомобильных моторных масел и смазочно-охлаждающих жидкостей должны осуществляться в соответствии с государственными постановлениями и процедурами компании. Рабочие должны использовать соответствующие СИЗ при очистке разливов и обращении с использованными продуктами или отходами. Слитое моторное масло, смазочно-охлаждающие жидкости или промышленные смазки, которые могут быть загрязнены бензином и легковоспламеняющимися растворителями, следует хранить в безопасном месте вдали от источников возгорания до надлежащей утилизации.

Противопожарная защита

Хотя вероятность возгорания при смешивании и компаундировании промышленных и автомобильных смазочных материалов меньше, чем в процессах рафинирования, необходимо соблюдать осторожность при производстве масел и смазок для металлообработки из-за использования высоких температур смешивания и компаундирования и продуктов с более низкой температурой воспламенения. Следует принимать особые меры предосторожности для предотвращения возгорания, когда продукты разливаются или контейнеры наполняются при температурах выше их температуры воспламенения. При перемещении легковоспламеняющихся жидкостей из одного контейнера в другой следует применять надлежащие методы соединения и заземления для предотвращения накопления статического электричества и электростатического разряда. Электрические двигатели и переносное оборудование должны быть должным образом классифицированы по опасностям, присутствующим в зоне их установки или использования.

Существует вероятность возникновения пожара, если вытекающий продукт или выделившийся пар в зонах смешивания смазочных материалов и смазки или в зонах хранения достигают источника воспламенения. Следует рассмотреть вопрос о создании и внедрении системы разрешений на огневые работы для предотвращения пожаров на предприятиях по смешиванию и упаковке. Резервуары для хранения, установленные внутри зданий, должны быть сконструированы, вентилироваться и защищены в соответствии с государственными требованиями и политикой компании. Продукты, хранящиеся на стеллажах и в штабелях, не должны блокировать системы противопожарной защиты, противопожарные двери или пути выхода.

Хранение готовой продукции, как навалом, так и в контейнерах и упаковках, должно осуществляться в соответствии с общепризнанной практикой и правилами пожарной безопасности. Например, легковоспламеняющиеся жидкости и добавки, находящиеся в растворах горючих жидкостей, могут храниться вне зданий или в отдельных, специально предназначенных для этого внутренних или пристроенных складских помещениях. Многие добавки хранятся в теплых помещениях (от 38 до 65°C) или в горячих помещениях (более 65°C), чтобы ингредиенты оставались во взвешенном состоянии, чтобы снизить вязкость более густых продуктов или облегчить смешивание или компаундирование. Эти складские помещения должны соответствовать требованиям электрической классификации, дренажа, вентиляции и взрывобезопасности, особенно когда легковоспламеняющиеся жидкости или горючие жидкости хранятся и распределяются при температурах выше их точек воспламенения.

Медицина

При смешивании, отборе проб и компаундировании следует предусмотреть средства индивидуальной защиты и защиты органов дыхания, чтобы предотвратить воздействие тепла, пара, пыли, тумана, паров, паров, солей металлов, химикатов и добавок. Безопасные методы работы, хорошая гигиена и надлежащая личная защита могут потребоваться при воздействии масляного тумана, дыма и паров, присадок, шума и тепла при проведении проверок и работ по техническому обслуживанию при отборе проб и обращении с углеводородами и присадками во время производства и упаковки, а также при очистке. разливы и выбросы:

  • Для выполнения обычных работ следует носить рабочую обувь с маслостойкой или нескользкой подошвой, а утвержденную защитную обувь с защитным носком и маслостойкой или нескользящей подошвой следует носить в тех случаях, когда существует опасность травм стопы катящимися или падающими предметами или оборудованием.
  • В случае опасного воздействия химических веществ, пыли или пара могут потребоваться защитные очки и средства защиты органов дыхания.
  • Непроницаемые перчатки, фартуки, обувь, лицевые щитки и химические очки следует носить при работе с опасными химическими веществами, добавками и щелочными растворами, а также при очистке разливов.
  • Защита головы может потребоваться при работе в ямах или на участках, где существует опасность травмирования головы.
  • Должен быть обеспечен свободный доступ к соответствующим средствам очистки и сушки для обработки брызг и разливов.

 

Масло является распространенной причиной дерматита, который можно контролировать с помощью средств индивидуальной защиты и правил личной гигиены. Следует избегать прямого контакта кожи с любой консистентной смазкой или смазкой. Более легкие масла, такие как керосин, растворители и веретенные масла, обезжиривают кожу и вызывают сыпь. Более густые продукты, такие как трансмиссионные масла и смазки, блокируют поры кожи, что приводит к фолликулиту.

Опасности для здоровья из-за микробного загрязнения масла можно резюмировать следующим образом:

  • Ранее существовавшие кожные заболевания могут усугубиться.
  • Смазочные аэрозоли респирабельного размера могут вызывать респираторные заболевания.
  • Организмы могут изменить состав продукта так, что он станет непосредственно вредным.
  • Могут быть занесены вредные бактерии от животных, птиц или людей.

 

Контактный дерматит может возникнуть, когда сотрудники подвергаются воздействию смазочно-охлаждающих жидкостей во время производства, работы или технического обслуживания, а также когда они вытирают покрытые маслом руки тряпками с мельчайшими металлическими частицами. Металл вызывает небольшие порезы на коже, которые могут инфицироваться. Смазочно-охлаждающие жидкости на водной основе, нанесенные на кожу и одежду, могут содержать бактерии и вызывать инфекции, а эмульгаторы могут растворять кожный жир. Масляный фолликулит вызывается длительным воздействием смазочно-охлаждающих жидкостей на масляной основе, например, при ношении пропитанной маслом одежды. Работники должны снять и постирать одежду, пропитанную маслом, прежде чем надеть ее снова. Дерматит также может быть вызван использованием мыла, моющих средств или растворителей для очистки кожи. Дерматит лучше всего контролировать с помощью правил гигиены и минимизации воздействия. При сохранении дерматита следует обратиться за медицинской помощью.

В обширном обзоре, проведенном в качестве основы для его документа с критериями, Национальный институт безопасности и гигиены труда США (NIOSH) обнаружил связь между воздействием жидкостей для металлообработки и риском развития рака в нескольких органах, включая желудок, поджелудочную железу. , гортань и прямая кишка (NIOSH 1996). Конкретные составы, ответственные за повышенный риск рака, еще предстоит определить.

Профессиональное воздействие масляных туманов и аэрозолей связано с различными незлокачественными респираторными заболеваниями, включая липоидную пневмонию, астму, острое раздражение дыхательных путей, хронический бронхит и нарушение функции легких (NIOSH 1996).

Жидкости для металлообработки легко загрязняются бактериями и грибками. Они могут воздействовать на кожу или при вдыхании в виде загрязненных аэрозолей могут оказывать системное воздействие.

Процессы нефтепереработки, такие как гидроочистка и кислотная обработка, используются для удаления ароматических соединений из промышленных смазочных материалов, а использование нафтеновых базовых компонентов ограничено, чтобы минимизировать канцерогенность. Добавки, вводимые при смешивании и компаундировании, также могут создавать потенциальный риск для здоровья. Воздействие соединений хлора и свинца, таких как те, которые используются в некоторых трансмиссионных смазках и консистентных смазках, вызывает раздражение кожи и может быть потенциально опасным. Триортокрезилфосфат вызывает вспышки нервных расстройств, когда смазочное масло случайно используется для приготовления пищи. Синтетические масла состоят в основном из нитрита натрия и триэтаноламина и присадок. Коммерческий триэтаноламин содержит диэтаноламин, который может реагировать с нитритом натрия с образованием относительно слабого канцерогена, N-нитрозодиэтаноламина, который может представлять опасность. Полусинтетические смазочные материалы представляют опасность обоих продуктов, а также присадок в их рецептурах.

Информация о безопасности продукции важна как для сотрудников производителей, так и для пользователей смазочных материалов, масел и смазок. Производители должны иметь паспорта безопасности материалов (MSDS) или другую информацию о продукте для всех добавок и базовых компонентов, используемых при смешивании и компаундировании. Многие компании провели эпидемиологические и токсикологические испытания для определения степени опасности, связанной с любым острым и хроническим воздействием их продукции на здоровье. Эта информация должна быть доступна работникам и пользователям посредством предупредительных надписей и информации о безопасности продукции.

 

Назад

Адаптировано из 3-го издания, Энциклопедия охраны труда и техники безопасности.

Существует большое разнообразие приемов отделки поверхностей металлических изделий, чтобы они противостояли коррозии, лучше прилегали и лучше выглядели (см. табл. 1). Некоторые продукты обрабатываются последовательно несколькими из этих методов. В этой статье будут кратко описаны некоторые из наиболее часто используемых.

Таблица 1. Сводка опасностей, связанных с различными методами обработки металлов

Метод обработки металла

опасности

Меры предосторожности

Электролитическая полировка

Ожоги и раздражение от едких и агрессивных химикатов

Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию.

гальванопокрытие

Воздействие хрома и никеля, потенциально вызывающих рак; воздействие цианидов; ожоги и раздражение от едких и агрессивных химикатов; поражение электрическим током; процесс может быть влажным, вызывая опасность поскользнуться и упасть; возможное образование взрывоопасной пыли; эргономические опасности

Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию, часто щелевую, двухтактную систему. Немедленно убирайте разливы. Установите нескользящее напольное покрытие. Используйте эффективный дизайн рабочих процедур и рабочих мест, чтобы избежать эргономического стресса.

Эмали и глазурь

Физические опасности от мельниц, конвейеров, мельниц; опасность ожога от высокотемпературных жидкостей и оборудования; воздействие пыли, которая может вызвать заболевание легких

Установите надлежащие ограждения машины, включая блокировки. Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установите эффективную вытяжную вентиляцию, чтобы избежать воздействия пыли. Может потребоваться оборудование с НЕРА-фильтром.

Этчинг

Воздействие плавиковой кислоты; ожоги и раздражение от едких и агрессивных химикатов; опасность ожога от высокотемпературных жидкостей и оборудования

Внедрите программу, чтобы избежать воздействия плавиковой кислоты. Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию.

цинкование

Опасность ожога от высокотемпературных жидкостей, металлов и оборудования; ожоги и раздражение от едких и агрессивных химикатов; лихорадка металлического дыма; потенциальное воздействие свинца

Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию. Внедрить программу мониторинга/снижения воздействия свинца.

Термическая обработка

Опасность ожога от высокотемпературных жидкостей, металлов и оборудования; ожоги и раздражение от едких и агрессивных химикатов; возможные взрывоопасные атмосферы водорода; потенциальное воздействие угарного газа; потенциальное воздействие цианидов; пожароопасность при закалке маслом

Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию. Отображение знаков, предупреждающих о высокой температуре оборудования и поверхностей. Установите системы контроля концентрации угарного газа. Установите адекватные системы пожаротушения.

Металлизация

Опасность ожога от высокотемпературных металлов и оборудования; возможные взрывоопасные среды пыли, ацетилена; цинковая лихорадка

Установите адекватные системы пожаротушения. Правильно разделяйте химические вещества и газы. Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию.

фосфатирование

Ожоги и раздражение от едких и агрессивных химикатов

Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию.

Пластиковое покрытие

Воздействие химических сенсибилизаторов

Ищите альтернативы сенсибилизаторам. Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию.

заливка

Воздействие различных потенциально токсичных и легковоспламеняющихся растворителей, воздействие химических сенсибилизаторов, воздействие потенциально канцерогенного хрома

Ищите альтернативы сенсибилизаторам. Используйте соответствующие средства индивидуальной защиты. Установить эффективную вытяжную вентиляцию. Надлежащим образом разделяйте химические вещества/газы.

 

Прежде чем применять любой из этих методов, продукты должны быть тщательно очищены. Применяется ряд методов очистки, индивидуально или последовательно. Они включают в себя механическую шлифовку, чистку щеткой и полировку (с образованием металлической или оксидной пыли — алюминиевая пыль может быть взрывоопасной), обезжиривание паром, промывку органическими жирорастворителями, «протравку» в концентрированных растворах кислот или щелочей и электролитическое обезжиривание. Последний включает погружение в ванны, содержащие цианид и концентрированную щелочь, в которых электролитически образующийся водород или кислород удаляют жир, в результате чего получаются «чистые» металлические поверхности, свободные от оксидов и жира. За очисткой следует соответствующее ополаскивание и сушка изделия.

Надлежащая конструкция оборудования и эффективная LEV частично снизят риск. Рабочие, подвергающиеся опасности брызг, должны быть обеспечены защитными очками или щитками для глаз и защитными перчатками, фартуками и одеждой. Душевые и фонтанчики для промывания глаз должны находиться поблизости и находиться в исправном состоянии, а брызги и разливы следует смывать незамедлительно. При работе с электролитическим оборудованием перчатки и обувь должны быть непроводящими, а также должны соблюдаться другие стандартные меры предосторожности при работе с электричеством, такие как установка прерывателей цепи замыкания на землю и процедуры блокировки/маркировки.

Процессы лечения

Электролитическая полировка

Электролитическая полировка используется для получения поверхности с улучшенным внешним видом и отражательной способностью, для удаления лишнего металла для точного соответствия требуемым размерам и для подготовки поверхности к осмотру на наличие дефектов. Процесс включает преимущественное анодное растворение выпуклостей на поверхности после парового обезжиривания и горячей щелочной очистки. В качестве растворов электролитов часто используют кислоты; соответственно, после этого требуется адекватное полоскание.

гальванопокрытие

Гальванопокрытие — это химический или электрохимический процесс нанесения на изделие металлического слоя, например, никеля для защиты от коррозии, твердого хрома для улучшения свойств поверхности или серебра и золота для украшения. Иногда используются неметаллические материалы. Изделие, соединенное в качестве катода, и анода из осаждаемого металла погружают в раствор электролита (который может быть кислым, щелочным или щелочным с цианидными солями и комплексами) и подключают снаружи к источнику постоянного тока. Положительно заряженные катионы металлического анода мигрируют к катоду, где они восстанавливаются до металла и осаждаются в виде тонкого слоя (см. рис. 1). Процесс продолжается до тех пор, пока новое покрытие не достигнет желаемой толщины, после чего изделие промывают, сушат и полируют.

Рисунок 1. Гальваника: схематическое изображение

МЕТ070Ф1

 

Анод: Cu → Cu+2 + 2e- ; Катод: медь+2 + 2е- → медь

In гальванопластика, процесс, тесно связанный с гальванопокрытием; изделия, отлитые, например, из гипса или пластмассы, делают проводящими путем нанесения графита, а затем соединяют в качестве катода, так что на них осаждается металл.

In анодирование, в процессе, который приобретает все большее значение в последние годы, изделия из алюминия (также используются титан и другие металлы) соединяют в качестве анода и погружают в разбавленную серную кислоту. Однако вместо образования положительных ионов алюминия, мигрирующих для осаждения на катоде, они окисляются возникающими на аноде атомами кислорода и связываются с ним в виде оксидного слоя. Этот оксидный слой частично растворяется раствором серной кислоты, делая поверхностный слой пористым. Впоследствии в эти поры могут быть нанесены окрашенные или светочувствительные материалы, например, при изготовлении именных табличек.

Эмали и глазури

Стекловидная эмаль или фарфоровая эмаль используются для создания высокотемпературного, грязе- и коррозионностойкого покрытия на металлах, обычно железе или стали, в широком спектре готовых изделий, включая ванны, газовые и электрические плиты, кухонную утварь, резервуары для хранения. контейнеры и электрооборудование. Кроме того, эмали используются в отделке керамики, стекла, ювелирных изделий и декоративных украшений. Специальное использование эмалевых порошков в производстве таких декоративных изделий, как Cloisonné и Limoges, известно на протяжении веков. Глазури наносятся на гончарные изделия всех видов.

Материалы, используемые в производстве стекловидных эмалей и глазурей, включают:

  • огнеупоры, такие как кварц, полевой шпат и глина
  • флюсы, такие как бура (декагидрат бората натрия), кальцинированная сода (безводный карбонат натрия), нитрат натрия, плавиковый шпат, криолит, карбонат бария, карбонат магния, монооксид свинца, тетраоксид свинца и оксид цинка.
  • красители, такие как оксиды сурьмы, кадмия, кобальта, железа, никеля, марганца, селена, ванадия, урана и титана
  • замутнители, такие как оксиды сурьмы, титана, олова и циркония, а также антимонинат натрия
  • электролиты, такие как бура, кальцинированная сода, карбонат и сульфат магния, нитрит натрия и алюминат натрия
  • флокулянты, такие как глина, камедь, альгинат аммония, бентонит и коллоидный кремнезем.

 

Первым шагом во всех видах эмалирования или глазурования стекловидного тела является изготовление фритты, эмалевого порошка. Это включает в себя подготовку сырья, плавку и транспортировку фритты.

После тщательной очистки металлических изделий (например, дробеструйной обработки, травления, обезжиривания) эмаль может быть нанесена рядом процедур:

  • При мокром способе объект погружают в водную эмаль, извлекают и дают ей стечь, или, в случае «смачивания», эмаль становится толще и ее необходимо стряхивать с объекта.
  • При сухом способе грунтованное изделие нагревают до температуры эмали, а затем на него через сита насыпают порошок сухой эмали. Эмаль спекается и, когда объект возвращается в печь, плавится до гладкой поверхности.
  • Нанесение распылением все чаще используется, как правило, при механизированных операциях. Требуется шкаф под вытяжную вентиляцию.
  • Декоративные эмали обычно наносятся вручную с помощью кистей или подобных инструментов.
  • Глазури для фарфоровых и гончарных изделий обычно наносят окунанием или распылением. Хотя некоторые операции окунания механизированы, в отечественной фарфоровой промышленности изделия обычно окунают вручную. Предмет держат в руке, опускают в большую ванну с глазурью, легким движением руки глазурь удаляют, а предмет помещают в сушилку. При распылении глазури необходимо предусмотреть закрытый колпак или шкаф с эффективной вытяжной вентиляцией.

 

Подготовленные объекты затем «обжигают» в печи или печи для обжига, которые обычно работают на газе.

Этчинг

Химическое травление дает атласную или матовую поверхность. Чаще всего он используется в качестве предварительной обработки перед анодированием, лакировкой, конверсионным покрытием, полировкой или химическим отбеливанием. Чаще всего применяется для алюминия и нержавеющей стали, но также используется для многих других металлов.

Алюминий обычно травят в щелочных растворах, содержащих различные смеси гидроксида натрия, гидроксида калия, тринатрийфосфата и карбоната натрия вместе с другими ингредиентами для предотвращения образования шлама. В одном из наиболее распространенных процессов используется гидроксид натрия в концентрации от 10 до 40 г/л при температуре от 50 до 85°C и времени погружения до 10 минут.

Обычно перед щелочным травлением и после него проводят обработку в различных смесях соляной, плавиковой, азотной, фосфорной, хромовой или серной кислоты. Типичная обработка кислотой включает погружение на 15-60 секунд в смесь из 3 объемных частей азотной кислоты и 1 объемной части плавиковой кислоты, температура которой поддерживается на уровне 20°C.

цинкование

При цинковании на различные стальные изделия наносится цинковое покрытие для защиты от коррозии. Продукт должен быть чистым и не содержать оксидов, чтобы покрытие приклеилось должным образом. Обычно это включает в себя ряд процессов очистки, промывки, сушки или отжига перед тем, как продукт попадет в ванну цинкования. При «горячем» цинковании изделие проходит через ванну с расплавленным цинком; «Холодное» цинкование по сути является гальванопокрытием, как описано выше.

Производимые изделия обычно гальванизируют в периодическом процессе, в то время как метод непрерывной полосы используется для стальной полосы, листа или проволоки. Флюс можно использовать для обеспечения удовлетворительной очистки как продукта, так и цинковой ванны, а также для облегчения сушки. За стадией предварительного флюсования может следовать покрытие флюсом из хлорида аммония на поверхности цинковой ванны, или последний может использоваться отдельно. При цинковании трубы трубу погружают в горячий раствор хлорида цинка-аммония после очистки и до того, как труба попадет в ванну с расплавленным цинком. Потоки разлагаются с образованием раздражающего хлористого водорода и газообразного аммиака, что требует LEV.

Различные виды непрерывного горячего цинкования существенно различаются тем, как очищается изделие и выполняется ли очистка в режиме реального времени:

  • очистка пламенным оксидированием поверхностных масел с последующим восстановлением в печи и поточным отжигом
  • электролитическая очистка перед поточным отжигом
  • очистка кислотным травлением и щелочная очистка, использование флюса перед прогревом в печи и отжиг в печи перед цинкованием
  • очистка травлением кислотой и очистка щелочью, удаление флюса и предварительный нагрев в восстановительном газе (например, водороде) перед цинкованием.

 

Линия непрерывного цинкования тонколистовой стали исключает травление и использование флюса; он использует щелочную очистку и поддерживает чистоту поверхности полосы, нагревая ее в камере или печи с восстановительной атмосферой водорода, пока она не пройдет ниже поверхности ванны с расплавленным цинком.

Непрерывное цинкование проволоки требует стадий отжига, обычно в ванне с расплавленным свинцом перед емкостями для очистки и цинкования; воздушное или водяное охлаждение; травление в горячей разбавленной соляной кислоте; полоскание; применение флюса; сушка; а затем цинкование в ванне с расплавленным цинком.

Окалина, сплав железа и цинка, оседает на дно ванны с расплавленным цинком и должна периодически удаляться. Различные типы материалов плавают на поверхности цинковой ванны, чтобы предотвратить окисление расплавленного цинка. В местах входа и выхода оцинковываемой проволоки или полосы требуется частая шлифовка.

Термическая обработка

Термическая обработка, нагрев и охлаждение металла, остающегося в твердом состоянии, обычно является неотъемлемой частью обработки металлических изделий. Он почти всегда связан с изменением кристаллической структуры металла, что приводит к модификации его свойств (например, отжиг для придания металлу большей пластичности, нагрев и медленное охлаждение для снижения твердости, нагрев и закалка для повышения твердости, низкотемпературная обработка). подогрев для минимизации внутренних напряжений).

отжиг

Отжиг — это «размягчающая» термическая обработка, широко используемая для дальнейшей холодной обработки металла, улучшения обрабатываемости, снятия напряжений с изделия перед его использованием и т. д. Он включает в себя нагрев металла до определенной температуры, выдерживание его при этой температуре в течение определенного периода времени и охлаждение с определенной скоростью. Применяется несколько методов отжига:

  • Синий отжиг, при котором на поверхности сплавов на основе железа образуется слой синего оксида
  • Яркий отжиг, которая проводится в контролируемой атмосфере, чтобы свести к минимуму поверхностное окисление
  • Закрытый отжиг or отжиг коробки, метод, при котором как черные, так и цветные металлы нагреваются в герметичном металлическом контейнере с упаковочным материалом или без него, а затем медленно охлаждаются.
  • Полный отжиг, обычно проводится в защитной атмосфере, направленной на получение максимальной мягкости, экономически целесообразной
  • пластичность, особый вид отжига, применяемый к чугунным отливкам, чтобы сделать их ковкими путем преобразования связанного углерода в железе в мелкий углерод (например, графит)
  • Частичный отжиг, низкотемпературный процесс снятия внутренних напряжений, возникающих в металле при холодной обработке давлением
  • Подкритический or сфероидизирующий отжиг, который обеспечивает улучшенную обрабатываемость, позволяя карбиду железа в кристаллической структуре приобретать сфероидальную форму.

 

старение

Старение — это термообработка, часто используемая для алюминиево-медных сплавов, при которой естественное упрочнение сплава ускоряется путем нагрева до температуры около 180°C в течение примерно 1 часа.

Гомогенизация

Гомогенизация, обычно применяемая к слиткам или металлическим порошкам, предназначена для устранения или значительного уменьшения расслоения. Это достигается путем нагревания до температуры примерно на 20°C ниже точки плавления металла в течение примерно 2 часов или более с последующей закалкой.

Нормализация

Процесс, аналогичный полному отжигу, обеспечивает однородность получаемых механических свойств, а также обеспечивает большую прочность и устойчивость к механическим нагрузкам.

патентование

Патентование представляет собой особый тип процесса отжига, который обычно применяется к материалам малого поперечного сечения, предназначенным для волочения (например, проволока из 0.6% углеродистой стали). Металл нагревается в обычной печи выше предела превращения, а затем поступает из печи непосредственно, например, в свинцовую ванну, поддерживаемую при температуре около 170°С.

Закалка и отпуск

Увеличение твердости может быть достигнуто в сплаве на основе железа путем нагрева выше диапазона превращения и быстрого охлаждения до комнатной температуры путем закалки в масле, воде или воздухе. Изделие часто подвергается слишком высоким нагрузкам, чтобы его можно было пустить в эксплуатацию, и для повышения его ударной вязкости его подвергают отпуску путем повторного нагревания до температуры ниже диапазона превращения и охлаждения с желаемой скоростью.

Процессы мартенситной и аустемперации аналогичны, за исключением того, что изделие закаливают, например, в соляной или свинцовой ванне при температуре 400°С.

Поверхностное и поверхностное упрочнение

Это еще один процесс термообработки, наиболее часто применяемый к сплавам на основе железа, который позволяет поверхности объекта оставаться твердой, а его сердцевина остается относительно пластичной. Он имеет ряд вариаций:

  • Закалка пламенем включает закалку поверхностей объекта (например, зубьев шестерен, подшипников, направляющих скольжения) путем нагревания высокотемпературной газовой горелкой с последующей закалкой в ​​масле, воде или другой подходящей среде.
  • Электрическая индукционная закалка аналогична закалке пламенем, за исключением того, что нагрев производится вихревыми токами, индуцируемыми в поверхностных слоях.
  • карбюризация увеличивает углеродистость поверхности сплава на основе железа путем нагревания объекта в твердой, жидкой или газообразной углеродсодержащей среде (например, твердый уголь и карбонат бария, жидкие цианид натрия и карбонат натрия, газообразный оксид углерода, метан и т. д.) ) при температуре около 900°С.
  • Азотирование увеличивает содержание азота на поверхности специального изделия из низколегированного чугуна или стали путем нагревания его в азотсодержащей среде, обычно газообразном аммиаке, примерно до 500—600°С.
  • Цианирование метод цементации, при котором поверхность изделия из низкоуглеродистой стали одновременно обогащается углеродом и азотом. Обычно он включает нагрев объекта в течение 1 часа в ванне с расплавленным 30%-ным цианистым натрием при 870°C, а затем закалку в масле или воде.
  • Углеродное азотирование представляет собой газовый процесс одновременной абсорбции углерода и азота в поверхностный слой стали путем нагревания его до 800-875°С в атмосфере науглероживающего газа (см. выше) и азотирующего газа (например, 2-5% безводного газа). аммиак).

 

Металлизация

Металлизация, или напыление металла, представляет собой метод нанесения защитного металлического покрытия на механически приданную шероховатость поверхности путем распыления на нее капель расплавленного металла. Он также используется для восстановления изношенных или корродированных поверхностей и для восстановления плохо обработанных деталей. Этот процесс широко известен как Шупинг в честь изобретателя доктора Шупа.

В нем используется пистолет Шупинга, ручной пистолет-распылитель, через который металл в форме проволоки подается в пламя горелки с топливным газом / кислородом, которое плавит его и с помощью сжатого воздуха распыляет на объект. Источником тепла является смесь кислорода и ацетилена, пропана или сжатого природного газа. Свернутая проволока обычно выпрямляется перед подачей в пистолет. Можно использовать любой металл, из которого можно сделать проволоку; Пистолет также может принимать металл в виде порошка.

Вакуумная металлизация — это процесс, при котором объект помещается в вакуумную банку, в которую напыляется металл покрытия.

фосфатирование

Фосфатирование используется в основном на мягкой и оцинкованной стали и алюминии для повышения адгезии и коррозионной стойкости лакокрасочных, восковых и масляных покрытий. Он также используется для формирования слоя, который действует как разделительная пленка при глубокой вытяжке листового металла и повышает его износостойкость. По сути, он состоит в том, чтобы позволить металлической поверхности реагировать с раствором одного или нескольких фосфатов железа, цинка, марганца, натрия или аммония. Растворы фосфатов натрия и аммония применяют для комбинированной очистки и фосфатирования. Необходимость фосфатировать изделия из нескольких металлов и желание увеличить скорость линии в автоматизированных операциях привели к сокращению времени реакции за счет добавления в растворы для фосфатирования ускорителей, таких как фториды, хлораты, молибдаты и соединения никеля. Чтобы уменьшить размер кристаллов и, следовательно, для повышения гибкости покрытий из фосфата цинка в промывку перед предварительной обработкой добавляют реагенты для очистки кристаллов, такие как третичный фосфат цинка или фосфат титана.

Последовательность фосфатирования обычно включает следующие этапы:

  • горячая каустическая очистка
  • расчесывание и полоскание
  • дальнейшая очистка горячим каустиком
  • полоскание кондиционирующей водой
  • распыление или погружение в горячие растворы кислых фосфатов
  • ополаскивание холодной водой
  • полоскание теплой хромовой кислотой
  • еще одно полоскание холодной водой
  • сушка.

 

заливка

Органические грунтовки для краски наносятся на металлические поверхности, чтобы улучшить адгезию впоследствии нанесенных красок и замедлить коррозию на границе раздела краска-металл. Грунтовки обычно содержат смолы, пигменты и растворители и могут наноситься на подготовленные металлические поверхности кистью, распылением, погружением, валиком или электрофорезом.

Растворителями могут быть любые комбинации алифатических и ароматических углеводородов, кетонов, сложных эфиров, спиртов и простых эфиров. Наиболее часто используемые смолы представляют собой поливинилбутинолы, фенольные смолы, алкидные олифы, эпоксидированные масла, эпоксиэфиры, этилсиликаты и хлорированные каучуки. В комплексных грунтовках используются сшивающие агенты, такие как тетраэтиленпентамин, пентаэтиленгексамин, изоцианаты и карбамидоформальдегид. Неорганические пигменты, используемые в составе грунтовок, включают соединения свинца, бария, хрома, цинка и кальция.

Пластиковое покрытие

Пластмассовые покрытия наносят на металлы в жидком виде, в виде порошков, которые впоследствии отверждаются или спекаются при нагревании, или в виде готовых листов, которые приклеиваются к металлической поверхности с помощью клея. Наиболее часто используемые пластмассы включают полиэтилен, полиамиды (нейлоны) и ПВХ. Последние могут включать пластификаторы на основе мономерных и полимерных сложных эфиров и стабилизаторы, такие как карбонат свинца, соли жирных кислот бария и кадмия, дилаурат дибутилолова, меркаптиды алкилолова и фосфат цинка. Хотя в целом они малотоксичны и не вызывают раздражения, некоторые из пластификаторов являются сенсибилизаторами кожи.

Опасности и их предотвращение

Как можно сделать вывод из сложности описанных выше процессов, существует большое разнообразие опасностей для безопасности и здоровья, связанных с обработкой поверхности металлов. Многие из них регулярно встречаются в производственных операциях; другие представлены уникальностью используемых методов и материалов. Некоторые из них потенциально опасны для жизни. Однако в целом их можно предотвратить или контролировать.

Дизайн рабочего места

Рабочее место должно быть спроектировано таким образом, чтобы обеспечить доставку сырья и материалов и вывоз готовой продукции, не мешая текущей обработке. Поскольку многие химические вещества легко воспламеняются или склонны вступать в реакцию при смешивании, важно обеспечить надлежащее разделение при хранении и транспортировке. Во многих операциях по отделке металлов используются жидкости, и при утечке, разливе или разбрызгивании кислот или щелочей их необходимо немедленно смыть. Соответственно, должны быть предусмотрены адекватно дренированные, противоскользящие полы. Уборка должна быть тщательной, чтобы рабочие зоны и другие помещения были чистыми и свободными от скоплений материалов. Системы удаления твердых и жидких отходов и стоков из печей и вытяжной вентиляции должны проектироваться с учетом экологических соображений.

Рабочие места и рабочие задания должны основываться на принципах эргономики, чтобы свести к минимуму деформации, вывихи, чрезмерную усталость и RSI. Ограждения машины должны иметь автоматическую блокировку, чтобы машина обесточивалась при снятии ограждения. Брызговики необходимы. Из-за опасности разбрызгивания горячих растворов кислот и щелочей фонтанчики для промывки глаз и души для всего тела должны быть установлены в пределах легкой досягаемости. Должны быть вывешены знаки, предупреждающие другой производственный и обслуживающий персонал о таких опасностях, как химические ванны и горячие поверхности.

Химическая оценка

Все химические вещества следует оценивать на предмет потенциальной токсичности и физической опасности, и по возможности следует заменять их менее опасными материалами. Однако, поскольку менее токсичный материал может быть более легковоспламеняющимся, необходимо также учитывать опасность возгорания и взрыва. Кроме того, необходимо учитывать химическую совместимость материалов. Например, случайное смешивание солей нитратов и цианидов может привести к взрыву из-за сильных окислительных свойств нитратов.

Вентиляция

Для большинства процессов нанесения металлических покрытий требуется LEV, который стратегически расположен для отвода паров или других загрязняющих веществ от рабочего. Некоторые системы пропускают свежий воздух через бак, чтобы «вытолкнуть» переносимые по воздуху загрязняющие вещества к выпускной стороне системы. Заборы свежего воздуха должны быть расположены вдали от вытяжных вентиляционных отверстий, чтобы потенциально токсичные газы не рециркулировали.

Средства индивидуальной защиты

Процессы должны быть разработаны таким образом, чтобы предотвратить потенциально токсичные воздействия, но, поскольку их не всегда можно полностью избежать, сотрудники должны быть обеспечены соответствующими СИЗ (например, очками с лицевыми щитками или без них, перчатками, фартуками или комбинезонами и обувью). Поскольку многие воздействия связаны с горячими коррозионными или едкими растворами, защитные элементы должны быть изолированными и химически стойкими. Если возможно воздействие электричества, СИЗ должны быть непроводящими. СИЗ должны быть доступны в достаточном количестве, чтобы можно было очистить и высушить загрязненные, влажные предметы перед их повторным использованием. Утепленные перчатки и другая защитная одежда должны быть доступны там, где существует риск термических ожогов от горячего металла, печей и т.д.

Важным дополнением является наличие умывальников, чистых шкафчиков и раздевалок, чтобы одежда рабочих оставалась незагрязненной, а рабочие не несли домой токсичные материалы.

Обучение сотрудников и контроль

Обучение и подготовка сотрудников необходимы как для новых сотрудников, так и для тех, кто изменил оборудование или технологический процесс. Для каждого химического продукта должны быть предоставлены паспорта безопасности, объясняющие химическую и физическую опасность, на языках и на уровне образования, обеспечивающем их понимание работниками. Проверка компетентности и периодическая переподготовка гарантируют, что работники сохранят необходимую информацию. Рекомендуется пристальный надзор, чтобы убедиться, что соблюдаются надлежащие процедуры.

Выбранные опасности

Некоторые опасности характерны только для индустрии покрытий металлов и заслуживают особого внимания.

Щелочные и кислотные растворы

Нагретые щелочные и кислотные растворы, используемые при очистке и обработке металлов, обладают особенно коррозионными и едкими свойствами. Они раздражают кожу и слизистые оболочки и особенно опасны при попадании брызг в глаза. Необходимы фонтанчики для промывки глаз и аварийные души. Надлежащая защитная одежда и очки защитят от неизбежных брызг; при попадании брызг на кожу следует немедленно и обильно промыть пораженный участок прохладной чистой водой в течение не менее 15 минут; может потребоваться медицинская помощь, особенно при поражении глаз.

Следует соблюдать осторожность при использовании хлорированных углеводородов, так как фосген может образоваться в результате реакции хлорированных углеводородов, кислот и металлов. Азотная и фтористоводородная кислоты особенно опасны при вдыхании их газов, поскольку может пройти 4 часа и более, прежде чем станет очевидным воздействие на легкие. Бронхит, пневмонит и даже потенциально смертельный отек легких могут проявиться с опозданием у рабочего, у которого, по-видимому, не было первоначального эффекта от воздействия. Рабочим, подвергшимся облучению, рекомендуется незамедлительное профилактическое лечение и, часто, госпитализация. Контакт кожи с плавиковой кислотой может вызвать сильные ожоги без боли в течение нескольких часов. Немедленная медицинская помощь имеет важное значение.

Пыли

Металлическая и оксидная пыль представляют собой особую проблему при шлифовании и полировании и наиболее эффективно удаляются LEV по мере их образования. Воздуховоды должны быть спроектированы так, чтобы они были гладкими, а скорость воздуха должна быть достаточной, чтобы частицы не оседали в воздушном потоке. Алюминиевая и магниевая пыль может быть взрывоопасной и должна собираться во влажную ловушку. Свинец стал менее серьезной проблемой с уменьшением его использования в керамике и глазури для фарфора, но он остается повсеместным профессиональным вредным фактором, и от него следует всегда защищаться. В последнее время бериллий и его соединения вызывают интерес из-за возможности канцерогенности и хронического бериллиевого заболевания.

Некоторые операции представляют риск силикоза и пневмокониоза: прокаливание, дробление и сушка кремня, кварца или камня; просеивание, смешивание и взвешивание этих веществ в сухом виде; и засыпка печей такими материалами. Они также представляют опасность, когда они используются во влажном процессе и разбрызгиваются по рабочему месту и на одежду рабочих, чтобы снова превратиться в пыль, когда они высыхают. LEV и строгая чистота и личная гигиена являются важными профилактическими мерами.

Органические растворители

Растворители и другие органические химикаты, используемые при обезжиривании и в некоторых процессах, опасны при вдыхании. В острой фазе их наркотическое действие может привести к параличу дыхания и смерти. При хроническом воздействии наиболее часты токсическое воздействие на центральную нервную систему и поражение печени и почек. Защита обеспечивается LEV с зоной безопасности не менее 80-100 см между источником и зоной дыхания работника. Вентиляция стола также должна быть установлена ​​для удаления остаточных паров от готовых заготовок. Обезжиривание кожи органическими растворителями может быть предвестником дерматита. Многие растворители также легко воспламеняются.

Цианид

Ванны, содержащие цианиды, часто используются при электролитическом обезжиривании, гальванике и цианировании. В результате реакции с кислотой образуется летучий, потенциально смертельный цианистый водород (синильная кислота). Смертельная концентрация в воздухе составляет от 300 до 500 частей на миллион. Смертельное воздействие также может быть результатом впитывания через кожу или проглатывания цианидов. Оптимальная чистота необходима для рабочих, использующих цианид. Пищу нельзя есть до мытья, и она никогда не должна находиться в рабочей зоне. Руки и одежда должны быть тщательно вымыты после потенциального воздействия цианида.

Меры первой помощи при отравлении цианидами включают вынос на открытый воздух, снятие загрязненной одежды, обильное промывание пораженных участков водой, оксигенотерапию и вдыхание амилнитрита. LEV и защита кожи имеют важное значение.

Хром и никель

Соединения хрома и никеля, используемые в гальванических ваннах при гальванике, могут быть опасны. Соединения хрома могут вызывать ожоги, изъязвления и экзему кожи и слизистых оболочек и характерную перфорацию носовой перегородки. Может развиться бронхиальная астма. Соли никеля могут вызывать стойкое аллергическое или токсико-раздражающее поражение кожи. Имеются данные о том, что соединения хрома и никеля могут быть канцерогенными. LEV и защита кожи имеют важное значение.

Печи и печи

Особые меры предосторожности необходимы при работе с используемыми печами, например, при термообработке металлов, когда компоненты обрабатываются при высоких температурах, а материалы, используемые в процессе, могут быть либо токсичными, либо взрывоопасными, либо и тем, и другим. Газообразные среды (атмосферы) в печи могут реагировать с металлошихтой (окисляющие или восстановительные атмосферы) или быть нейтральными и защитными. Большинство последних содержат до 50 % водорода и 20 % оксида углерода, которые, помимо горючести, при повышенных температурах образуют с воздухом взрывоопасные смеси. Температура воспламенения колеблется от 450 до 750 °С, но локальная искра может вызвать воспламенение даже при более низких температурах. Опасность взрыва возрастает при запуске или остановке печи. Поскольку охлаждающая печь имеет тенденцию засасывать воздух (особенно опасно при прекращении подачи топлива или электроэнергии), необходимо обеспечить подачу инертного газа (например, азота или двуокиси углерода) для продувки, когда печь остановлена, а также при введении защитной атмосферы в горячую печь.

Угарный газ, пожалуй, самая большая опасность от печей и духовок. Поскольку он бесцветен и не имеет запаха, он часто достигает токсического уровня до того, как рабочий узнает об этом. Головная боль является одним из самых ранних симптомов интоксикации, поэтому работника, у которого на работе возникла головная боль, следует немедленно вывести на свежий воздух. Опасные зоны включают углубления, в которых может скапливаться окись углерода; следует помнить, что кирпичная кладка пористая и может задерживать газ при обычной продувке и выделять его при завершении продувки.

Свинцовые печи могут быть опасны, так как свинец имеет тенденцию довольно быстро испаряться при температурах выше 870°C. Соответственно, требуется эффективная система удаления дыма. Поломка или выход из строя горшка также может быть опасным; следует предусмотреть достаточно большой колодец или яму для сбора расплавленного металла, если это произойдет.

Огонь и взрыв

Многие из соединений, используемых в металлическом покрытии, являются легковоспламеняющимися и при определенных обстоятельствах взрывоопасными. По большей части печи и сушильные шкафы работают на газе, поэтому должны быть предусмотрены специальные меры предосторожности, такие как устройства контроля пламени на горелках, запорные клапаны низкого давления на линиях подачи и взрывозащитные панели в конструкции печей. . В электролитических операциях водород, образующийся в процессе, может собираться на поверхности ванны и, если его не выпустить, может достигать взрывоопасных концентраций. Печи должны хорошо вентилироваться, а горелки должны быть защищены от засорения капающим материалом.

Закалка в масле также пожароопасна, особенно если металлическая шихта погружена не полностью. Закалочные масла должны иметь высокую температуру вспышки, а их температура не должна превышать 27°С.

Баллоны со сжатым кислородом и топливным газом, используемые при металлизации, представляют опасность пожара и взрыва при неправильном хранении и эксплуатации. Подробные меры предосторожности см. в статье «Сварка и термическая резка» в этой главе.

В соответствии с местными постановлениями противопожарное оборудование, включая сигнализацию, должно быть предоставлено и содержаться в рабочем состоянии, а рабочие должны быть обучены его правильному использованию.

зной

Использование печей, открытого огня, печей, нагретых растворов и расплавленных металлов неизбежно сопряжено с риском чрезмерного теплового воздействия, которое усугубляется в жарком влажном климате и, в частности, при использовании непроницаемой защитной одежды и снаряжения. Полное кондиционирование воздуха на заводе может быть экономически невыгодным, но подача охлажденного воздуха в местные системы вентиляции полезна. Перерывы для отдыха в прохладном месте и достаточное потребление жидкости (жидкости, принимаемые на рабочем месте, не должны содержать токсичных примесей) помогут предотвратить тепловое отравление. Рабочие и руководители должны быть обучены распознаванию симптомов теплового стресса.

Заключение

Поверхностная обработка металлов включает в себя множество процессов, связанных с широким спектром потенциально токсичных воздействий, большинство из которых можно предотвратить или контролировать путем тщательного применения общепризнанных профилактических мер.

 

Назад

Суббота, 19 марта 2011 19: 54

Восстановление металла

Регенерация металлов - это процесс, при котором металлы производятся из металлолома. Эти восстановленные металлы неотличимы от металлов, полученных в результате первичной обработки руды металла. Однако процесс немного отличается, и воздействие может быть другим. Инженерные средства управления в основном одинаковы. Утилизация металлов очень важна для мировой экономики из-за истощения запасов сырья и загрязнения окружающей среды ломом.

Алюминий, медь, свинец и цинк составляют 95% продукции вторичной цветной металлургии. Также регенерируются магний, ртуть, никель, драгоценные металлы, кадмий, селен, кобальт, олово и титан. (Железо и сталь обсуждаются в главе Металлургическая промышленность. См. также статью «Плавка и рафинирование меди, свинца и цинка» в этой главе.)

Стратегии контроля

Принципы контроля выбросов/воздействия

Восстановление металла связано с воздействием пыли, паров, растворителей, шума, тепла, кислотных туманов и других потенциально опасных материалов и рисков. Некоторые модификации процесса и/или обращения с материалами могут быть осуществимы для устранения или уменьшения образования выбросов: минимизация обработки, снижение температуры тигля, уменьшение образования окалины и образования пыли на поверхности, а также изменение планировки предприятия для уменьшения обработки материала или повторного уноса осевших частиц. пыль.

Воздействие может быть уменьшено в некоторых случаях, если машины выбраны для выполнения задач с высоким уровнем воздействия, так что сотрудники могут быть удалены из зоны. Это также может снизить эргономические риски, связанные с погрузочно-разгрузочными работами.

Чтобы предотвратить перекрестное загрязнение чистых зон предприятия, желательно изолировать процессы, вызывающие значительные выбросы. Физический барьер будет сдерживать выбросы и уменьшать их распространение. Таким образом, меньше людей будут подвергаться облучению, а количество источников выбросов, способствующих облучению в какой-либо одной области, сократится. Это упрощает оценку воздействия и упрощает идентификацию и контроль основных источников. Операции по регенерации часто изолированы от других операций предприятия.

Иногда можно закрыть или изолировать конкретный источник выбросов. Поскольку ограждения редко бывают герметичными, к ограждению часто применяется вытяжная система с отрицательной тягой. Одним из наиболее распространенных способов борьбы с выбросами является обеспечение местной вытяжной вентиляции в месте образования выбросов. Улавливание выбросов в их источнике снижает возможность их рассеивания в воздухе. Это также предотвращает вторичное воздействие на сотрудников, вызванное повторным уносом осевших загрязняющих веществ.

Скорость захвата вытяжного колпака должна быть достаточно большой, чтобы пары или пыль не попадали в вытяжку из воздушного потока. Поток воздуха должен иметь достаточную скорость, чтобы переносить частицы дыма и пыли в вытяжку и преодолевать разрушительное воздействие перекрестных сквозняков и других случайных движений воздуха. Скорость, необходимая для достижения этого, будет варьироваться от приложения к приложению. Следует ограничить использование рециркуляционных обогревателей или индивидуальных охлаждающих вентиляторов, которые могут заменить местную вытяжную вентиляцию.

Все системы вытяжной или разреженной вентиляции также требуют замещения воздуха (известные также как системы «подпиточного» воздуха). Если система замены воздуха хорошо спроектирована и интегрирована в системы естественной и комфортной вентиляции, можно ожидать более эффективного контроля воздействия. Например, выпускные отверстия для замены воздуха должны располагаться таким образом, чтобы чистый воздух из выпускного отверстия проходил через сотрудников к источнику выбросов и к выхлопу. Этот метод часто используется с островами подачи воздуха и помещает работника между чистым поступающим воздухом и источником выбросов.

Чистые зоны предназначены для контроля посредством прямого контроля выбросов и уборки. В этих районах наблюдается низкий уровень загрязнения окружающей среды. Сотрудники в загрязненных зонах могут быть защищены служебными кабинами с подачей воздуха, островами, дежурными пультами и диспетчерскими, дополненными средствами индивидуальной защиты органов дыхания.

Среднее дневное воздействие на рабочих можно уменьшить, предусмотрев чистые зоны, такие как комнаты отдыха и столовые, которые снабжаются свежим отфильтрованным воздухом. Проводя время в относительно свободной от загрязняющих веществ зоне, можно снизить средневзвешенное по времени воздействие загрязняющих веществ на сотрудников. Другим популярным применением этого принципа является остров приточной вентиляции, где свежий отфильтрованный воздух подается в зону дыхания работника на рабочем месте.

Необходимо предусмотреть достаточно места для вытяжных шкафов, воздуховодов, диспетчерских, операций по техническому обслуживанию, очистки и хранения оборудования.

Колесные транспортные средства являются значительными источниками вторичных выбросов. Там, где используется колесный транспорт, выбросы можно сократить путем покрытия всех поверхностей дорожным покрытием, очистки поверхностей от скопившихся пылевидных материалов, уменьшения расстояния и скорости движения транспортных средств, а также путем изменения направления выхлопных газов транспортных средств и вентилятора охлаждения. Подходящий материал для мощения, такой как бетон, следует выбирать с учетом таких факторов, как нагрузка, использование и уход за поверхностью. На некоторые поверхности могут быть нанесены покрытия для облегчения промывки дорог.

Все системы вытяжной, разбавляющей и подпиточной вентиляции должны содержаться в надлежащем состоянии, чтобы эффективно контролировать загрязнение воздуха. В дополнение к обслуживанию систем общей вентиляции необходимо обслуживать технологическое оборудование, чтобы исключить утечку материала и неорганизованные выбросы.

Реализация программы производственной практики

Хотя стандарты подчеркивают важность технических средств контроля как средства достижения соответствия, средства контроля рабочей практики необходимы для успешной программы контроля. Инженерный контроль может быть побежден плохими рабочими привычками, неадекватным обслуживанием и плохим хозяйством или личной гигиеной. Сотрудники, работающие с одним и тем же оборудованием в разные смены, могут подвергаться значительно разным воздействиям переносимых по воздуху из-за различий этих факторов между сменами.

Программы производственной практики, хотя ими часто пренебрегают, представляют собой как хорошую управленческую практику, так и здравый смысл; они экономически эффективны, но требуют ответственного отношения и сотрудничества со стороны сотрудников и линейных руководителей. Отношение высшего руководства к безопасности и охране здоровья отражается на отношении линейных руководителей. Точно так же, если руководители не обеспечивают соблюдение этих программ, может пострадать отношение сотрудников. Воспитание хорошего отношения к здоровью и безопасности может быть достигнуто посредством:

  • атмосфера сотрудничества, в которой сотрудники участвуют в программах
  • официальное обучение и образовательные программы
  • уделение особого внимания программе безопасности и охраны здоровья растений. Мотивация сотрудников и завоевание их доверия необходимы для того, чтобы иметь эффективную программу.

 

Программы производственной практики нельзя просто «установить». Как и в случае с вентиляционной системой, их необходимо обслуживать и постоянно проверять, чтобы убедиться, что они функционируют должным образом. Эти программы являются обязанностью руководства и сотрудников. Должны быть созданы программы для обучения, поощрения и надзора за «хорошими» (т. е. мало подверженными воздействию) практиками.

Средства индивидуальной защиты

Защитные очки с боковыми щитками, комбинезоны, защитную обувь и рабочие перчатки следует регулярно надевать при выполнении всех работ. Те, кто занимается литьем и плавкой или литьем сплавов, должны носить фартуки и средства защиты рук из кожи или других подходящих материалов для защиты от брызг расплавленного металла.

В тех случаях, когда технические меры не позволяют контролировать выбросы пыли или дыма, следует использовать соответствующие средства защиты органов дыхания. Если уровни шума чрезмерны и не могут быть устранены или источники шума не могут быть изолированы, следует надевать средства защиты органов слуха. Также должна быть программа сохранения слуха, включая аудиометрическое тестирование и обучение.

Процессы

алюминий

Вторичная алюминиевая промышленность использует алюминийсодержащий лом для производства металлического алюминия и алюминиевых сплавов. Процессы, используемые в этой отрасли, включают предварительную обработку лома, переплавку, легирование и литье. Сырье, используемое вторичной алюминиевой промышленностью, включает новый и старый лом, паровой чушка и некоторое количество первичного алюминия. Новый лом состоит из обрезков, поковок и других твердых материалов, приобретенных у авиационной промышленности, производителей и других производственных предприятий. Сверление и токарная обработка являются побочным продуктом обработки отливок, стержней и поковок в авиационной и автомобильной промышленности. Окалина, шлаки и шлаки получают на установках первичного восстановления, вторичной плавки и литейных цехах. К старому лому относятся автомобильные детали, предметы домашнего обихода и детали самолетов. Необходимые шаги следующие:

  • Проверка и сортировка. Закупленный алюминиевый лом проходит проверку. Чистый лом, не требующий предварительной обработки, вывозится на склад или загружается непосредственно в плавильную печь. Алюминий, который нуждается в предварительной обработке, сортируется вручную. Свободное железо, нержавеющая сталь, цинк, латунь и негабаритные материалы удаляются.
  • Дробление и просеивание. В этом процессе используется старый лом, особенно отливки и листы, загрязненные железом. Отсортированный лом подается в дробилку или молотковую мельницу, где материал измельчается и дробится, а железо отрывается от алюминия. Измельченный материал проходит через вибрационные грохоты для удаления грязи и мелких частиц.
  • Прессование. Специально разработанное пакетировочное оборудование используется для прессования крупногабаритного алюминиевого лома, такого как листовой лом, отливки и обрезки.
  • Измельчение/классификация. Чистый алюминиевый кабель со стальным армированием или изоляцией режется ножницами типа «крокодил», затем гранулируется или подвергается дальнейшему измельчению в молотковых дробилках для отделения железного сердечника и пластикового покрытия от алюминия.
  • Обжиг/сушка. Сверление и токарная обработка предварительно обрабатываются для удаления смазочно-охлаждающих масел, жиров, влаги и свободного железа. Лом измельчается в молотковой мельнице или кольцевой дробилке, влага и органические вещества улетучиваются во вращающейся сушилке с газовым или масляным обогревом, высушенная стружка просеивается для удаления алюминиевой мелочи, оставшийся материал подвергается магнитной обработке для удаления железа и чистые, высушенные отверстия сортируются в ящиках.
  • Обработка горячего шлака. Алюминий можно удалить из горячего шлака, выходящего из рафинировочной печи, путем периодического флюсования смесью соли и криолита. Этот процесс осуществляется в футерованной огнеупором бочке с механическим вращением. Через отверстие в его основании периодически постукивают по металлу.
  • Сухое фрезерование. В процессе сухого помола холодный шлак, содержащий алюминий, и другие остатки обрабатываются путем измельчения, просеивания и концентрирования для получения продукта с минимальным содержанием алюминия от 60 до 70%. Шаровые мельницы, стержневые мельницы или молотковые мельницы могут использоваться для измельчения оксидов и неметаллов до мелкодисперсных порошков. Отделение грязи и других неизвлекаемых примесей из металла достигается просеиванием, воздушной классификацией и/или магнитной сепарацией.
  • Обжарка. В этом процессе используется алюминиевая фольга, покрытая бумагой, гуттаперчей или изоляцией. В процессе обжига углеродсодержащие материалы, связанные с алюминиевой фольгой, загружаются, а затем отделяются от металлического продукта.
  • Алюминиевый пот. Выпотевание — это пирометаллургический процесс, который используется для извлечения алюминия из металлолома с высоким содержанием железа. В этом процессе используются алюминиевый лом с высоким содержанием железа, отливки и окалина. Обычно применяют открытопламенные отражательные печи с наклонным подом. Разделение происходит по мере того, как алюминий и другие легкоплавкие компоненты плавятся и стекают по поду через решетку в формы с воздушным охлаждением, сборные емкости или выдерживающие колодцы. Продукт получил название «потная свинья». Тугоплавкие материалы, в том числе железо, латунь и продукты окисления, образующиеся в процессе выпотевания, периодически сливаются из печи.
  • Реверберационная (хлорная) плавка-рафинирование. Отражательные печи используются для преобразования чистого отсортированного лома, протонных чушек или, в некоторых случаях, необработанного лома в сплавы по спецификации. Лом загружается в печь механическим способом. Материалы добавляются для обработки партиями или непрерывной подачей. После загрузки лома добавляется флюс для предотвращения контакта и последующего окисления расплава воздухом (покрывающий флюс). Добавляются растворяющие флюсы, которые вступают в реакцию с неметаллическими включениями, такими как остатки сожженных покрытий и грязь, с образованием нерастворимых веществ, всплывающих на поверхность в виде шлака. Затем добавляются легирующие добавки, в зависимости от технических требований. Размагничивание процесс, снижающий содержание магния в расплавленной шихте. При дегазации газообразным хлором хлор впрыскивается через угольные трубки или фурмы и вступает в реакцию с магнием и алюминием, образуя пузырьки. На стадии обезжиривания нечистые полутвердые флюсы снимаются с поверхности расплава.
  • Реверберационная (фтористая) плавка-рафинирование. Этот процесс аналогичен отражательному (хлорному) процессу плавки-рафинирования, за исключением того, что вместо хлора используется фторид алюминия.

 

В таблице 1 перечислены воздействия и меры контроля при операциях по регенерации алюминия.

Таблица 1. Инженерно-административный контроль алюминия по операциям

Оборудование для процесса

Экспозиция

Инженерно-административный контроль

Сортировка

Демонтаж с помощью горелки - пары металлов, такие как свинец и кадмий.

Местная вытяжная вентиляция при распайке; СИЗ — средства защиты органов дыхания при распайке

Дробление/сортировка

Неспецифическая пыль и аэрозоль, масляный туман, металлические частицы и шум

Местная вытяжная вентиляция и вентиляция помещений, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха

Прессование

Нет известного воздействия

Нет контроля

Обжиг/сушка

Неспецифические твердые частицы, которые могут включать металлы, сажу и конденсированные тяжелые органические вещества. Газы и пары, содержащие фториды, двуокись серы, хлориды, окись углерода, углеводороды и альдегиды

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха при тепловом стрессе, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха

Обработка горячего шлака

Некоторые пары

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Сухое измельчение

Пыли

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Запекание

Пыли

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха при тепловом стрессе, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха

потение

Металлические пары и твердые частицы, неспецифические газы и пары, тепло и шум

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха при тепловом стрессе, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Отражательная (хлорная) плавка-рафинирование

Продукты горения, хлор, хлористый водород, хлориды металлов, хлориды алюминия, тепло и шум

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха при тепловом стрессе, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Реверберационная (фтористая) плавка-рафинирование

Продукты сгорания, фтор, фтороводород, фториды металлов, фториды алюминия, тепло и шум

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха при тепловом стрессе, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

 

Рекультивация меди

Вторичная медная промышленность использует медьсодержащий лом для производства металлической меди и сплавов на ее основе. Используемое сырье может быть классифицировано как новый лом, полученный при изготовлении готовых изделий, или старый лом из устаревших, изношенных или утилизированных изделий. К старым источникам металлолома относятся провода, сантехника, электрооборудование, автомобили и бытовая техника. Другие материалы, содержащие медь, включают шлаки, шлаки, литейную золу и отходы плавильных заводов. Предусматриваются следующие шаги:

  • Разборка и сортировка. Лом сортируется по содержанию меди и чистоте. Чистый лом можно отделить вручную для загрузки непосредственно в плавильную и легирующую печь. Компоненты железа могут быть разделены магнитным способом. Зачистка изоляции и свинцовых оболочек кабелей производится вручную или с помощью специально разработанного оборудования.
  • Брикетирование и дробление. Чистая проволока, тонкая пластина, проволочный экран, отверстия, стружка и стружка уплотняются для облегчения обращения. Используемое оборудование включает в себя гидравлические пакетировочные прессы, молотковые и шаровые мельницы.
  • Измельчение. Отделение медного провода от изоляции осуществляется за счет уменьшения размера смеси. Измельченный материал затем сортируется воздушной или гидравлической классификацией с магнитной сепарацией любых черных металлов.
  • Измельчение и гравитационное разделение. Этот процесс выполняет ту же функцию, что и измельчение, но использует водную сепарирующую среду и различные входные материалы, такие как шлаки, окалина, шлаки, литейная зола, стружка и мешочная пыль.
  • Сушка. Сверление, стружка и стружка, содержащие летучие органические примеси, такие как смазочно-охлаждающие жидкости, масла и смазки, удаляются.
  • Горение изоляции. Этот процесс отделяет изоляцию и другие покрытия от медной проволоки путем сжигания этих материалов в печах. Проволочный лом загружается партиями в камеру первичного воспламенения или камеру дожигания. Затем летучие продукты сгорания проходят через камеру вторичного сгорания или рукавный фильтр для сбора. Образуются неспецифические твердые частицы, которые могут включать дым, глину и оксиды металлов. Газы и пары могут содержать оксиды азота, диоксид серы, хлориды, монооксид углерода, углеводороды и альдегиды.
  • Потоотделение. Удаление легкоплавких компонентов из лома осуществляется путем нагревания лома до контролируемой температуры, которая чуть выше точки плавления металлов, подлежащих выпотеванию. Первичный металл, медь, обычно не является расплавленным компонентом.
  • Выщелачивание карбонатом аммония. Медь может быть извлечена из относительно чистого лома путем выщелачивания и растворения в основном растворе карбоната аммония. Ионы двухвалентной меди в растворе аммиака будут реагировать с металлической медью с образованием ионов двухвалентной меди, которые могут быть повторно окислены до состояния двухвалентной меди путем окисления воздухом. После отделения сырого раствора от остатка выщелачивания оксид меди извлекают перегонкой с водяным паром.
  • Паровая перегонка. Кипячение выщелоченного материала в процессе карбонатного выщелачивания приводит к осаждению оксида меди. Затем оксид меди сушат.
  • Гидротермальное восстановление водорода. Раствор карбоната аммония, содержащий ионы меди, нагревают под давлением в водороде, осаждая медь в виде порошка. Медь фильтруют, промывают, сушат и спекают в атмосфере водорода. Порошок измельчают и просеивают.
  • Сернокислотное выщелачивание. Медный лом растворяется в горячей серной кислоте с образованием раствора сульфата меди для подачи в процесс электролиза. После вываривания нерастворившийся остаток отфильтровывают.
  • Конвертерная плавка. Расплавленную черную медь загружают в конвертер, представляющий собой грушевидную или цилиндрическую стальную оболочку, футерованную огнеупорным кирпичом. Воздух вдувается в расплавленные шихты через сопла, называемые сопла. Воздух окисляет сульфид меди и другие металлы. Флюс, содержащий диоксид кремния, добавляется для взаимодействия с оксидами железа с образованием шлака из силиката железа. Этот шлак удаляется из печи, обычно путем опрокидывания печи, а затем происходит вторичная продувка и обезжиривание. Медь, полученная в результате этого процесса, называется черновой медью. Черновая медь обычно подвергается дальнейшему рафинированию в печи огневого рафинирования.
  • Огневое рафинирование. Черновая медь из конвертера подвергается огневому рафинированию в цилиндрической опрокидывающейся печи, сосуде, похожем на отражательную печь. Черновую медь загружают в рафинировочную емкость в окислительной атмосфере. Примеси снимаются с поверхности, а восстановительная атмосфера создается за счет добавления зеленых бревен или природного газа. Полученный расплавленный металл затем отливают. Если медь подлежит электролитическому рафинированию, рафинированная медь будет отлита в качестве анода.
  • Электролитическая очистка. Аноды из процесса огневого рафинирования помещают в бак, содержащий серную кислоту и постоянный ток. Медь с анода ионизируется, и ионы меди осаждаются на стартовом листе из чистой меди. Когда аноды растворяются в электролите, примеси оседают на дно электролизера в виде шлама. Этот шлам может быть дополнительно переработан для извлечения других ценных металлов. Полученную катодную медь плавят и отливают в различные формы.

 

В таблице 2 перечислены воздействия и средства контроля операций по регенерации меди.

Таблица 2. Инженерно-административный контроль меди по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Зачистка и сортировка

Загрязнения воздуха от обработки материалов и распайки или резки металлолома

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Брикетирование и дробление

Неспецифическая пыль и аэрозоль, масляный туман, металлические частицы и шум

Местная вытяжная вентиляция и вентиляция помещений, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Измельчение

Неспецифическая пыль, материал изоляции проводов, металлические частицы и шум

Местная вытяжная вентиляция и вентиляция помещений, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Измельчение и гравитационное разделение

Неспецифическая пыль, металлические частицы от флюсов, шлаков и окалины, шум

Местная вытяжная вентиляция и вентиляция помещений, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Высушивание

Неспецифические твердые частицы, которые могут включать металлы, сажу и конденсированные тяжелые органические вещества.
Газы и пары, содержащие фториды, двуокись серы, хлориды, окись углерода, углеводороды и альдегиды

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Сгорание изоляции

Неспецифические твердые частицы, которые могут включать дым, глину
и оксиды металлов
Газы и пары, содержащие оксиды азота, диоксид серы, хлориды, оксид углерода, углеводороды и альдегиды

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов дыхания

потение

Металлические пары и твердые частицы, неспецифические газы, пары и твердые частицы

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Выщелачивание карбонатом аммония

аммоний

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Паровая дистилляция

аммоний

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — очки с боковыми щитками

Гидротермальное восстановление водорода

аммоний

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Сернокислотное выщелачивание

Серные серные кислоты

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Конвертерная плавка

Летучие металлы, шум

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания и слуха.

Электротигельная плавка

Твердые частицы, оксиды серы и азота, сажа, угарный газ, шум

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов слуха

Огневое рафинирование

Оксиды серы, углеводороды, твердые частицы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов слуха

Электролитическая очистка

Серная кислота и металлы из шлама

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

 

Регенерация свинца

Сырье, приобретаемое предприятиями по выплавке вторичного свинца, может потребовать обработки перед загрузкой в ​​плавильную печь. В этом разделе обсуждается наиболее распространенное сырье, закупаемое предприятиями по выплавке вторичного свинца, а также возможные технические средства контроля и методы работы для ограничения воздействия свинца на сотрудников в ходе операций по переработке сырья. Следует отметить, что свинцовая пыль, как правило, встречается на всех предприятиях по переработке свинца и что воздух в любом транспортном средстве может поднимать свинцовую пыль, которая затем может вдыхаться или прилипать к обуви, одежде, коже и волосам.

Автомобильные аккумуляторы

Наиболее распространенным сырьем на заводе по выплавке вторичного свинца являются автомобильные аккумуляторы. Приблизительно 50% веса автомобильного аккумулятора из бывших в употреблении будет утилизировано в виде металлического свинца в процессе плавки и рафинирования. Приблизительно 90% автомобильных аккумуляторов, производимых сегодня, используют полипропиленовую коробку или корпус. Полипропиленовые гильзы утилизируются почти всеми заводами по выплавке вторичного свинца из-за высокой экономической ценности этого материала. В большинстве этих процессов могут образовываться пары металлов, в частности, свинца и сурьмы.

In поломка автомобильного аккумулятора существует вероятность образования арсина или стибина из-за присутствия мышьяка или сурьмы, используемых в качестве отвердителей в металлической сетке, и возможного присутствия образующегося водорода.

Четыре наиболее распространенных процесса поломки автомобильных аккумуляторов:

  1. высокоскоростная пила
  2. низкоскоростная пила
  3. сдвиг
  4. дробление всей батареи (дробилка Saturn, измельчитель или молотковая мельница).

 

Первые три из этих процессов включают в себя отрезание верхней части батареи, а затем сброс групп или свинцовосодержащего материала. Четвертый процесс включает дробление всей батареи в молотковой дробилке и разделение компонентов гравитационным разделением.

Разделение автомобильных аккумуляторов происходит после поломки автомобильных аккумуляторов, чтобы можно было отделить свинецсодержащий материал от материала корпуса. При снятии корпуса может образовываться кислотный туман. Наиболее широко используемые методы для выполнения этой задачи:

  • Ассоциация руководство техника. Этот метод используется на подавляющем большинстве заводов по выплавке вторичного свинца и остается наиболее широко используемым методом на малых и средних плавильных заводах. После прохождения батареи через пилу или ножницы работник вручную сбрасывает группы или свинецсодержащий материал в кучу, а корпус и верхнюю часть батареи помещает в другую кучу или систему транспортировки.
  • A тумблер устройство. Батареи помещаются в барабанное устройство после того, как верхние части были отпилены/срезаны, чтобы отделить группы от корпусов. Ребра внутри тумблера сбрасывают группы, когда он медленно вращается. Группы падают через прорези в тумблере, в то время как ящики транспортируются к дальнему концу и собираются при выходе. Пластиковые и резиновые корпуса и крышки аккумуляторов подвергаются дальнейшей обработке после отделения от свинцового материала.
  • A процесс погружения/плавания. Процесс погружения/плавания обычно сочетается с молотковой дробилкой или процессом дробления для разрушения аккумуляторов. Детали батареи, как свинцовые подшипники, так и корпуса, помещаются в ряд резервуаров, наполненных водой. Свинцовосодержащий материал опускается на дно резервуаров и удаляется винтовым конвейером или буксируемой цепью, в то время как материал корпуса всплывает и снимается с поверхности резервуара.

 

Промышленные батареи, которые использовались для питания мобильного электрооборудования или для других промышленных целей, периодически закупаются в качестве сырья большинством вторичных плавильных заводов. Многие из этих батарей имеют стальной корпус, который необходимо снять, разрезав корпус газовым резаком или ручной бензопилой.

Прочий покупной свинецсодержащий лом

Плавильные заводы по производству вторичного свинца покупают множество других ломов в качестве сырья для процесса плавки. Эти материалы включают лом заводов по производству аккумуляторов, шлаки от рафинирования свинца, лом металлического свинца, такой как линотип и покрытия кабелей, а также остатки тетраэтилсвинца. Эти типы материалов могут загружаться непосредственно в плавильные печи или смешиваться с другими шихтовыми материалами.

Обработка и транспортировка сырья

Неотъемлемой частью процесса плавки вторичного свинца является обработка, транспортировка и хранение сырья. Материалы транспортируются вилочными погрузчиками, фронтальными погрузчиками или механическими конвейерами (винтовыми, ковшовыми или ленточными). Основным методом транспортировки материалов в производстве вторичного свинца является мобильное оборудование.

Некоторые распространенные механические методы транспортировки, которые используются на заводах по выплавке вторичного свинца, включают: системы ленточных конвейеров, которые можно использовать для транспортировки шихтового материала из зон хранения в зону обугливания печи; шнековые конвейеры для транспортировки колошниковой пыли из рукавного фильтра в агломерационную печь или в зону хранения или ковшовые элеваторы и скребковые цепи/линии.

выплавка

Операция плавки на заводе по выплавке вторичного свинца включает восстановление свинецсодержащего лома до металлического свинца в доменной печи или отражательной печи.

Доменные печи загружаются свинецсодержащим материалом, коксом (топливо), известняком и железом (флюс). Эти материалы подаются в печь в верхней части шахты печи или через загрузочную дверцу сбоку шахты в верхней части печи. Некоторыми экологическими опасностями, связанными с работой доменных печей, являются металлические пары и твердые частицы (особенно свинец и сурьма), тепло, шум и угарный газ. В промышленности вторичного свинца используются различные механизмы транспортировки шихтового материала. Скиповый подъемник, пожалуй, самый распространенный. Другие используемые устройства включают вибрационные бункеры, ленточные конвейеры и ковшовые элеваторы.

Операции по выпуску доменной печи включают удаление расплавленного свинца и шлака из печи в формы или ковши. Некоторые плавильные заводы выпускают металл непосредственно в резервуар для выдержки, в котором металл хранится в расплавленном состоянии для рафинирования. Остальные плавильни разливают печной металл в блоки и позволяют блокам затвердевать.

Дутьевой воздух для процесса горения поступает в доменную печь через фурмы, которые иногда начинают заполняться наростами и должны быть физически пробиты, обычно стальным стержнем, чтобы предотвратить их засорение. Обычный метод выполнения этой задачи состоит в том, чтобы снять крышку фурмы и вставить стальной стержень. После того, как наросты были пробиты, крышка заменяется.

Отражательные печи загружаются свинецсодержащим сырьем с помощью печного загрузочного механизма. Отражательные печи в производстве вторичного свинца обычно имеют пружинный свод или подвесной свод, построенный из огнеупорного кирпича. Многие загрязняющие вещества и физические опасности, связанные с отражательными печами, аналогичны тем, которые возникают в доменных печах. Такими механизмами могут быть гидроцилиндр, винтовой конвейер или другие устройства, аналогичные описанным для доменных печей.

Операции по выпуску отражательной печи очень похожи на операции по выпуску в доменной печи.

рафинирование

Очищение свинца на вторичных свинцовых плавильных заводах проводится в котлах или котлах с непрямым нагревом. Металл из плавильных печей обычно плавится в котле, затем содержание микроэлементов регулируется для получения желаемого сплава. Обычными продуктами являются мягкий (чистый) свинец и различные сплавы твердого (сурьмяного) свинца.

Практически во всех операциях по рафинированию вторичного свинца используются ручные методы добавления легирующих материалов в котлы и методы ручного образования окалины. Окалина подметается к краю котла и удаляется лопатой или большой ложкой в ​​контейнер.

В Таблице 3 перечислены воздействия и средства контроля операций по регенерации свинца.

Таблица 3. Инженерно-административный контроль свинца по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Транспорт

Свинцовая пыль с дорог и брызги воды, содержащей свинец

Промывка водой и увлажнение участков. Обучение операторов, предусмотрительные методы работы и надлежащее ведение хозяйства являются ключевыми элементами минимизации выбросов свинца при эксплуатации мобильного оборудования. Оградите оборудование и обеспечьте систему фильтрованного воздуха с положительным давлением.

Конвейеры

Свинцовая пыль

Также предпочтительно оборудовать системы ленточных конвейеров самоочищающимися хвостовыми шкивами или ленточными очистителями, если они используются для транспортировки сырья для печи или колошниковой пыли.

Разрушение батареи

Свинцовая пыль, кислотные туманы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Подготовка заряда

Свинцовая пыль

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Доменная печь

Металлические пары и твердые частицы (свинец, сурьма), тепло и шум, окись углерода

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов дыхания и слуха.

Отражательная печь

Металлические пары и твердые частицы (свинец, сурьма), тепло и шум

Местная вытяжная вентиляция, общая вентиляция помещений, режим труда и отдыха, жидкости, изоляция источника шума; СИЗ — средства защиты органов дыхания и слуха.

рафинирование

Частицы свинца и, возможно, легирующие металлы и флюсы, шум

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов слуха

Кастинг

Частицы свинца и, возможно, легирующие металлы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

 

Рекультивация цинка

В производстве вторичного цинка в качестве источников цинка используются новые обрезки, шлаки и зола, литые шлаки, окалина гальванических заводов, колошниковая пыль и химические остатки. Большая часть нового перерабатываемого лома представляет собой сплавы на основе цинка и меди из ванн для цинкования и литья под давлением. В категорию старого лома входят старые пластины для гравировки цинка, отливки под давлением, стержневой и штамповый лом. Процессы следующие:

  • Реверберационное потоотделение. Паровые печи используются для отделения цинка от других металлов путем регулирования температуры печи. Исходными материалами для процесса являются отходы литых под давлением изделий, такие как автомобильные решетки и рамки номерных знаков, а также цинковая пленка или остатки. Лом загружают в печь, добавляют флюс и расплавляют содержимое. Тугоплавкий остаток удаляется, а расплавленный цинк поступает из печи непосредственно на последующие процессы, такие как плавка, рафинирование или легирование, или в сборные емкости. Металлические загрязнители включают цинк, алюминий, медь, железо, свинец, кадмий, марганец и хром. Другими загрязнителями являются флюсы, оксиды серы, хлориды и фториды.
  • Роторное потоотделение. В этом процессе цинковый лом, изделия, полученные литьем под давлением, остатки и шлам загружаются в печь с прямым нагревом и расплавляются. Расплав снимают, а металлический цинк собирают в котлах, расположенных вне печи. Неплавкий материал, шлак, затем удаляют перед повторной загрузкой. Металл, полученный в результате этого процесса, направляется на перегонку или легирование. Загрязнения аналогичны реверберационному потоотделению.
  • Приглушить потливость и потливость чайника (горшка). В этих процессах цинковый лом, продукты литья под давлением, остатки и шлам загружают в муфельную печь, выпотевший материал и выпотевший цинк направляют на процессы рафинирования или легирования. Остаток удаляется с помощью вибросита, который отделяет окалина от шлака. Загрязнения аналогичны реверберационному потоотделению.
  • Дробление/просеивание. Остатки цинка измельчают или измельчают, чтобы разрушить физические связи между металлическим цинком и загрязняющими флюсами. Затем восстановленный материал отделяют на этапе просеивания или пневматической классификации. При дроблении может образовываться оксид цинка и небольшое количество тяжелых металлов и хлоридов.
  • Выщелачивание карбонатом натрия. Остатки химически обрабатываются для выщелачивания и преобразования цинка в оксид цинка. Лом сначала измельчают и промывают. На этом этапе цинк вымывается из материала. Водную часть обрабатывают карбонатом натрия, вызывая осаждение цинка. Осадок сушат и прокаливают, получая сырой оксид цинка. Затем оксид цинка восстанавливают до металлического цинка. Могут образовываться различные загрязнения солями цинка.
  • Котел (кастрюля), тигель, отражательная, электроиндукционная плавка. Лом загружают в печь и добавляют флюсы. Ванна взбалтывается, образуя осадок, который можно снять с поверхности. После обезжиривания печи металлический цинк разливают в ковши или изложницы. Могут образовываться пары оксида цинка, аммиак и хлорид аммония, хлористый водород и хлорид цинка.
  • Легирование. Функция этого процесса заключается в получении цинковых сплавов из предварительно обработанного металлического цинкового лома путем добавления к нему в рафинировочном котле флюсов и легирующих добавок либо в затвердевшей, либо в расплавленной форме. Затем содержимое перемешивают, окалина снимается, а металл отливается в различные формы. Твердые частицы, содержащие цинк, легирующие металлы, хлориды, неспецифические газы и пары, а также тепло, являются потенциальными факторами воздействия.
  • Муфельная дистилляция. Процесс муфельной дистилляции используется для восстановления цинка из сплавов и производства слитков чистого цинка. Этот процесс является полунепрерывным и включает загрузку расплавленного цинка из плавильного котла или парильной печи в муфельную секцию, выпаривание цинка и конденсацию испарившегося цинка, а также слив из конденсатора в формы. Остаток периодически удаляют из муфеля.
  • Ретортная перегонка/окисление и муфельная перегонка/окисление. Продуктом процессов ретортной перегонки/окисления и муфельной перегонки/окисления является оксид цинка. Процесс аналогичен ретортной дистилляции через стадию испарения, но в этом процессе конденсатор обходится и добавляется воздух для горения. Пар выбрасывается через отверстие в воздушный поток. Самовозгорание происходит внутри огнеупорной камеры с паровой футеровкой. Продукт переносится дымовыми газами и избыточным воздухом в рукавный фильтр, где продукт собирается. Присутствует избыточный воздух для обеспечения полного окисления и охлаждения продукта. Каждый из этих процессов дистилляции может привести к воздействию паров оксида цинка, а также других металлических частиц и оксидов серы.

 

В таблице 4 перечислены воздействия и средства контроля для операций по регенерации цинка.

Таблица 4. Инженерно-административный контроль цинка по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Реверберационное потоотделение

Твердые частицы, содержащие цинк, алюминий, медь, железо, свинец, кадмий, марганец и хром, загрязнения от флюсов, оксиды серы, хлориды и фториды

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим работы и отдыха при тепловом напряжении, жидкости

Вращательное потоотделение

Твердые частицы, содержащие цинк, алюминий, медь, железо, свинец, кадмий, марганец и хром, загрязнения от флюсов, оксиды серы, хлориды и фториды

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

Потливость муфеля и потливость чайника (горшка)

Твердые частицы, содержащие цинк, алюминий, медь, железо, свинец, кадмий, марганец и хром, загрязнения от флюсов, оксиды серы, хлориды и фториды

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

Дробление/сортировка

Оксид цинка, незначительное количество тяжелых металлов, хлориды

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Выщелачивание карбонатом натрия

Оксид цинка, карбонат натрия, карбонат цинка, гидроксид цинка, хлористый водород, хлорид цинка

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Котловой плавильный тигель, ревербератор, электроиндукционная плавка

Пары оксида цинка, аммиак, хлорид аммиака, хлористый водород, хлорид цинка

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

Легирование

Твердые частицы, содержащие цинк, легирующие металлы, хлориды; неспецифические газы и пары; нагревать

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

Ретортная перегонка, ретортная перегонка/окисление и муфельная перегонка

Пары оксида цинка, другие металлические частицы, оксиды серы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

Перегонка резистора графитового стержня

Пары оксида цинка, другие металлические частицы, оксиды серы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

 

Рекультивация магния

Старый лом получают из таких источников, как лом автомобильных и авиационных деталей, старые и устаревшие литографские пластины, а также некоторые шламы заводов по выплавке первичного магния. Новый лом состоит из обрезков, стружки, стружки, шлаков, шлаков, окалины и бракованных изделий с листопрокатных заводов и заводов-изготовителей. Наибольшую опасность при обращении с магнием представляет опасность возгорания. Небольшие фрагменты металла могут легко воспламениться от искры или пламени.

  • Ручная сортировка. Этот процесс используется для отделения фракций магния и магниевых сплавов от других металлов, присутствующих в ломе. Лом раскладывается вручную, сортируется по весу.
  • Плавление в открытом котле. Этот процесс используется для отделения магния от примесей в отсортированном ломе. Лом помещают в тигель, нагревают и добавляют флюс, состоящий из смеси хлоридов кальция, натрия и калия. Затем расплавленный магний отливают в слитки.

 

В Таблице 5 перечислены воздействия и средства контроля операций по регенерации магния.

Таблица 5. Инженерно-административный контроль магния по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административное
контрольная

Сортировка лома

Пыли

Промывка водой

Плавление в открытом котле

Дым и пыль, высокая вероятность возгорания

Местная вытяжная вентиляция и общая вентиляция помещений и методы работы

Кастинг

Пыль и пары, тепло и высокая вероятность возгорания

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

 

Утилизация ртути

Основными источниками ртути являются стоматологические амальгамы, лом ртутных батарей, шламы электролитических процессов, в которых ртуть используется в качестве катализатора, ртуть из демонтированных хлорщелочных заводов и ртутьсодержащие инструменты. Пары ртути могут загрязнять каждый из этих процессов.

  • Дробление. Процесс дробления используется для удаления остаточной ртути из металлических, пластиковых и стеклянных контейнеров. После дробления контейнеров загрязненная жидкая ртуть направляется на фильтрацию.
  • Фильтрация. Нерастворимые примеси, такие как грязь, удаляются путем пропускания металлолома, содержащего пары ртути, через фильтрующий материал. Отфильтрованная ртуть направляется на процесс оксигенации, а твердые частицы, не прошедшие через фильтры, направляются на ретортную перегонку.
  • Вакуумная перегонка. Вакуумная перегонка используется для очистки загрязненной ртути, когда давление паров примесей значительно ниже, чем у ртути. Заряд ртути испаряется в нагревательном котле, а пары конденсируются в конденсаторе с водяным охлаждением. Очищенная ртуть собирается и отправляется на розлив. Остаток, остающийся в нагревательном котле, направляется в процесс ретортации для извлечения следовых количеств ртути, которые не были извлечены в процессе вакуумной дистилляции.
  • Очистка раствора. Этот процесс удаляет металлические и органические загрязнители путем промывки сырой жидкой ртути разбавленной кислотой. Этапы включают: выщелачивание сырой жидкой ртути разбавленной азотной кислотой для отделения металлических примесей; перемешивание кислоты-ртути сжатым воздухом для обеспечения хорошего перемешивания; декантирование для отделения ртути от кислоты; промывка водой для удаления остатков кислоты; и фильтрование ртути в такой среде, как активированный уголь или силикагель, для удаления последних следов влаги. Помимо паров ртути возможно воздействие растворителей, органических химикатов и кислотных туманов.
  • Оксигенация. Этот процесс очищает отфильтрованную ртуть путем удаления металлических примесей путем окисления барботированием воздуха. Процесс окисления включает две стадии: барботирование и фильтрацию. На этапе барботирования загрязненная ртуть перемешивается с воздухом в закрытом сосуде для окисления металлических загрязнителей. После барботирования ртуть фильтруется в слое древесного угля для удаления твердых оксидов металлов.
  • Реторта. Процесс реторты используется для получения чистой ртути путем улетучивания ртути, содержащейся в твердом ртутьсодержащем ломе. Этапы автоклавирования включают: нагревание скрапа внешним источником тепла в закрытом перегонном кубе или стопке лотков для испарения ртути; конденсация паров ртути в водоохлаждаемых конденсаторах; сбор конденсированной ртути в сборный сосуд.

 

В Таблице 6 перечислены воздействия и средства контроля для операций по регенерации ртути.

Таблица 6. Технические/административные средства контроля ртути в разбивке по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Дробление

Летучая ртуть

местная вытяжка; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Фильтрация

Летучая ртуть

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Вакуумная дистилляция

Летучая ртуть

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Очистка раствора

Летучая ртуть, растворители, органические вещества и кислотные туманы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Окисление

Летучая ртуть

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Реторта

Летучая ртуть

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

 

Рекультивация никеля

Основным сырьем для регенерации никеля являются сплавы на основе паров никеля, меди и алюминия, которые можно найти в виде старого или нового лома. К старому лому относятся сплавы, извлеченные из деталей машин и самолетов, а к новому лому относятся листовой лом, стружка и твердые частицы, которые являются побочными продуктами производства изделий из сплавов. Регенерация никеля включает следующие этапы:

  • Сортировка. Лом проверяется и вручную отделяется от неметаллических и неникелевых материалов. Сортировка приводит к воздействию пыли.
  • обезжиривание. Никелевый лом обезжиривают трихлорэтиленом. Смесь фильтруют или центрифугируют для отделения лома никеля. Отработанный раствор трихлорэтилена и жира проходит через систему регенерации растворителя. Во время обезжиривания возможно воздействие растворителя.
  • Плавильная (электродуговая или вращающаяся отражательная) печь. Лом загружают в электродуговую печь и добавляют восстановитель, обычно известь. Шихту расплавляют и либо разливают в слитки, либо сразу направляют в реактор на доочистку. Возможно воздействие дыма, пыли, шума и тепла.
  • Реакторная очистка. Расплавленный металл вводят в реактор, куда добавляют холодный скрап и никель в чушках, а затем известь и кремнезем. Затем добавляют легирующие материалы, такие как марганец, ниобий или титан, для получения желаемого состава сплава. Возможно воздействие дыма, пыли, шума и тепла.
  • Литье слитков. Этот процесс включает отливку расплавленного металла из плавильной печи или реактора рафинирования в слитки. Металл заливают в формы и дают остыть. Слитки извлекаются из форм. Возможно воздействие тепла и паров металлов.

 

Воздействие и меры контроля при операциях по регенерации никеля перечислены в таблице 7.

Таблица 7. Инженерно-административный контроль никеля по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Сортировка

Пыли

Местный выхлоп и замена растворителя

обезжиривание

растворитель

Местная вытяжная вентиляция и замена и/или рекуперация растворителей, общая вентиляция помещений

выплавка

Дым, пыль, шум, жара

Местная вытяжная вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости; СИЗ — средства защиты органов дыхания и слуха.

рафинирование

Дым, пыль, тепло, шум

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости; СИЗ — средства защиты органов дыхания и слуха.

Кастинг

Тепло, пары металла

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

 

Регенерация драгоценных металлов

Сырье для производства драгоценных металлов состоит как из старого, так и из нового лома. К старому лому относятся электронные компоненты устаревшей военной и гражданской техники, а также лом стоматологической промышленности. Новый лом образуется при изготовлении и изготовлении изделий из драгоценных металлов. Продукция представляет собой элементарные металлы, такие как золото, серебро, платина и палладий. Обработка драгоценных металлов включает следующие этапы:

  • Ручная сортировка и измельчение. Лом, содержащий драгоценные металлы, сортируется вручную, измельчается и измельчается в молотковой дробилке. Молотковые мельницы шумные.
  • Процесс сжигания. Отсортированный лом сжигается для удаления бумаги, пластика и органических жидких загрязнителей. Возможно воздействие органических химикатов, дымовых газов и пыли.
  • Доменная плавка. Обработанный лом загружают в доменную печь вместе с коксом, флюсом и переработанным шлаком с оксидами металлов. Шихту расплавляют и шлакуют, получая черную медь, содержащую драгоценные металлы. Образующийся твердый шлак содержит большую часть шлаковых примесей. Возможно присутствие пыли и шума.
  • Конвертерная плавка. Этот процесс предназначен для дополнительной очистки черной меди путем продувки расплава воздухом в конвертере. Шлакосодержащие металлические примеси удаляются и возвращаются в доменную печь. Медный слиток, содержащий драгоценные металлы, отливается в формы.
  • Электролитическая очистка. Медный слиток служит анодом электролизера. Таким образом, чистая медь выходит на катод, а драгоценные металлы падают на дно электролизера и собираются в виде шлама. В качестве электролита используется медный купорос. Возможно воздействие кислотного тумана.
  • Химическая очистка. Шлам драгоценных металлов, образующийся в процессе электролитического рафинирования, подвергается химической обработке для извлечения отдельных металлов. Процессы на основе цианидов используются для извлечения золота и серебра, которые также могут быть извлечены путем их растворения в царская водка раствором и/или азотной кислотой с последующим осаждением сульфатом железа или хлоридом натрия для извлечения золота и серебра соответственно. Металлы платиновой группы можно восстановить, растворив их в расплавленном свинце, который затем обрабатывают азотной кислотой и оставляют остаток, из которого можно селективно осадить металлы платиновой группы. Затем осадки драгоценных металлов либо расплавляют, либо поджигают, чтобы собрать золото и серебро в виде зерен и платиновые металлы в виде губки. Возможны кислотные воздействия.

 

Воздействия и меры контроля перечислены по операциям в таблице 8 (см. также «Плавка и аффинаж золота»).

Таблица 8. Инженерно-административный контроль драгоценных металлов по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Сортировка и измельчение

Молотковая мельница представляет собой потенциальную шумовую опасность

шумопоглощающий материал; СИЗ — средства защиты органов слуха

сжигание

Органические вещества, дымовые газы и пыль

Местная вытяжная вентиляция и общедомовая вентиляция

Доменная плавка

Пыль, шум

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — средства защиты органов слуха и дыхания

Электролитическая очистка

Кислотные туманы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Химическая очистка

Кислота

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — кислотостойкая одежда, химические очки и лицевой щиток.

 

Рекультивация кадмия

К старому кадмийсодержащему лому относятся покрытые кадмием детали списанных автомобилей и лодок, бытовая техника, скобяные изделия и крепежные изделия, кадмиевые аккумуляторы, кадмиевые контакты переключателей и реле и другие бывшие в употреблении кадмиевые сплавы. Новый лом, как правило, представляет собой отходы, содержащие пары кадмия, и загрязненные побочные продукты производств, обрабатывающих металлы. Процессы рекультивации следующие:

  • Предварительная обработка. Этап предварительной обработки лома включает обезжиривание паром сплавного лома. Пары растворителя, образующиеся при нагревании переработанных растворителей, циркулируют через емкость, содержащую лом сплавов. Затем растворитель и удаленная смазка конденсируются и разделяются, при этом растворитель рециркулируется. Возможен контакт с кадмиевой пылью и растворителями.
  • Плавка/рафинирование. В операции плавки/рафинирования предварительно обработанный лом сплава или лом элементарного кадмия перерабатывается для удаления любых примесей и получения сплава кадмия или элементарного кадмия. Могут присутствовать продукты воздействия продуктов горения нефти и газа, цинковая и кадмиевая пыль.
  • Ретортная перегонка. Обезжиренный лом сплава загружается в реторту и нагревается для получения паров кадмия, которые затем собираются в конденсаторе. После этого расплавленный металл готов к отливке. Возможно воздействие пыли кадмия.
  • Плавление/удаление цинка. Металлический кадмий загружают в плавильный котел и нагревают до расплавленного состояния. Если в металле присутствует цинк, для удаления цинка добавляют флюсы и хлорирующие агенты. К потенциальным воздействиям относятся пары и пыль кадмия, пары и пыль цинка, хлорид цинка, хлор, хлористый водород и тепло.
  • Кастинг. Операция литья формирует желаемую линейку продуктов из очищенного сплава кадмия или металлического кадмия, полученного на предыдущем этапе. Литье может производить кадмиевую пыль, пары и тепло.

 

Воздействие в процессах регенерации кадмия и необходимые средства контроля приведены в таблице 9.

Таблица 9. Инженерно-административный контроль кадмия по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Обезжиривание лома

Растворители и кадмиевая пыль

Местный выхлоп и замена растворителя

Плавка/рафинирование сплава

Продукты сгорания нефти и газа, цинковые пары, кадмиевая пыль и пары

Местная вытяжная вентиляция и общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Ретортная перегонка

Кадмий пары

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Плавление/удаление цинка

Пары и пыль кадмия, пары и пыль цинка, хлорид цинка, хлор, хлористый водород, тепловой удар

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Кастинг

Кадмиевая пыль и пары, тепло

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости; СИЗ — средства защиты органов дыхания

 

Рекультивация селена

Сырьем для этого сегмента служат цилиндры ксерографического копирования и лом, образующийся при производстве селеновых выпрямителей. Повсюду может присутствовать селеновая пыль. При дистилляции и ретортной плавке могут образовываться дымовые газы и пыль. Ретортная плавка шумная. При рафинировании присутствуют туман двуокиси серы и кислотный туман. Металлическая пыль может образовываться в результате операций литья (см. таблицу 10).

Таблица 10. Инженерно-административный контроль селена по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Предварительная обработка лома

Пыли

Местный выхлоп

Ретортная плавка

Дымовые газы и пыль, шум

Местная вытяжная вентиляция и общедомовая вентиляция; СИЗ – средства защиты органов слуха; контроль шума горелки

рафинирование

SO2, кислотный туман

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — химические очки

Перегонка

Пыль и продукты горения

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

гашение

Металлическая пыль

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Кастинг

Селеновые пары

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

 

Процессы рекультивации следующие:

  • Предварительная обработка лома. Этот процесс отделяет селен с помощью механических процессов, таких как молотковая мельница или дробеструйная обработка.
  • Ретортная плавка. Этот процесс очищает и концентрирует предварительно обработанный лом в процессе ретортной дистилляции путем плавления лома и отделения селена от примесей путем дистилляции.
  • рафинирование. Этот процесс обеспечивает очистку лома селена путем выщелачивания подходящим растворителем, таким как водный раствор сульфита натрия. Нерастворимые примеси удаляют фильтрованием и фильтрат обрабатывают для осаждения селена.
  • Дистилляция. Этот процесс производит селен высокой чистоты паров. Селен расплавляют, перегоняют, пары селена конденсируют и передают в виде расплавленного селена на операцию образования продукта.
  • Закалка. Этот процесс используется для производства очищенной селеновой дроби и порошка. Расплав селена используется для производства дроби. Затем дробь сушат. Этапы, необходимые для производства порошка, такие же, за исключением того, что в качестве материала, который подвергается закалке, используются пары селена, а не расплавленный селен.
  • Кастинг. Этот процесс используется для производства слитков селена или других форм из расплавленного селена. Эти формы производятся путем заливки расплавленного селена в формы соответствующего размера и формы, охлаждения и затвердевания расплава.

 

Рекультивация кобальта

Источниками кобальтового лома являются шлифовка и точение жаропрочных сплавов, а также устаревшие или изношенные детали двигателей и лопатки турбин. Процессы рекультивации следующие:

  • Ручная сортировка. Необработанный лом сортируется вручную для идентификации и разделения компонентов на основе кобальта, никеля и неперерабатываемых компонентов. Это пыльная операция.
  • Обезжиривание. Отсортированный грязный лом загружается в установку обезжиривания, где циркулируют пары перхлорэтилена. Этот растворитель удаляет жир и масло на ломе. Затем смесь паров растворителя, масла и смазки конденсируют, и растворитель извлекают. Возможно воздействие растворителей.
  • Взрывной. Обезжиренный лом подвергается пескоструйной очистке для удаления грязи, окислов и ржавчины. В зависимости от используемого зерна может присутствовать пыль.
  • Процесс травления и химической обработки. Отходы от пескоструйной обработки обрабатывают кислотами для удаления остаточной ржавчины и оксидных загрязнений. Кислотные туманы являются возможным воздействием.
  • Вакуумная плавка. Очищенный лом загружают в вакуумную печь и плавят в электродуговой или индукционной печи. Возможен контакт с тяжелыми металлами.
  • литье. Расплавленный сплав отливается в слитки. Возможен тепловой стресс.

 

См. в таблице 11 краткую информацию о воздействии и средствах контроля за утилизацией кобальта.

Таблица 11. Инженерно-административный контроль за кобальтом по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Ручная сортировка

Пыли

Промывка водой

обезжиривание

Растворители

Рекуперация растворителя, местная вытяжка и замена растворителя

взрывные работы

Пыль — токсичность зависит от используемого песка.

местная вытяжная вентиляция; СИЗ для защиты от физической опасности и защиты органов дыхания в зависимости от используемого песка

Процесс травления и химической обработки

Кислотные туманы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция; СИЗ — средства защиты органов дыхания

Вакуумная плавка

Тяжелые металлы

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Кастинг

зной

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

 

Мелиорация олова

Основными источниками сырья являются обрезки луженой стали, отходы предприятий по производству консервных банок, бракованные рулоны гальванопокрытий в сталелитейной промышленности, оловянные окалины и шламы, окалины и шламы припоя, использованная бронза и отходы бронзы, а также металлолом. Оловянная пыль и кислотные туманы присутствуют во многих технологических процессах.

  • Деалюминирование. В этом процессе горячий гидроксид натрия используется для выщелачивания алюминия из консервного лома путем контакта лома с горячим гидроксидом натрия, отделения раствора алюмината натрия от остатка лома, подачи алюмината натрия на операцию рафинирования для извлечения растворимого олова и извлечения деалюминированный оловянный лом на корм.
  • Пакетное смешивание. Этот процесс представляет собой механическую операцию, при которой подготавливается сырье, пригодное для загрузки в плавильную печь, путем смешивания окалины и шлама со значительным содержанием олова.
  • Химическое олово. Этот процесс извлекает олово в лом. Горячий раствор гидроксида натрия и нитрита или нитрата натрия добавляют к деалюминированному или необработанному лому. Слив и перекачка раствора в процесс рафинирования/отливки осуществляются после завершения реакции удаления олова. Оловянный лом затем промывают.
  • Шлаковая плавка. Этот процесс используется для частичной очистки окалины и получения сырого печного металла путем плавления шихты, выпуска сырого печного металла и выпуска штейна и шлака.
  • Пылеудаление и фильтрация. Этот процесс удаляет цинк и хлор из колошниковой пыли путем выщелачивания серной кислотой для удаления цинка и хлора, фильтрации полученной смеси для отделения кислоты и растворенного цинка и хлора от выщелоченной пыли, сушки выщелоченной пыли в сушилке и транспортировки пыль, богатая оловом и свинцом, возвращается в процесс периодического смешивания.
  • Отстой и листовая фильтрация. Этот процесс очищает раствор станната натрия, полученный в процессе химического удаления олова. Такие примеси, как серебро, ртуть, медь, кадмий, некоторое количество железа, кобальта и никеля, осаждаются в виде сульфидов.
  • Эвапоцентрифугирование. Станнат натрия концентрируют из очищенного раствора выпариванием, кристаллизацию станната натрия и выделение станната натрия осуществляют центрифугированием.
  • Электролитическая очистка. Этот процесс позволяет получить катодно-чистое олово из очищенного раствора станната натрия путем пропускания раствора станната натрия через электролитические ячейки, удаления катодов после осаждения олова и удаления олова с катодов.
  • Подкисление и фильтрация. Этот процесс дает гидратированный оксид олова из очищенного раствора станната натрия. Этот гидратированный оксид можно либо переработать для получения безводного оксида, либо расплавить для получения элементарного олова. Гидратированный оксид нейтрализуют серной кислотой с образованием гидратированного оксида олова и фильтруют для отделения гидрата в виде осадка на фильтре.
  • Огневое рафинирование. Этот процесс производит очищенное олово из катодного олова путем плавления шихты, удаления примесей в виде шлака и окалины, заливки расплавленного металла и отливки металлического олова.
  • Плавка. Этот процесс используется для производства олова, когда электролитическое рафинирование невозможно. Это достигается восстановлением гидратированного оксида олова восстановителем, плавлением образовавшегося металлического олова, снятием шлака, заливкой расплавленного олова и отливкой расплавленного олова.
  • Кальцинирование. Этот процесс превращает гидратированные оксиды олова в безводный оксид олова путем прокаливания гидрата и удаления и упаковки оксидов олова.
  • Чайник рафинирования. Этот процесс используется для очистки сырого печного металла путем загрузки им предварительно нагретого котла, сушки окалины для удаления примесей в виде шлака и штейна, флюсования серой для удаления меди в виде штейна, флюсования алюминием для удаления сурьмы и отливки расплавленного металла в желаемое состояние. формы.

 

См. в таблице 12 краткую информацию о воздействии и средствах контроля за утилизацией олова.

Таблица 12. Инженерно-административный контроль олова по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Деалюминирование

Едкий натр

местная вытяжка; СИЗ — химические очки и/или лицевой щиток.

Порционное смешивание

Пыли

Местная вытяжная вентиляция и общедомовая вентиляция

Химическое олово

каустика

местная вытяжная вентиляция; СИЗ — химические очки и/или лицевой щиток.

Шлаковая плавка

Пыль и жара

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция, режим труда и отдыха, жидкости

Пылеудаление и фильтрация

Пыли

Местная вытяжная вентиляция, общедомовая вентиляция

Отстой и листовая фильтрация

Не идентифицировано

Не идентифицировано

Эвапоцентрифугирование

Не идентифицировано

Не идентифицировано

Электролитическая очистка

Кислотный туман

Местная вытяжная вентиляция и общедомовая вентиляция; СИЗ — химические очки и/или лицевой щиток.

Подкисление и фильтрация

Кислотные туманы

Местная вытяжная вентиляция и общедомовая вентиляция; СИЗ — химические очки и/или лицевой щиток.

Огневое рафинирование

зной

Режим труда/отдыха, СИЗ

выплавка

Дымовые газы, дым и пыль, тепло

Местная вытяжная вентиляция и вентиляция помещений, режим труда и отдыха, СИЗ

Обжиг

Пыль, дым, жара

Местная вытяжная вентиляция и вентиляция помещений, режим труда и отдыха, СИЗ

Чайник рафинирования

Пыль, дым, жара

Местная вытяжная вентиляция и вентиляция помещений, режим труда и отдыха, СИЗ

 

Регенерация титана

Двумя основными источниками титанового лома являются домашние хозяйства и потребители титана. Домашний лом, образующийся при фрезеровании и производстве изделий из титана, включает в себя отделочные листы, дощатый лист, обрезки, токарную обработку и сверление. Потребительский лом состоит из переработанных титановых изделий. Рекультивационные работы включают в себя:

  • Обезжиривание. В этом процессе отсортированный лом обрабатывается испаряющимся органическим растворителем (например, трихлорэтиленом). Загрязняющая смазка и масло удаляются со скрапа парами растворителя. Растворитель рециркулируется до тех пор, пока он больше не сможет обезжиривать. Затем отработанный растворитель можно регенерировать. Лом также можно обезжирить паром и моющим средством.
  • Маринование. В процессе кислотного травления удаляются оксидные отложения в процессе обезжиривания путем выщелачивания раствором соляной и плавиковой кислот. Скрап кислотной обработки промывают водой и сушат.
  • Электрорафинирование. Электрорафинирование — это процесс предварительной обработки титанового лома, при котором лом подвергается электрорафинированию в расплавленной соли.
  • Плавка. Предварительно обработанный титановый лом и легирующие добавки плавятся в электродуговой вакуумной печи с образованием титанового сплава. Исходные материалы включают предварительно обработанный титановый лом и легирующие материалы, такие как алюминий, ванадий, молибден, олово, цирконий, палладий, ниобий и хром.
  • Кастинг. Расплавленный титан заливают в формы. Титан затвердевает в брусок, называемый слитком.

 

Средства контроля за воздействием в процедурах регенерации титана перечислены в таблице 13.

Таблица 13. Инженерно-административный контроль титана по операциям

Оборудование для процесса

Облучение

Инженерно-административный контроль

Обезжиривание растворителем

растворитель

Локальная регенерация выхлопных газов и растворителей

маринование

Кислоты

Маски для лица, фартуки, длинные рукава, защитные очки или защитные очки

Электролитическое

Никто не известен

Никто не известен

выплавка

Летучие металлы, шум

Местная вытяжная вентиляция и контроль шума от горелок; СИЗ — средства защиты органов слуха

Кастинг

зной

средства индивидуальной защиты

 

Назад

Рисунок 6. Гальваника: схематическое изображение

Металлическая отделка

Поверхностная обработка металлов повышает их долговечность и улучшает внешний вид. Один продукт может подвергаться более чем одной обработке поверхности — например, панель кузова автомобиля может быть фосфатирована, загрунтована и окрашена. В этой статье рассматриваются процессы, используемые для обработки поверхности металлов, и методы, используемые для снижения их воздействия на окружающую среду.

Управление бизнесом по отделке металлов требует сотрудничества между руководством компании, сотрудниками, правительством и обществом, чтобы эффективно свести к минимуму воздействие операций на окружающую среду. Общество обеспокоено количеством и долгосрочными последствиями загрязнения, попадающего в воздушную, водную и наземную среду. Эффективное управление окружающей средой устанавливается благодаря детальным знаниям обо всех элементах, химических веществах, металлах, процессах и продуктах.

Планирование предотвращения загрязнения смещает философию экологического менеджмента с реагирования на проблемы на прогнозирование решений, ориентированных на замену химических веществ, изменение процессов и внутреннюю переработку, используя следующую последовательность планирования:

  1. Инициируйте предотвращение загрязнения во всех аспектах бизнеса.
  2. Определите потоки отходов.
  3. Установите приоритеты для действий.
  4. Установить первопричину отходов.
  5. Определите и внедрите изменения, которые уменьшат или устранят потери.
  6. Измерьте результаты.

 

Непрерывное улучшение достигается путем установления новых приоритетов действий и повторения последовательности действий.

Подробная технологическая документация определит потоки отходов и позволит установить приоритеты для возможностей сокращения отходов. Информированные решения о возможных изменениях будут способствовать:

  • простые и практичные эксплуатационные усовершенствования
  • изменения процесса с участием клиентов и поставщиков
  • переход на менее вредные виды деятельности, где это возможно
  • повторное использование и переработка там, где изменение нецелесообразно
  • использование захоронения опасных отходов только в крайнем случае.

 

Основные процессы и стандартные операционные процессы

Уборка требуется, потому что все процессы отделки металлов требуют, чтобы обрабатываемые детали были свободны от органических и неорганических загрязнений, включая масла, окалину, полировальные и полирующие составы. Используются три основных типа чистящих средств: растворители, паровые обезжириватели и щелочные моющие средства.

Методы очистки растворителями и паровым обезжириванием почти полностью заменены щелочными материалами, где последующие процессы являются влажными. Растворители и паровые обезжириватели все еще используются там, где детали должны быть чистыми и сухими без дальнейшей влажной обработки. Растворители, такие как терпены, в некоторых случаях заменяют летучие растворители. Менее токсичные материалы, такие как 1,1,1-трихлорэтан, были заменены более опасными материалами при обезжиривании паром (хотя этот растворитель постепенно прекращается как озоноразрушающий).

Циклы щелочной очистки обычно включают замачивание в погружении, за которым следует анодная электроочистка, а затем погружение в слабую кислоту. Для очистки алюминия обычно используются нетравящие, несиликатные очистители. Кислоты обычно серная, соляная и азотная.

анодирование, электрохимический процесс для утолщения оксидной пленки на поверхности металла (часто применяемый к алюминию), обрабатывающий детали разбавленными растворами хромовой или серной кислоты.

Конверсионное покрытие используется в качестве основы для последующей окраски или пассивации для защиты от окисления. При хроматировании детали погружают в раствор шестивалентного хрома с активными органическими и неорганическими веществами. Для фосфатирования детали погружают в разбавленную фосфорную кислоту с другими реагентами. Пассивирование проводят погружением в азотную кислоту или азотную кислоту с бихроматом натрия.

Безэлектронное покрытие предполагает осаждение металла без электричества. Химическое осаждение меди или никеля используется при изготовлении печатных плат.

гальванопокрытие заключается в нанесении тонкого слоя металла (цинка, никеля, меди, хрома, кадмия, олова, латуни, бронзы, свинца, оловянно-свинцового сплава, золота, серебра и других металлов, таких как платина) на подложку (черную или цветную). железный). Технологические ванны включают растворы металлов в кислотных, щелочно-нейтральных и щелочно-цианидных составах (см. рис. 1).

Рисунок 1. Входы и выходы для типичной линии гальваники

МЕТ110Ф1

Химическое фрезерование и травление представляют собой управляемые иммерсионные процессы растворения с использованием химических реагентов и травителей. Перед анодированием алюминий обычно протравливают каустиком или химически осветляют в растворе, который может содержать азотную, фосфорную и серную кислоты.

Покрытия методом горячего погружения предусматривают нанесение металла на заготовку погружением в расплавленный металл (цинковое или оловянное цинкование стали).

Надлежащая практика управления

Важные улучшения в области безопасности, охраны здоровья и окружающей среды могут быть достигнуты за счет усовершенствования процессов, таких как:

  • использование противоточной промывки и контроля проводимости
  • увеличение времени дренирования
  • использование большего количества или более качественных смачивающих агентов
  • поддержание температуры процесса как можно выше для снижения вязкости, тем самым увеличивая восстановление после уноса (т. е. восстановление раствора, оставшегося на металле)
  • использование воздушного перемешивания при ополаскивании для повышения эффективности ополаскивания
  • использование пластиковых шариков в резервуарах для покрытия для уменьшения запотевания
  • использование улучшенной фильтрации в резервуарах для покрытия, чтобы уменьшить частоту очистки
  • установка бордюра вокруг всех производственных зон для предотвращения разливов
  • использование отдельных обработок для извлекаемых металлов, таких как никель
  • установка систем восстановления, таких как ионный обмен, атмосферное испарение, вакуумное испарение, электролитическое восстановление, обратный осмос и электродиализ
  • дополняя системы рекуперации при уносе за счет снижения притока загрязняющих веществ и улучшенных систем очистки
  • использование современных средств управления запасами для сокращения отходов и опасностей на рабочем месте
  • применение стандартных процедур (т. е. письменных процедур, регулярных операционных обзоров и надежных операционных журналов), чтобы обеспечить основу для надежной структуры управления окружающей средой.

 

Экологическое планирование для конкретных отходов

Конкретные потоки отходов, обычно отработанные растворы для покрытия, можно уменьшить за счет:

  • Фильтрация. Картриджные или кизельгуровые фильтры можно использовать для удаления скопившихся твердых частиц, снижающих эффективность процесса.
  • Углеродная обработка может использоваться для удаления органических загрязнителей (наиболее часто применяется при никелировании, гальванопокрытии медью, цинковании и кадмировании).
  • Дистиллированная вода. Естественные загрязнения воды для подпитки и промывки (например, кальций, железо, магний, марганец, хлор и карбонаты) можно удалить с помощью деионизации, дистилляции или обратного осмоса. Повышение эффективности промывочной воды снижает объем шлама, требующего обработки.
  • Цианидная ванна с карбонатной заморозкой. Понижение температуры ванны до –3 °С приводит к кристаллизации карбонатов, образующихся в цианидной ванне в результате разложения цианида, чрезмерной плотности анодного тока и адсорбции углекислого газа из воздуха, и облегчает их удаление.
  • Осадки. Удаление металлических примесей, поступающих в ванну в виде примесей в анодах, может быть достигнуто путем осаждения цианидом бария, гидроксидом бария, гидроксидом кальция, сульфатом кальция или цианидом кальция.
  • Альтернативы шестивалентному хрому. Шестивалентный хром можно заменить растворами трехвалентного хромирования для декоративного покрытия. Хромовые конверсионные покрытия для предварительной обработки краски иногда можно заменить конверсионными покрытиями, не содержащими хрома, или химическими составами на основе хрома, не требующими смывания.
  • Нехелатные химические процессы. Вместо того, чтобы добавлять хелаторы в технологические ванны для контроля концентрации свободных ионов в растворе, можно использовать нехелатные технологические химические вещества, чтобы не было необходимости держать металлы в растворе. Этим металлам можно дать выпасть в осадок и их можно удалить непрерывной фильтрацией.
  • Нецианидные технологические химикаты. Потоки сточных вод, содержащие свободный цианид, обычно обрабатывают гипохлоритом или хлором для осуществления окисления, а комплексные цианиды обычно осаждают с помощью сульфата железа. Использование нецианидных технологических химикатов позволяет исключить этап обработки и уменьшить объем шлама.
  • Обезжиривание растворителем. Вместо обезжиривания деталей растворителем перед обработкой можно использовать горячие щелочные моющие ванны. Эффективность щелочных очистителей можно повысить, применяя электроток или ультразвук. Преимущества отсутствия паров растворителей и шлама часто перевешивают любые дополнительные эксплуатационные расходы.
  • Щелочные очистители. Необходимости отказаться от щелочных очистителей, когда накопление масла, жира и загрязнений от использования достигает уровня, снижающего эффективность очистки ванны, можно избежать, используя скимминговые устройства для удаления свободно плавающих масел, отстойники или патронные фильтры для удаления твердых частиц и коагуляторы масло-вода и с помощью микрофильтрации или ультрафильтрации для удаления эмульгированных масел.
  • Снижение выноса. Уменьшение объема уноса из технологических ванн служит для уменьшения количества ценных технологических химикатов, загрязняющих промывочную воду, что, в свою очередь, снижает количество шлама, образующегося при обычном процессе обработки осаждением металлов.

 

Несколько методов уменьшения торможения включают в себя:

  • Рабочая концентрация технологической ванны. Концентрация химикатов должна быть как можно ниже, чтобы свести к минимуму вязкость (для более быстрого стекания) и количество химикатов (в пленке).
  • Рабочая температура технологической ванны. Вязкость технологического раствора можно уменьшить, увеличив температуру ванны.
  • Смачивающие агенты. Поверхностное натяжение раствора можно уменьшить, добавив в ванну смачивающие вещества.
  • Позиционирование заготовки. Заготовку следует располагать на стойке так, чтобы прилипающая пленка свободно стекала и не застревала в канавках или полостях.
  • Время вывода или дренажа. Чем быстрее заготовка удаляется из технологической ванны, тем толще пленка на поверхности заготовки.
  • Воздушные ножи. Подача воздуха на заготовку, когда стеллаж для заготовок поднимается над технологическим резервуаром, может улучшить дренаж и сушку.
  • Спрей для ополаскивания. Их можно использовать над нагретыми ваннами, чтобы скорость промывочного потока равнялась скорости испарения бака.
  • Гальванические ванны. Карбонаты и органические загрязнители должны быть удалены, чтобы предотвратить накопление загрязнений, которые увеличивают вязкость гальванической ванны.
  • Дренажные доски. Пространства между технологическими емкостями должны быть закрыты дренажными бортами для сбора технологических растворов и возврата их в технологическую ванну.
  • Вытяжные танки. Заготовки должны быть помещены в отстойные баки («баки статической промывки») перед стандартной операцией промывки.

 

Драг-аут рекуперации химикатов использует различные технологии. К ним относятся:

  • Испарение. Наиболее распространены атмосферные испарители, а вакуумные испарители обеспечивают экономию энергии.
  • Ионный обмен используется для химической регенерации промывочной воды.
  • Электровыигрыш. Это электролитический процесс, при котором растворенные в растворе металлы восстанавливаются и осаждаются на катоде. Затем отложенный металл извлекают.
  • электродиализ. При этом используются ионопроницаемые мембраны и приложенный ток для отделения ионных частиц от раствора.
  • Обратный осмос. В нем используется полупроницаемая мембрана для получения очищенной воды и концентрированного ионного раствора. Для проталкивания воды через мембрану используется высокое давление, в то время как большинство растворенных солей удерживается мембраной.

 

Промыть водой

Большая часть опасных отходов, образующихся на предприятиях по отделке металлов, поступает из сточных вод, образующихся в результате операций промывки, следующих за очисткой и нанесением покрытия. Повышая эффективность полоскания, предприятие может значительно сократить поток сточных вод.

Две основные стратегии повышают эффективность полоскания. Во-первых, может возникнуть турбулентность между заготовкой и промывочной водой из-за струйной промывки и перемешивания промывочной воды. Движение стеллажа или принудительная вода или воздух используются. Во-вторых, время контакта между заготовкой и промывочной водой может быть увеличено. Несколько баков для полоскания, установленных последовательно, уменьшат количество используемой воды для полоскания.

Промышленные покрытия

Термин покрытия включает краски, лаки, лаки, эмали и шеллаки, замазки, наполнители и герметики для дерева, средства для удаления краски и лака, чистящие средства для малярных кистей и родственные лакокрасочные материалы. Жидкие покрытия содержат пигменты и добавки, диспергированные в смеси жидкого связующего и растворителя. Пигменты представляют собой неорганические или органические соединения, которые обеспечивают цвет покрытия и непрозрачность, а также влияют на текучесть и долговечность покрытия. Пигменты часто содержат тяжелые металлы, такие как кадмий, свинец, цинк, хром и кобальт. Связующее увеличивает клейкость покрытия, когезию и консистенцию и является основным компонентом, который остается на поверхности после нанесения покрытия. Связующие включают различные масла, смолы, каучуки и полимеры. Добавки, такие как наполнители и наполнители, могут быть добавлены к покрытиям для снижения производственных затрат и увеличения долговечности покрытия.

Типы органических растворителей, используемых в покрытиях, включают алифатические углеводороды, ароматические углеводороды, сложные эфиры, кетоны, гликолевые эфиры и спирты. Растворители диспергируют или растворяют связующие и уменьшают вязкость и толщину покрытия. Растворители, используемые в составах покрытий, опасны, потому что многие из них являются канцерогенами для человека, легко воспламеняются или взрывоопасны. Большинство растворителей, содержащихся в покрытии, испаряются при отверждении покрытия, что приводит к выбросу летучих органических соединений (ЛОС). Выбросы ЛОС становятся все более регулируемыми из-за негативного воздействия на здоровье человека и окружающую среду. Экологические проблемы, связанные с традиционными ингредиентами, технологиями нанесения покрытий и отходами покрытий, являются движущей силой разработки альтернатив предотвращения загрязнения.

Большинство покрытий используются на архитектурных, промышленных или специальных изделиях. Архитектурные покрытия используются в зданиях и строительных изделиях, а также для декоративных и защитных услуг, таких как лаки для защиты древесины. Промышленные предприятия включают операции по нанесению покрытий в различные производственные процессы. Основными потребителями промышленных покрытий являются автомобилестроение, производство металлических банок, сельскохозяйственной техники, производство рулонных покрытий, производство деревянной и металлической мебели и приспособлений, а также производство бытовой техники.

Разработка рецептуры покрытия зависит от цели нанесения покрытия. Покрытия обеспечивают эстетику, а также защиту от коррозии и поверхности. Стоимость, функциональность, безопасность продукта, безопасность для окружающей среды, эффективность переноса и скорость высыхания и отверждения определяют рецептуры.

Процессы нанесения покрытий

Существует пять операций, включающих в себя большинство процессов нанесения покрытий: обработка и подготовка сырья, подготовка поверхности, нанесение покрытия, очистка оборудования и утилизация отходов.

Обработка и подготовка сырья

Обработка и подготовка сырья включает в себя хранение запасов, операции смешивания, разбавление и корректировку покрытий, а также перемещение сырья по объекту. Процедуры и методы контроля и обработки необходимы для сведения к минимуму образования отходов в результате порчи, несоответствия спецификации и неправильной подготовки, которые могут возникнуть в результате чрезмерного разбавления и последующих потерь. Перекачка, будь то ручная или через трубопроводную систему, должна быть запланирована, чтобы избежать порчи.

Подготовка поверхности

Тип используемой техники подготовки поверхности зависит от поверхности, на которую наносится покрытие, — от предшествующей подготовки, количества грунта, смазки, наносимого покрытия и требуемой отделки поверхности. Обычные подготовительные операции включают обезжиривание, предварительное покрытие или фосфатирование и удаление покрытия. В целях чистовой обработки металлов обезжиривание включает протирание растворителем, холодную очистку или обезжиривание паром с помощью галогенсодержащих растворителей, водно-щелочную очистку, полуводную очистку или очистку алифатическими углеводородами для удаления органических загрязнений, грязи, масла и жира. Кислотное травление, абразивная очистка или очистка пламенем используются для удаления прокатной окалины и ржавчины.

Наиболее распространенной операцией подготовки металлических поверхностей, помимо очистки, является фосфатирование, используемое для улучшения адгезии органических покрытий к металлическим поверхностям и замедления коррозии. Фосфатные покрытия наносят погружением или опрыскиванием металлических поверхностей раствором фосфата цинка, железа или марганца. Фосфатирование — это процесс отделки поверхности, аналогичный гальванике, состоящий из ряда химических и промывочных ванн, в которые погружаются детали для достижения желаемой подготовки поверхности. См. статью «Поверхностная обработка металлов» в этой главе.

Удаление покрытия, химическое или механическое, проводится с поверхностей, требующих повторного покрытия, ремонта или осмотра. Наиболее распространенным методом удаления химического покрытия является удаление растворителем. Эти растворы обычно содержат фенол, метиленхлорид и органическую кислоту для растворения покрытия с поверхности с покрытием. Окончательная промывка водой для удаления химикатов может привести к образованию большого количества сточных вод. Абразивоструйная очистка - это обычный механический процесс, сухая операция, в которой используется сжатый воздух для подачи абразива на поверхность для удаления покрытия.

Операции по подготовке поверхности влияют на количество отходов конкретного процесса подготовки. Если подготовка поверхности неадекватна, что приводит к плохому покрытию, то удаление покрытия и повторное покрытие увеличивают образование отходов.

Покрытие

Операция нанесения покрытия включает перенос покрытия на поверхность и отверждение покрытия на поверхности. Большинство технологий нанесения покрытий можно разделить на 1 из 5 основных категорий: покрытие окунанием, покрытие валиком, покрытие обливом, покрытие распылением и наиболее распространенный метод — напыление распылением воздухом с использованием покрытий на основе растворителей.

Нанесение покрытий с распылением воздухом обычно проводится в контролируемой среде из-за выбросов растворителей и избыточного распыления. Устройства контроля избыточного распыления представляют собой тканевые фильтры или водяные стены, образующие либо использованные фильтры, либо сточные воды из систем очистки воздуха.

Отверждение выполняется для превращения связующего покрытия в твердую, прочную, липкую поверхность. Механизмы отверждения включают: сушку, запекание или воздействие электронного луча, инфракрасного или ультрафиолетового света. При отверждении из покрытий на основе растворителей выделяется значительное количество летучих органических соединений, что может привести к взрыву, если концентрация растворителя превысит нижний предел взрываемости. Следовательно, операции по отверждению оснащены устройствами контроля загрязнения воздуха для предотвращения выбросов летучих органических соединений и контроля безопасности для предотвращения взрывов.

Забота об окружающей среде и здоровье, ужесточение правил, касающихся обычных составов покрытий, высокая стоимость растворителей и дорогостоящая утилизация опасных отходов создали спрос на альтернативные составы покрытий, которые содержат менее опасные компоненты и производят меньше отходов при нанесении. Альтернативные составы покрытия включают:

  • Покрытия с высоким сухим остатком, содержит в два раза больше пигмента и смолы в том же объеме растворителя, что и обычные покрытия. Нанесение снижает выбросы летучих органических соединений на 62–85 % по сравнению с обычными покрытиями на основе растворителей с низким содержанием твердых частиц, поскольку содержание растворителя снижено.
  • Покрытия на водной основе использование воды и смеси органических растворителей в качестве носителя с использованием воды в качестве основания. По сравнению с покрытиями на основе растворителей, покрытия на водной основе производят на 80–95 % меньше выбросов ЛОС и отработанных растворителей, чем обычные покрытия на основе растворителей с низким содержанием твердых частиц.
  • Порошковые покрытия не содержащий органического растворителя, состоящий из тонко измельченных частиц пигмента и смолы. Это либо термопластичные (высокомолекулярная смола для толстых покрытий), либо термореактивные (низкомолекулярные соединения, образующие тонкий слой перед химическим сшиванием) порошки.

 

Очистка оборудования

Очистка оборудования является необходимой регулярной операцией технического обслуживания в процессах нанесения покрытий. Это создает значительное количество опасных отходов, особенно если для очистки используются галогенированные растворители. Очистка оборудования для покрытий на основе растворителей традиционно проводилась вручную с помощью органических растворителей для удаления покрытий с технологического оборудования. Трубопровод необходимо промывать растворителем партиями до тех пор, пока он не станет чистым. Оборудование для нанесения покрытий необходимо очищать между сменой продукта и после остановки процесса. Используемые процедуры и методы будут определять уровень отходов, образующихся в результате этих действий.

обращение с отходами

В процессе нанесения покрытия образуется несколько потоков отходов. К твердым отходам относятся пустые контейнеры для нанесения покрытий, шлам от избыточного распыления и очистки оборудования, отработанные фильтры и абразивные материалы, сухие покрытия и ветошь для очистки.

К жидким отходам относятся сточные воды, образующиеся при подготовке поверхности, борьбе с избыточным распылением или очистке оборудования, не соответствующие спецификации или излишки материалов для покрытия или подготовки поверхности, избыточное распыление, разливы и отработанные чистящие растворы. Замкнутая переработка на месте становится все более популярной для отработанных растворителей по мере роста затрат на утилизацию. Жидкости на водной основе обычно обрабатываются на месте перед сбросом в государственные системы очистки.

Выбросы летучих органических соединений образуются во всех обычных процессах нанесения покрытий, в которых используются покрытия на основе растворителей, требующие устройств контроля, таких как устройства для адсорбции углерода, конденсаторы или термические каталитические окислители.

 

Назад

Суббота, 19 марта 2011 20: 40

Общий Профиль

Разнообразие процессов и продуктов в микроэлектронной и полупроводниковой промышленности огромно. Основное внимание в обсуждении вопросов охраны труда и техники безопасности в этой главе сосредоточено на производстве полупроводниковых интегральных схем (ИС) (как в продуктах на основе кремния, так и в соединениях с валентностью III-V), производстве печатных плат (PWB), печатных платах (PCB) сборка и сборка компьютеров.

Промышленность состоит из множества основных сегментов. Ассоциация электронной промышленности использует следующее разграничение в отчетных данных о соответствующих тенденциях, продажах и занятости в отрасли:

  • электронные компоненты
  • бытовая электроника
  • связь
  • оборонная связь
  • компьютеры и периферийное оборудование
  • промышленная электроника
  • медицинская электроника.

 

К электронным компонентам относятся электронные лампы (например, приемные, специальные и телевизионные), полупроводниковые изделия (например, транзисторы, диоды, ИС, светоизлучающие диоды (СИД) и жидкокристаллические дисплеи (ЖКД)) и пассивные и другие компоненты (например, конденсаторы, резисторы, катушки, трансформаторы и переключатели).

Бытовая электроника включает телевизоры и другие бытовые и портативные аудио- и видеоустройства, а также информационное оборудование, такое как персональные компьютеры, факсимильные аппараты и автоответчики. Электронное игровое оборудование и программное обеспечение, домашние системы безопасности, пустые аудио- и видеокассеты и дискеты, электронные аксессуары и общее количество первичных батарей также подпадают под категорию бытовой электроники.

В дополнение к компьютерам общего назначения и специализированным компьютерам, компьютеры и периферийное оборудование включают вспомогательное оборудование для хранения данных, оборудование ввода/вывода (например, клавиатуры, мыши, оптические сканирующие устройства и принтеры), терминалы и т.д. В то время как телекоммуникации, оборонная связь, промышленная и медицинская электроника используют одни и те же технологии, эти сегменты также включают специализированное оборудование.

Появление микроэлектронной промышленности оказало глубокое влияние на эволюцию и структуру мировой экономики. На темпы изменений в промышленно развитых странах мира большое влияние оказали достижения в этой отрасли, особенно в развитии интегральных схем. Этот темп изменений графически представлен на временной шкале количества транзисторов на микросхему интегральной схемы (см. рис. 1).

Рис. 1. Транзисторы на микросхему интегральной схемы

МИКО10Ф1

Экономическое значение мировых продаж полупроводников очень велико. На рис. 2 представлен прогноз Ассоциации полупроводниковой промышленности для мировых и региональных продаж полупроводников с 1993 по 1998 год.

Рисунок 2. Прогноз мировых продаж полупроводников

МИКО10Ф2

Отрасли производства полупроводниковых интегральных схем и сборки компьютеров/электроники уникальны по сравнению с большинством других категорий отраслей по относительному составу производственной рабочей силы. На участке производства полупроводников высок процент женщин-операторов, управляющих технологическим оборудованием. Задачи, связанные с оператором, обычно не требуют подъема тяжестей или чрезмерной физической силы. Кроме того, многие рабочие задачи требуют мелкой моторики и внимания к деталям. Работники-мужчины преобладают в задачах, связанных с техническим обслуживанием, инженерными функциями и управлением. Аналогичный состав встречается в части сборки компьютеров / электроники в этом сегменте промышленности. Другой необычной особенностью этой отрасли является концентрация производства в Азиатско-Тихоокеанском регионе мира. Это особенно верно в окончательная сборка or Админцетр процессы в полупроводниковой промышленности. Эта обработка включает позиционирование и размещение изготовленного чипа интегральной схемы (технически известного как кристалл) на держателе чипа и выводной рамке. Эта обработка требует точного позиционирования чипа, как правило, с помощью микроскопа, и очень мелкой моторики. Опять же, в этой части процесса преобладают женщины, при этом большая часть мирового производства сосредоточена в Тихоокеанском регионе, с высокой концентрацией на Тайване, Малайзии, Таиланде, Индонезии и Филиппинах и растущим числом в Китае и Вьетнаме.

Области производства полупроводниковых ИС обладают различными необычными свойствами и характеристиками, уникальными для этой отрасли. А именно, обработка IC включает чрезвычайно строгие режимы и требования контроля твердых частиц. Типичное современное производственное помещение ИС может быть оценено как чистое помещение класса 1 или ниже. Для сравнения, внешняя среда будет выше класса 500,000 100,000; типичная комната в доме примерно 10,000 XNUMX класса; и участок внутренней сборки полупроводников примерно класса XNUMX XNUMX. Чтобы достичь такого уровня контроля над твердыми частицами, нужно фактически поместить рабочего в полностью закрытое помещение. кролик костюмы которые имеют системы подачи и фильтрации воздуха для контроля уровня твердых частиц, создаваемых рабочими в производственной зоне. Люди, обитающие в производственных зонах, считаются очень мощными генераторами мелких частиц из выдыхаемого воздуха, сброшенной кожи и волос, а также из их одежды и обуви. Это требование носить тесную одежду и изолировать рабочие будни способствовало тому, что сотрудники чувствовали, что работают в «негостеприимной» рабочей среде. См. рис. 3. Кроме того, в области фотолитографии обработка включает воздействие на пластину фотоактивного раствора, а затем нанесение изображения на поверхность пластины с использованием ультрафиолетового света. Чтобы уменьшить нежелательный ультрафиолетовый (УФ) свет из этой области обработки, используются специальные желтые лампы (в них отсутствует составляющая длины волны УФ, обычно присутствующая в освещении внутри помещений). Эти желтые огни помогают работникам почувствовать, что они находятся в другой рабочей среде, и могут дезориентировать некоторых людей.

Рисунок 3. Современная чистая комната

MIC010F3

 

Назад

Обзор процесса

Описание обработки кремниевых полупроводниковых устройств, либо дискретных устройств (полупроводник, содержащий только одно активное устройство, такое как транзистор), либо ИС (взаимосвязанные массивы активных и пассивных элементов на одной полупроводниковой подложке, способные выполнять по крайней мере одну функцию электронной схемы) , включает в себя множество узкоспециализированных и специфических операций. Цель этого описания состоит в том, чтобы предоставить базовую структуру и объяснить этапы основных компонентов, используемые при изготовлении кремниевого полупроводникового устройства, и связанные с этим вопросы охраны окружающей среды, здоровья и безопасности (EHS).

Изготовление ИС включает в себя последовательность процессов, которые могут повторяться много раз, прежде чем схема будет завершена. Наиболее популярные ИС используют 6 или более масок для выполнения процессов формирования паттернов, обычно от 10 до 24 масок. Изготовление микросхемы начинается с кремниевой пластины сверхвысокой чистоты диаметром от 4 до 12 дюймов. Идеально чистый кремний является почти изолятором, но некоторые примеси, называемые легирующие примеси, добавленные в количестве от 10 до 100 частей на миллион, заставляют кремний проводить электричество.

Интегральная схема может состоять из миллионов транзисторов (а также диодов, резисторов и конденсаторов), сделанных из легированного кремния, и все они соединены соответствующей схемой проводников для создания компьютерной логики, памяти или другого типа схемы. На одной пластине можно сделать сотни микросхем.

Шесть основных этапов обработки являются универсальными для всех кремниевых полупроводниковых устройств: окисление, литография, травление, легирование, химическое осаждение из паровой фазы и металлизация. Далее следуют сборка, тестирование, маркировка, упаковка и отгрузка.

Окисление

Как правило, первый этап обработки полупроводниковых устройств включает окисление внешней поверхности пластины для выращивания тонкого слоя (около одного микрона) диоксида кремния (SiO2). Это в первую очередь защищает поверхность от загрязнений и служит маской для последующего процесса диффузии. Эта способность выращивать химически стабильную защитную пластину диоксида кремния на кремнии делает кремниевые пластины наиболее широко используемой полупроводниковой подложкой.

Окисление, обычно называемое термическим окислением, представляет собой периодический процесс, происходящий в высокотемпературной диффузионной печи. Защитный слой диоксида кремния выращивают в атмосфере, содержащей либо кислород ( O2) (сухое окисление) или кислород в сочетании с водяным паром ( H2О) (мокрое окисление). Температура в печи колеблется от 800 до 1,300oC. Соединения хлора в форме хлористого водорода (HCl) также могут быть добавлены для контроля нежелательных примесей.

На новых производственных объектах наблюдается тенденция к использованию вертикальных печей для окисления. Вертикальные печи лучше удовлетворяют потребность в большем контроле загрязнения, большем размере пластин и более равномерной обработке. Они позволяют уменьшить занимаемую площадь оборудования, что экономит драгоценную площадь чистых помещений.

Сухое окисление

Кремниевые пластины, подлежащие окислению, сначала очищают с использованием моющего средства и водного раствора, а затем промывают растворителем с ксилолом, изопропиловым спиртом или другими растворителями. Очищенные пластины высушивают, загружают в держатель кварцевых пластин, называемый лодка и загружается в конец оператора (конец нагрузки) трубы или ячейки кварцевой диффузионной печи. Входной конец трубы (исходный конец) подает кислород высокой чистоты или кислородно-азотную смесь. Поток «сухого» кислорода в кварцевую трубку контролируется и гарантирует наличие избытка кислорода для роста диоксида кремния на поверхности кремниевой пластины. Основная химическая реакция:

Si + О2 → SiO2

Мокрое окисление

Когда вода является окислителем, обычно используются четыре метода введения водяного пара: пирофорный, высокого давления, барботер и мгновенное испарение. К основным химическим реакциям относятся:

Пирофорный и высокого давления: Si + 2O2 + 2H2 → SiO2 + 2H2O

Вспышка и барботер: Si + 2H2O → SiO2 + 2H2

Пирофорное окисление включает в себя введение и сжигание газообразной смеси водорода и кислорода. Такие системы обычно называют сгоревший водород or факел системы. Водяной пар образуется, когда на входной конец трубки вводят надлежащее количество водорода и кислорода и дают им вступить в реакцию. Смесь необходимо точно контролировать, чтобы гарантировать правильное сгорание и предотвратить накопление взрывоопасного газообразного водорода.

Окисление под высоким давлением (HiPox) технически называется системой пиросинтеза воды и генерирует водяной пар в результате реакции сверхчистого водорода и кислорода. Затем пар закачивается в камеру высокого давления и сжимается до 10 атмосфер, что ускоряет процесс влажного окисления. Деионизированная вода также может использоваться в качестве источника пара.

In барботерное окисление деионизированную воду помещают в емкость, называемую фонтанчик для питья и поддерживается при постоянной температуре ниже его точки кипения 100°C за счет использования колбонагревателя. Газообразный азот или кислород поступает на вход барботера, насыщается водяным паром по мере подъема через воду и выходит через выход в диффузионную печь. Барботажные системы, по-видимому, являются наиболее широко используемым методом окисления.

In мгновенное окисление Деионизированная вода непрерывно капает на нагретую нижнюю поверхность кварцевого контейнера, и вода быстро испаряется, когда попадает на горячую поверхность. Азот или кислородный газ-носитель течет над испаряющейся водой и переносит водяной пар в диффузионную печь.

литография

Литография, также известная как фотолитография или просто маскирование, представляет собой метод точного формирования рисунков на оксидированной пластине. Микроэлектронная схема строится слой за слоем, каждый слой получает рисунок из маски, заданной в схеме.

Полиграфия создала настоящих предшественников современных процессов микропроизводства полупроводниковых устройств. Эти разработки относятся к изготовлению печатных форм, обычно металлических, на которых при удалении материала химическим травлением образуется рельефный рисунок поверхности. Этот же базовый метод используется при производстве мастера маски используется при изготовлении каждого слоя обработки устройства.

Разработчики схем оцифровывают основные схемы каждого уровня. Эта компьютеризированная схема позволяет быстро генерировать схему маски и облегчает любые необходимые изменения. Этот метод известен как автоматизированное проектирование (САПР). Используя мощные компьютерные алгоритмы, эти онлайн-системы проектирования позволяют разработчику размещать и изменять схемы непосредственно на экранах видеодисплеев с интерактивными графическими возможностями.

Окончательный рисунок или маска для каждого слоя схемы создается управляемым компьютером фотоплоттером или генератором шаблонов. Затем эти фоточертежи уменьшаются до фактического размера схемы, эталонная маска изготавливается на стекле с хромированным рельефом и воспроизводится на рабочей пластине, которая служит либо для контактной, либо для проекционной печати на пластине.

Эти маски очерчивают рисунок проводящих и изолирующих областей, которые переносятся на пластину с помощью фотолитографии. Большинство компаний не производят свои собственные маски, а используют маски, предоставленные производителем масок.

Уборка

Необходимость в том, чтобы внешняя поверхность пластины не содержала твердых частиц и загрязнений, требует частой очистки. Основные категории:

  • очистка деионизированной водой и моющими средствами
  • растворитель: изопропиловый спирт (IPA), ацетон, этанол, терпены
  • кислота: плавиковая (HF), серная (H2SO4) и перекись водорода (H2O2), соляная (HCl), азотная (HNO3) и смеси
  • едкий: гидроксид аммония (NH4ОЙ).

 

Сопротивление приложению

Пластины покрыты резистивным материалом из полимера на основе растворителя и быстро вращаются на прядильщик, который ложится тонким равномерным слоем. Затем растворители испаряются, оставляя полимерную пленку. Все резистивные материалы зависят от изменений растворимости синтетического органического полимера в выбранной промывочной жидкости проявителя, вызванных излучением (в первую очередь ультрафиолетовым). Материалы резиста классифицируются как отрицательные или положительные резисты, в зависимости от того, снижается ли растворимость в проявителе (отрицательный) или увеличивается (положительный) при воздействии радиации. В таблице 1 указан состав компонентов различных систем фоторезистов.

Таблица 1. Фоторезистивные системы

Ультрафиолетовый

Ближний (350–450 нм)

Отрицательный

PB
S
D

Алифатический каучук на основе азида (изопрен)
н-бутилацетат, ксилол, н-метил-2-пирролидон, этилбензол
Ксилол, алифатические углеводороды, н-бутилацетат,
Растворитель Стоддарда (нефтяные дистилляты)

 

Положительный

PB
S


D

Орто-диазокетон
Ацетат монометилового эфира пропиленгликоля, этиллактат, метил
метоксипропионат, этилэтоксипропионат, н-бутилацетат, ксилол,
хлортолуол
Гидроксид натрия, силикаты, гидроксид калия

Глубокий (200–250 нм)

В первую очередь
позитив сопротивляется

   

Электронно-лучевой (около 100 нм)

 

Отрицательный

PB
S
D

Сополимер-этилакрилат и глицидилметакрилат (COP)
н /
н /

 

Положительный

PB

S
D

Полиметилметакрилат, полифторалкилметакрилат, полиалкилальдегид, полицианоэтилакрилат
Ацетат монометилового эфира пропиленгликоля
Щелочной или IPA, этилацетат или метилизобутилкетон (MIBK)

Рентгеновский (0.5–5 нм)

 

Отрицательный

PB
S
D

Сополимер-этилакрилат и глицидилметакрилат (COP)
н /
н /

 

Положительный

PB

S
D

Полиметилметакрилат, орто-диазокетон, поли
(гексафторбутилметакрилат), поли (бутен-1-сульфон)
Ацетат монометилового эфира пропиленгликоля
н /

ПБ = полимерная основа; S = растворитель; Д = разработчик.

Поскольку большинство фоторезистов чувствительны к ультрафиолетовому (УФ) излучению, область обработки освещается специальным желтым светом, в котором отсутствуют чувствительные длины волн УФ (см. рис. 1).

Рис. 1. Фотолитографическое оборудование «Желтая комната»

MIC020F3

Негативные и позитивные УФ-резисты в основном используются в промышленности. Однако электронно-лучевые и рентгеновские резисты завоевывают долю рынка благодаря более высокому разрешению. Проблемы со здоровьем при литографии в первую очередь вызваны потенциальными опасностями для репродуктивной системы, связанными с отдельными положительными резистами (например, ацетатом моноэтилового эфира этиленгликоля в качестве носителя), которые в настоящее время постепенно выводятся из употребления в промышленности. Периодические запахи негативных резистов (например, ксилола) также вызывают беспокойство у сотрудников. Из-за этих опасений промышленные гигиенисты полупроводниковой промышленности тратят много времени на отбор проб фоторезистов. Хотя это полезно для характеристики этих операций, обычное воздействие во время работы центрифуги и проявителя обычно составляет менее 5% от стандартов профессионального воздействия растворителей, используемых в процессе, в воздухе (Scarpace et al. 1989).

Было обнаружено 1-часовое воздействие ацетата моноэтилового эфира этиленгликоля с концентрацией 6.3 частей на миллион во время работы вращающейся системы. Это воздействие было в первую очередь вызвано неправильным выполнением работ при техническом обслуживании (Болдуин, Рубин и Горовиц, 1993 г.).

Сушка и предварительная выпечка

После нанесения резиста пластины перемещаются по направляющей или вручную перемещаются из центрифуги в печь с регулируемой температурой в атмосфере азота. Умеренная температура (от 70 до 90°C) вызывает отверждение фоторезиста (мягкое спекание) и испарение оставшихся растворителей.

Для обеспечения адгезии слоя резиста к пластине на пластину наносится грунтовка гексаметилдисилизан (ГМДС). Праймер связывает молекулярную воду на поверхности пластины. ГМДС применяется либо непосредственно в процессе погружения или навинчивания, либо с помощью паровой заливки, что обеспечивает технологические и экономические преимущества по сравнению с другими методами.

Выравнивание маски и экспозиция

Маска и пластина сближаются с помощью точного оптического/механического оборудования, и изображение на маске выравнивается по любому рисунку, уже существующему на пластине под слоем фоторезиста. Для первой маски выравнивание не требуется. В более старых технологиях выравнивание последовательных слоев стало возможным за счет использования бископа (микроскопа с двумя объективами) и точного контроля позиционирования пластины по отношению к маске. В более новых технологиях выравнивание выполняется автоматически с использованием контрольных точек на пластинах.

После того, как выравнивание выполнено, высокоинтенсивный ультрафиолетовый источник паров ртути или дуговой лампы освещает маску, обнажая резист в местах, не защищенных непрозрачными областями маски.

Различные методы выравнивания и экспонирования пластин включают экспонирование УФ-излучением (контактное или близкое), УФ-облучение через проекционную линзу для уменьшения (проекция), воздействие УФ-пошаговым и повторным уменьшением (проекция), рентгеновское излучение (близкое) и сканирование электронным лучом. экспозиция (прямое письмо). Основной используемый метод включает воздействие УФ-излучением от паров ртути и дуговых ламп через бесконтактные или проекционные выравниватели. УФ-резисты либо предназначены для реакции на широкий спектр длин волн УФ-излучения, либо их рецептура предназначена для реакции преимущественно на одну или несколько основных линий спектра, излучаемых лампой (например, g-линия при 435 нм, h-линия при 405 нм и i-линия при 365 нм).

Преобладающие длины волн УФ-света, используемые в настоящее время для фотомаскирования, составляют 365 нм или выше, но спектры УФ-лампы также содержат значительную энергию в области длин волн, представляющей опасность для здоровья, актиничной области ниже 315 нм. Обычно интенсивность УФ-излучения, выходящего из оборудования, меньше, чем интенсивность солнечного излучения в актиничной области и нормы, установленные для профессионального воздействия УФ-излучения.

Иногда во время технического обслуживания для юстировки УФ-лампы требуется, чтобы она была запитана вне шкафа с оборудованием или без обычных защитных фильтров. Уровни воздействия во время этой операции могут превышать пределы воздействия на рабочем месте, но стандартная одежда для чистых помещений (например, халаты, виниловые перчатки, лицевые маски и защитные очки из поликарбоната с УФ-ингибитором) обычно достаточна для ослабления УФ-излучения до значений ниже пределов воздействия (Болдуин и Стюарт, 1989 г.). ).

В то время как преобладающие длины волн для ультрафиолетовых ламп, используемых в фотолитографии, составляют 365 нм или выше, поиск более мелких функций в усовершенствованных ИС приводит к использованию источников облучения с меньшими длинами волн, таких как глубокое УФ и рентгеновское излучение. Одной из новых технологий для этой цели является использование эксимерных лазеров на фториде криптона, используемых в шаговых двигателях. Эти степперы используют длину волны 248 нм с высокой выходной мощностью лазера. Однако корпуса для этих систем удерживают балку при нормальной работе.

Как и в случае с другим оборудованием, содержащим мощные лазерные системы, используемые в производстве полупроводников, основная проблема заключается в том, что блокировки системы должны быть отключены во время выравнивания луча. Мощные лазеры также представляют собой одну из наиболее значительных электрических опасностей в полупроводниковой промышленности. Даже после отключения питания внутри инструмента существует значительный потенциал удара. Элементы управления и соображения безопасности для этих систем рассматриваются Эшером, Уэзерсом и Лабонвиллем (1993).

Одним из передовых источников излучения, используемых в литографии, является рентгеновское излучение. Уровни излучения от источников рентгеновской литографии могут привести к мощности дозы, приближающейся к 50 миллизивертам (5 бэр) в год в центре оборудования. Для минимизации воздействия рекомендуется ограничить доступ к участкам внутри экранированной стены (Rooney and Leavey 1989).

Развивающийся

На этапе проявления неполимеризованные участки резиста растворяются и удаляются. Проявитель на основе растворителя наносится на поверхность пластины, покрытой резистом, путем погружения, распыления или распыления. Растворы-проявители указаны в таблице 1. Промывка растворителем (n-бутилацетат, изопропиловый спирт, ацетон и т. д.) обычно наносят после проявителя для удаления любого остаточного материала. Оставшийся после проявления резист защищает отдельные слои при последующей обработке.

Выпекание

После выравнивания, экспонирования и проявления резиста пластины затем перемещаются в другую печь с регулируемой температурой в атмосфере азота. В печи с более высокой температурой (от 120 до 135°C) фоторезист отвердевает и полностью полимеризуется на поверхности пластины (запекание).

Снятие фоторезиста

Затем проявленная пластина выборочно травится с использованием влажных или сухих химикатов (см. «Травление» ниже). Оставшийся фоторезист необходимо удалить с пластины перед дальнейшей обработкой. Это делается либо с помощью влажных химических растворов в ваннах с регулируемой температурой, либо с помощью плазменного озолителя или сухого химиката. В таблице 2 указаны как влажные, так и сухие химические компоненты. Далее следует обсуждение сухого химического плазменного травления с использованием того же оборудования и принципов работы, что и при плазменном озолении.


Таблица 2. Инструмент для удаления фоторезиста

Мокрая химия

 Кислота

Серная (H2SO4) и хромовые (CrO3)

Серная (H2SO4) и персульфат аммония ((NH4)2S2O8)

Серная (H2SO4) и перекись водорода (H2O2)

Organics

Фенолы, серная кислота, трихлорбензол, перхлорэтилен

Эфиры гликоля, этаноламин, триэтаноламин

Гидроксид натрия и силикаты (положительный резист)

Сухой химический

Плазменное озоление (зачистка)

ВЧ (радиочастотный) источник питания — частота 13.56 МГц или 2,450 МГц.

Кислород (O2) исходный газ

Вакуумные насосные системы

—Масляная смазка с ловушкой жидким азотом (старая технология)
— Смазка инертными перфторполиэфирными жидкостями (более новая технология)
— Сухой насос (новейшая технология)


Этчинг

Травление удаляет слои диоксида кремния (SiO2), металлы и поликремний, а также резисты в соответствии с желаемыми рисунками, очерченными резистом. Двумя основными категориями травления являются влажное и сухое химическое травление. Преимущественно используется влажное травление, включающее растворы, содержащие травители (обычно смесь кислот) нужной концентрации, которые вступают в реакцию с удаляемыми материалами. Сухое травление предполагает использование реактивных газов под вакуумом в камере с высоким напряжением, что также удаляет желаемые слои, не защищенные резистом.

Мокрая химия

Растворы для влажного химического травления размещаются в травильных ваннах с регулируемой температурой, изготовленных из полипропилена (полипро), огнестойкого полипропилена (FRPP) или поливинилхлорида (ПВХ). Ванны, как правило, оборудованы приточно-вытяжной вентиляцией кольцевого типа или щелевой вытяжкой в ​​задней части станции влажного химического травления. Вертикальные вытяжки с ламинарным потоком подают равномерно отфильтрованный воздух, не содержащий твердых частиц, на верхнюю поверхность травильных ванн. Обычные химические растворы для влажного травления представлены в таблице 3 в зависимости от протравливаемого поверхностного слоя.

Таблица 3. Мокрые химические травители

Материал для травления

травители

кремний

Поликристаллический кремний (Si)

Плавиковая, азотная, уксусная кислоты и йод
Гидроксид калия
Этилендиамин/катехин
Фторид аммония, ледяная уксусная и азотная кислоты

Диоксид кремния (SiO2)

Травление буферным оксидом (BOE) - фтористоводородная и
фторид аммония
BOE, этиленгликоль, монометиловый эфир
Плавиковая и азотная (P-травление)

Нитрид кремния (Si3N4)

Фосфорная и плавиковая кислоты

Оксид CVD или травление тампоном

Фторид аммония, уксусная и плавиковая кислоты

Драгоценные металлы

Алюминий (Al)

Фосфорная, азотная, уксусная и соляная кислоты
Гидроксид натрия, гидроксид калия

Хромоникелевый сплав (Cr/Ni)

Церико-аммиачная селитра и азотная кислота
Соляная и азотная кислоты (царская водка)

Золото (Au)

Соляная и азотная кислоты (царская водка)
Йодид калия (KI)
Цианид калия (KCN) и перекись водорода (H2O2)
Хлорид железа (FeCl3) и соляная кислота

Серебро (Ag)

Нитрат железа (FeNO3) и этиленгликоль
Азотная кислота

Соединение

Формула

Стандартная концентрация (%)

Уксусная кислота

CH3СООН

36

Фторид аммония

NH4F

40

Ледяная уксусная кислота

CH3СООН

99.5

соляная кислота

HCl

36

Плавиковая кислота

HF

49

Азотная кислота

HNO3  

67

Фосфорная кислота

H3PO4  

85

Гидроксид калия

KOH

50 или 10

Едкий натр

NaOH

50 или 10

Серная кислота

H2SO4  

96

 

Вертикально установленные колпаки подачи потока при использовании в сочетании с брызгозащитными экранами и вытяжной вентиляцией могут создавать зоны турбулентности воздуха внутри станции влажного химического травления. В результате возможно снижение эффективности местной вытяжной вентиляции по улавливанию и отводу летучих загрязнителей воздуха из находящихся в эксплуатации ванн травления.

Основной проблемой при влажном травлении является возможность контакта кожи с концентрированными кислотами. Хотя все кислоты, используемые при травлении, могут вызывать кислотные ожоги, воздействие плавиковой кислоты (HF) вызывает особую озабоченность. Задержка между контактом с кожей и болью (до 24 часов для растворов с содержанием HF менее 20 % и от 1 до 8 часов для растворов с содержанием HF от 20 до 50 %) может привести к задержке лечения и более серьезным ожогам, чем ожидалось (Hathaway et al., 1991). .

Исторически кислотные ожоги были особой проблемой в отрасли. Однако в последние годы количество случаев контакта кожи с кислотами сократилось. Частично это снижение было вызвано улучшениями в процессе травления, связанными с продуктом, такими как переход на сухое травление, использование большего количества робототехники и установка систем дозирования химикатов. Снижение частоты кислотных ожогов также может быть связано с лучшими методами обработки, более широким использованием средств индивидуальной защиты, более продуманными мокрыми палубами и лучшим обучением — все это требует постоянного внимания, если уровень будет снижаться еще больше (Болдуин и Уильямс, 1996 г.). ).

Сухой химический

Сухое химическое травление представляет собой область растущего интереса и использования из-за его способности лучше контролировать процесс травления и снижать уровень загрязнения. Сухая химическая обработка эффективно травит желаемые слои за счет использования химически активных газов или физической бомбардировки.

Были разработаны химически реактивные системы плазменного травления, которые могут эффективно травить кремний, диоксид кремния, нитрид кремния, алюминий, тантал, соединения тантала, хром, вольфрам, золото и стекло. Используются два типа систем реакторов плазменного травления: бочкообразные, или цилиндрические, и плоскопараллельные, или плоские. Оба работают по одним и тем же принципам и в основном различаются только конфигурацией.

Плазма похожа на газ, за ​​исключением того, что некоторые атомы или молекулы плазмы ионизированы и могут содержать значительное количество свободных радикалов. Типичный реактор состоит из камеры вакуумного реактора, содержащей пластину, обычно изготовленную из алюминия, стекла или кварца; источник радиочастотной (РЧ) энергии - обычно на частоте 450 кГц, 13.56 МГц или 40.5 МГц и модуль управления для контроля времени обработки, состава газа-реагента, расхода газа и уровня мощности РЧ. Кроме того, источник вакуума форвакуумного насоса с масляной смазкой (более старая технология) или сухим (более новая технология) находится на одной линии с камерой реактора. Пластины загружаются в реактор по отдельности или в кассетах, насос откачивает камеру и вводится газ-реагент (обычно четырехфтористый углерод). При ионизации газа образуется плазма травления, которая вступает в реакцию с пластинами с образованием летучих продуктов, которые откачиваются. Введение свежего газа-реагента в камеру поддерживает активность травления. В таблице 4 указаны материалы и плазмообразующие газы, используемые для травления различных слоев.

Таблица 4. Газы плазменного травления и травящиеся материалы

Материалы

Газовый

кремний

Поликремний (polySi) и кремний

CF + О2, ККл4 или CF3Кл, CF4 и HCl

Диоксид кремния (SiO2)

C2F6, C3F8, КФ4, СиФ4, C5F12, швейцарских франков3, ККл2F2, СФ6, ВЧ

Нитрид кремния (Si3N4)

CF4 + Ар, КФ4 + О2, КФ4 + H2

Драгоценные металлы

Алюминий (Al)

CCl4 или BCl3 + Он или Ар

Хром (Cr)

CCl4

Оксид хрома (CrO3)

Cl2 + Ar или CCl4 + Ар

Арсенид галлия (GaAs)

CCl2F2

Ванадий (V)

CF4

Титан (Ti)

CF4

Тантулум (Та)

CF4

Молибден (Мо)

CF4

Вольфрам (Вт)

CF4

 

Другой метод, который в настоящее время разрабатывается для травления, - это микроволновая обработка. Он использует микроволновый разряд высокой плотности для создания метастабильных атомов с длительным временем жизни, которые травят материал почти так, как если бы он был погружен в кислоту.

Процессы физического травления аналогичны пескоструйной очистке в том смысле, что атомы аргона используются для физической бомбардировки слоя, подлежащего травлению. Для удаления смещенного материала используется вакуумная насосная система. Реактивное ионное травление включает комбинацию химического и физического сухого травления.

Процесс распыления представляет собой процесс ионного удара и передачи энергии. Травление распылением включает систему распыления, в которой пластина, подлежащая травлению, прикрепляется к отрицательному электроду или мишени в цепи тлеющего разряда. Материал вылетает из пластины при бомбардировке положительными ионами, обычно аргоном, что приводит к дислокации поверхностных атомов. Питание обеспечивается источником ВЧ на частоте 450 кГц. Встроенная вакуумная система используется для контроля давления и удаления реагентов.

Ионно-лучевое травление и фрезерование — это щадящий процесс травления, в котором используется пучок низкоэнергетических ионов. Ионно-лучевая система состоит из источника для генерации ионного пучка, рабочей камеры, в которой происходит травление или фрезерование, приспособления с мишенью для удержания пластин в ионном пучке, системы вакуумного насоса, поддерживающей электроники и инструментов. Ионный пучок извлекается из ионизированного газа (аргона или аргона/кислорода) или плазмы, создаваемой электрическим разрядом. Разряд получают приложением напряжения между термокатодом, излучающим электроны, и анодным цилиндром, расположенным во внешнем диаметре области разряда.

Ионно-лучевое измельчение осуществляется в низкоэнергетическом диапазоне ионной бомбардировки, когда происходят только поверхностные взаимодействия. Эти ионы, обычно в диапазоне от 500 до 1,000 эВ, поражают цель и брызгать слюной поверхностных атомов, разрушая силы, связывающие атом с его соседом. Ионно-лучевое травление выполняется в несколько более высоком диапазоне энергий, что связано с более резким смещением поверхностных атомов.

Реактивное ионное травление (РИТ) представляет собой комбинацию физического распыления и химического травления реактивных частиц при низких давлениях. RIE использует ионную бомбардировку для достижения направленного травления, а также химически активный газ, четырехфтористый углерод (CF4) или четыреххлористый углерод (CCl4), чтобы поддерживать хорошую селективность травленого слоя. Пластину помещают в камеру с атмосферой химически активного газового соединения при низком давлении около 0.1 торр (1.3 х 10-4 атмосфера). Электрический разряд создает плазму реактивных «свободных радикалов» (ионов) с энергией в несколько сотен электрон-вольт. Ионы ударяются о поверхность пластины вертикально, где они вступают в реакцию с образованием летучих частиц, которые удаляются встроенной вакуумной системой низкого давления.

У машин для сухого травления иногда есть цикл очистки, который используется для удаления отложений, скапливающихся внутри реакционных камер. Исходные соединения, используемые для плазмы цикла очистки, включают трифторид азота (NF3), гексафторэтан (C2F6) и октафторпропан ( C3F8).

Эти три газа, используемые в процессе очистки, и многие газы, используемые в травлении, являются краеугольным камнем экологической проблемы, стоящей перед полупроводниковой промышленностью, которая возникла в середине 1990-х годов. Было установлено, что несколько высокофторированных газов обладают значительным потенциалом глобального потепления (или парникового эффекта). (Эти газы также называются ПФУ, перфторированные соединения.) Длительное время жизни в атмосфере, высокий потенциал глобального потепления и значительное увеличение использования ПФУ, таких как NF.3, C2F6, C3F8, КФ4, трифторметан (CHF3) и гексафторид серы (SF6) заставили полупроводниковую промышленность сосредоточиться на способах сокращения выбросов.

Выбросы в атмосферу ПФУ в полупроводниковой промышленности связаны с низкой эффективностью инструментов (многие инструменты потребляют только от 10 до 40% используемого газа) и неадекватным оборудованием для снижения выбросов в атмосферу. Мокрые скрубберы неэффективны для удаления ПФУ, и испытания многих установок для сжигания показали низкую эффективность удаления некоторых газов, особенно CF.4. Многие из этих установок сгорания вышли из строя C2F6 и C3F8 в CF4. Кроме того, высокая стоимость владения этими средствами борьбы с выбросами, потребляемая ими мощность, выделение ими других газов, вызывающих глобальное потепление, и побочных продуктов их сгорания опасных загрязнителей воздуха указывают на то, что борьба со сжиганием не является подходящим методом для контроля выбросов ПФУ.

Повышение эффективности технологических инструментов, выявление и разработка более экологически чистых альтернатив этим газам сухого травления, а также рекуперация/рециркуляция выхлопных газов — вот основные экологические задачи, связанные с установками для сухого травления.

Основное внимание в области гигиены труда для машин для сухого травления уделялось потенциальному воздействию на обслуживающий персонал, работающий с реакционными камерами, насосами и другим сопутствующим оборудованием, которое может содержать остатки продуктов реакции. Сложность плазменных травильных машин и сложность характеристики запахов, связанных с их обслуживанием, сделали их предметом многих исследований.

Продукты реакции, образующиеся в плазменных травителях металлов, представляют собой сложную смесь хлорированных и фторированных соединений. Техническое обслуживание травильных станков по металлу часто связано с кратковременными операциями, которые вызывают сильный запах. Было обнаружено, что гексахлорэтан является основной причиной появления запаха в одном типе травильных установок для алюминия (Helb et al., 1983). В другом случае главной проблемой был хлорид циана: уровни воздействия в 11 раз превышали предел воздействия на рабочем месте 0.3 ppm (Baldwin 1985). В других типах травителей хлористый водород вызывает запах; максимальное измеренное воздействие составило 68 частей на миллион (Балдуин, Рубин и Горовиц, 1993). Дополнительную информацию по этому вопросу см. в Mueller and Kunesh (1989).

Сложность химического состава выхлопных газов установок для травления металлов побудила исследователей разработать экспериментальные методы изучения токсичности этих смесей (Bauer et al. 1992a). Применение этих методов в исследованиях на грызунах указывает на то, что некоторые из этих химических смесей предположительно являются мутагенами (Bauer et al. 1992b) и предполагаемыми репродуктивными токсинами (Schmidt et al. 1995).

Поскольку установки для сухого травления работают как закрытые системы, химическое воздействие на операторов оборудования обычно не происходит, пока система закрыта. Единственным редким исключением является случай, когда цикл продувки старых травильных установок периодического действия недостаточно длинный для надлежащего удаления травильных газов. Сообщалось о кратковременном, но раздражающем воздействии соединений фтора, уровень которых ниже предела обнаружения для типичных процедур контроля промышленной гигиены, когда дверцы этих травильных установок были открыты. Обычно это можно исправить, просто увеличив продолжительность цикла продувки перед открытием дверцы камеры травления.

Основная опасность воздействия радиочастотной энергии на оператора возникает во время плазменного травления и озоления (Cohen 1986; Jones 1988). Как правило, утечка радиочастотной энергии может быть вызвана:

  • смещенные двери
  • трещины и дыры в шкафах
  • металлические столы и электрические кабели, действующие как антенны из-за неправильного заземления травильного станка
  • отсутствие поглощающего экрана в смотровом окне травильного станка (Jones, 1988; Horowitz, 1992).

 

Радиочастотное облучение также может происходить во время технического обслуживания травильных станков, особенно если шкаф с оборудованием был снят. Экспозиция 12.9 мВт/см2 был найден в верхней части старой модели плазменного травителя со снятой крышкой для обслуживания (Horowitz 1992). Фактическая утечка радиочастотного излучения в зоне, где стоит оператор, обычно не превышала 4.9 мВт/см.2.

легирование

Формирование электрического соединения или границы между p и n областей в монокристаллической кремниевой пластине является важным элементом для функционирования всех полупроводниковых устройств. Соединения позволяют току течь в одном направлении гораздо легче, чем в другом. Они обеспечивают основу для диодных и транзисторных эффектов во всех полупроводниках. В интегральной схеме контролируемое количество элементарных примесей или примесей должно быть введено в выбранные протравленные области кремниевой подложки или пластины. Это можно сделать методами диффузии или ионной имплантации. Независимо от используемой технологии одни и те же типы или примеси используются для производства полупроводниковых переходов. В таблице 5 указаны основные компоненты, используемые для легирования, их физическое состояние, электрический тип (p or n) и основной используемый метод соединения - диффузионная или ионная имплантация.

Таблица 5. Добавки для формирования переходов при диффузии и ионной имплантации

Элемент

Соединение

Формула

Область

Техника

п-типа

сурьма

Триоксид сурьмы
Трихлорид сурьмы

Sb2O3
SbCl3

SOLID
жидкость

Вещание
Вещание

мышьяк

Триоксид мышьяка
Триоксид мышьяка
Арсин
Пентафторид мышьяка

As2O3
As2O3
Пепел3
АсФ5

SOLID
жидкость
Газовый
Газовый

Вещание
Диффузия — вращение
Диффузионная и ионная имплантация
Ионная имплантация

Фосфор

Пятиокись фосфора
Пятиокись фосфора
Фосфор трибромид
Фосфор трихлорид
Оксихлорид фосфора
фосфин
Пентафторид фосфора

P2O5
P2O5
ПБр3
ПКл3
POCl3
PH3
PF5

SOLID
жидкость
жидкость
жидкость
жидкость
Газовый
Газовый

Вещание
Диффузия — вращение
Вещание
Вещание
Вещание
Ионная имплантация
Ионная имплантация

р-типа

Бор

Нитрид бора
Трибромид бора
триоксид бора
триоксид бора
триэтилборат
тетрабромид кремния
Трихлорид бора
Трифторид бора
Диборан

BN
ББр3
B2O3
B2O3
В(КОС2H5)3
СиБр4
BCl3
BF3
B2H6

SOLID
жидкость
SOLID
жидкость
жидкость
жидкость
жидкость
Газовый
Газовый

Вещание
Вещание
Вещание
Диффузия — вращение
Диффузия — вращение
Вещание
Диффузионная ионная имплантация
Ионная имплантация
Ионная имплантация

 

Обычное химическое воздействие на операторов как диффузионных печей, так и аппаратов для ионной имплантации невелико — обычно меньше предела обнаружения стандартных процедур отбора проб гигиены труда. Химические проблемы, связанные с технологическим процессом, связаны с возможностью выброса токсичных газов.

Еще в 1970-х годах прогрессивные производители полупроводников начали устанавливать первые системы непрерывного газоанализа горючих и токсичных газов. Основное внимание в этом мониторинге уделялось обнаружению аварийных выбросов наиболее токсичных легирующих газов с пороговыми значениями запаха, превышающими пределы воздействия на рабочем месте (например, арсин и диборан).

Большинство мониторов промышленной гигиены в полупроводниковой промышленности используются для обнаружения утечек легковоспламеняющихся и токсичных газов. Однако на некоторых объектах также используются системы непрерывного мониторинга для:

  • анализировать выбросы выхлопных труб (дымов)
  • количественно определить концентрации летучих химических веществ в окружающем воздухе
  • определять и количественно определять запахи в сказочных помещениях.

 

Технологии, наиболее часто используемые в полупроводниковой промышленности для этого типа мониторинга, включают колориметрическое обнаружение газа (например, непрерывный детектор газа MDA), электрохимические датчики (например, мониторы sensydyne) и инфракрасное преобразование Фурье (например, Telos ACM) (Балдуин и Уильямс, 1996). .

Вещание

Вещание термин, используемый для описания перемещения легирующих примесей из областей с высокой концентрацией на стороне источника диффузионной печи в области с более низкой концентрацией внутри кремниевой пластины. Диффузия - наиболее распространенный метод образования соединений.

Этот метод включает в себя воздействие на пластину нагретой атмосферы внутри диффузионной печи. Печь содержит желаемые легирующие примеси в форме пара, что приводит к созданию областей легированной электрической активности либо p or n. Наиболее часто используемые легирующие примеси: бор для р-типа; и фосфор (P), мышьяк (As) или сурьма (Sb) для n-типа (см. таблицу 5).

Обычно пластины укладываются в кварцевый носитель или лодочку и помещаются в диффузионную печь. Диффузионная печь содержит длинную кварцевую трубку и механизм точного контроля температуры. Температурный контроль чрезвычайно важен, так как скорость диффузии различных примесей кремния в первую очередь зависит от температуры. Диапазон рабочих температур от 900 до 1,300 oC, в зависимости от конкретной легирующей примеси и процесса.

Нагрев кремниевой пластины до высокой температуры позволяет атомам примесей медленно диффундировать через кристаллическую структуру. Примеси перемещаются через диоксид кремния медленнее, чем через сам кремний, что позволяет тонкому оксиду шаблон, служащий маской, и тем самым позволяя легирующей примеси проникать в кремний только там, где он незащищен. После накопления достаточного количества примесей пластины удаляются из печи, и диффузия фактически прекращается.

Для максимального контроля большинство диффузий выполняются в два этапа:предварительное осаждение и вбивать. Предварительное осаждение или диффузия с постоянным источником является первым этапом и происходит в печи, температура в которой выбирается для достижения наилучшего контроля количества примесей. Температура определяет растворимость легирующей примеси. После сравнительно короткой обработки перед осаждением пластина физически перемещается во вторую печь, обычно при более высокой температуре, где вторая термообработка нагнетает легирующую добавку до желаемой глубины диффузии в решетке кремниевой пластины.

Источники легирующей примеси, используемые на этапе предварительного осаждения, находятся в трех различных химических состояниях: газообразном, жидком и твердом. В таблице 5 указаны различные типы примесей диффузионного источника и их физические состояния.

Газы обычно подаются из баллонов со сжатым газом с регуляторами или регуляторами давления, запорными клапанами и различными приспособлениями для продувки и распределяются по металлическим трубкам малого диаметра.

Жидкости обычно дозируются из барботеров, которые насыщают поток газа-носителя, обычно азота, парами жидкой легирующей примеси, как описано в разделе о мокром окислении. Другой способ дозирования жидкости – использование крутиться добавка аппарат. Это влечет за собой помещение твердой легирующей примеси в раствор с жидким растворителем-носителем, затем капание раствора на пластину и вращение, аналогично нанесению фоторезистов.

Твердые источники могут иметь форму пластины нитрида бора, которая помещается между двумя пластинами кремния для легирования, а затем помещается в диффузионную печь. Кроме того, твердые примеси в виде порошка или гранул могут быть помещены в кварцевая бомба корпус (триоксид мышьяка), вручную сбрасываемый в исходный конец диффузионной трубы или загружаемый в отдельную исходную печь на одной линии с основной диффузионной печью.

При отсутствии надлежащего контроля воздействие мышьяка выше 0.01 мг/м3 сообщалось во время очистки печи для осаждения (Wade et al., 1981) и во время очистки камер корпуса источника для твердотельных ионных имплантатов (McCarthy, 1985; Baldwin, King and Scarpace, 1988). Эти воздействия произошли, когда не были приняты меры предосторожности для ограничения количества пыли в воздухе. Однако, когда остатки оставались влажными во время очистки, воздействие снижалось до намного ниже предела воздействия в воздухе.

В более старых диффузионных технологиях существует угроза безопасности при снятии, очистке и установке печных труб. Опасности включают в себя возможные порезы от разбитой кварцевой посуды и ожоги кислотой во время ручной очистки. В более новых технологиях эти опасности уменьшаются за счет на месте очистка трубки, которая устраняет большую часть ручного обращения.

Операторы диффузионных печей чаще всего подвергаются воздействию электромагнитных полей крайне низкой частоты (например, от 50 до 60 Гц) в чистых помещениях при производстве полупроводников. Сообщалось о среднем воздействии более 0.5 микротесла (5 мГс) во время фактической работы печей (Crawford et al. 1993). В этом исследовании также было отмечено, что средний измеренный уровень воздействия на персонал чистых помещений, работающий вблизи диффузионных печей, был заметно выше, чем у других работников чистых помещений. Этот вывод согласовывался с точечными измерениями, о которых сообщили Розенталь и Абдоллахзаде (1991), которые обнаружили, что диффузионные печи давали показания близости (на расстоянии 5 см или 2 дюйма) до 10–15 микротесл, при этом окружающие поля постепенно уменьшались с расстоянием. чем другое изученное оборудование для чистых помещений; даже на расстоянии 6 футов от диффузионных печей заявленная плотность потока составляла от 1.2 до 2 мкТл (Crawford et al. 1993). Эти уровни выбросов значительно ниже текущих предельных значений воздействия на здоровье, установленных Всемирной организацией здравоохранения и установленных отдельными странами.

Ионная имплантация

Ионная имплантация — это новый метод введения примесных элементов при комнатной температуре в кремниевые пластины для формирования перехода. Ионизированные атомы легирующей примеси (т. е. атомы, лишенные одного или нескольких электронов) ускоряются до высокой энергии, пропуская их через разность потенциалов в десятки тысяч вольт. В конце своего пути они ударяются о пластину и внедряются на разную глубину в зависимости от их массы и энергии. Как и при обычной диффузии, узорчатый оксидный слой или рисунок фоторезиста избирательно маскирует пластину от ионов.

Типичная система ионной имплантации состоит из ионного источника (газообразный источник легирующей примеси, обычно в небольших колбах для лекций), аналитического оборудования, ускорителя, фокусирующей линзы, ловушки нейтрального луча, технологической камеры сканера и вакуумной системы (обычно три отдельных набора встроенных форвакуумные и маслодиффузионные насосы). Поток электронов генерируется из горячей нити за счет сопротивления, дугового разряда или электронного луча с холодным катодом.

Как правило, после имплантации пластин выполняется этап высокотемпературного отжига (от 900 до 1,000°C) с помощью отжига лазерным лучом или импульсного отжига с источником электронного луча. Процесс отжига помогает восстановить повреждение внешней поверхности имплантированной пластины, вызванное бомбардировкой ионами легирующей примеси.

С появлением безопасной системы доставки газовых баллонов с арсином, фосфином и трехфтористым бором, используемых в устройствах для ионной имплантации, возможность катастрофического выброса этих газов значительно снизилась. Эти небольшие газовые баллоны заполнены соединением, на котором адсорбированы арсин, фосфин и трифторид бора. Газы вытягиваются из цилиндров с помощью вакуума.

Ионные имплантеры представляют собой одну из наиболее значительных электрических опасностей в полупроводниковой промышленности. Даже после отключения питания внутри инструмента существует значительный потенциал удара, который необходимо рассеять перед работой внутри имплантера. Для всего вновь устанавливаемого оборудования, но особенно для ионных имплантантов, требуется тщательный анализ операций по техническому обслуживанию и опасностей, связанных с электричеством.

Воздействие гидридов (вероятно, смеси арсина и фосфина) до 60 частей на миллиард было обнаружено во время технического обслуживания крионасоса устройства для ионного имплантирования (Балдуин, Рубин и Горовиц, 1993). Кроме того, высокие концентрации как арсина, так и фосфина могут выделять газы из загрязненных частей имплантата, которые удаляются во время профилактического обслуживания (Flipp, Hunsaker and Herring 1992).

Портативные пылесосы с высокоэффективными фильтрами для подавления твердых частиц (HEPA) используются для очистки загрязненных мышьяком рабочих поверхностей в зонах ионной имплантации. Воздействие свыше 1,000 мкг/м3 были измерены при неправильной очистке пылесосов HEPA. Пылесосы HEPA при выбросе в рабочее пространство также могут эффективно распространять характерный запах, похожий на гидрид, связанный с очисткой линии пучка ионного имплантанта (Балдуин, Рубин и Горовиц, 1993).

Несмотря на озабоченность, не было опубликованных отчетов о значительном воздействии легирующего газа во время замены масла в вакуумных насосах, используемых с легирующими присадками, возможно, потому, что это обычно делается в закрытой системе. Отсутствие сообщений о воздействии также может быть результатом низкого уровня газовыделения гидридов из отработанного масла.

Результат полевого исследования, в ходе которого 700 мл отработанного масла для форвакуумного насоса из устройства для ионного имплантирования, в котором использовались как арсин, так и фосфин, нагревали, показал определяемые концентрации переносимых по воздуху гидридов в головном пространстве насоса только тогда, когда температура масла в насосе превышала 70oC (Балдуин, Кинг и Скарпейс, 1988). Поскольку нормальные рабочие температуры механических форвакуумных насосов составляют от 60 до 80oC, это исследование не указало на возможность значительного воздействия.

При ионной имплантации рентгеновские лучи формируются попутно во время операции. Большинство аппаратов для имплантации имеют достаточную защиту корпуса (включая свинцовую пленку, расположенную вокруг корпуса ионного источника и прилегающих дверей доступа), чтобы поддерживать воздействие на сотрудников менее 2.5 микрозивертов (0.25 миллибэр) в час (Maletskos and Hanley 1983). Однако было обнаружено, что у старой модели имплантеров утечка рентгеновского излучения на поверхность устройства превышала 20 микрозивертов в час (мкЗв/ч) (Baldwin, King and Scarpace 1988). Эти уровни были снижены до уровня менее 2.5 мкЗв/ч после установки дополнительной свинцовой защиты. У другой старой модели ионного имплантера была обнаружена утечка рентгеновского излучения вокруг входной двери (до 15 мкЗв/ч) и в смотровом окне (до 3 мкЗв/ч). Для снижения возможного облучения была добавлена ​​дополнительная свинцовая защита (Балдуин, Рубин и Горовиц, 1993).

В дополнение к рентгеновскому облучению от ионных имплантеров была постулирована возможность образования нейтронов, если имплантер работает при напряжении выше 8 миллионов электрон-вольт (МэВ) или в качестве источника ионов используется газообразный дейтерий (Rogers 1994). Однако обычно имплантеры рассчитаны на работу при энергиях значительно ниже 8 МэВ, а дейтерий обычно не используется в промышленности (Балдуин и Уильямс, 1996).

Химическое осаждение из паровой фазы

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) включает нанесение дополнительного материала на поверхность кремниевой пластины. Установки CVD обычно работают как закрытая система, в результате чего химическое воздействие на операторов незначительно или отсутствует. Однако при очистке некоторых предварительных скрубберов CVD может произойти кратковременное воздействие хлористого водорода выше 5 частей на миллион (Baldwin and Stewart 1989). Обычно используются две широкие категории осаждения — эпитаксиальное и более общая категория неэпитаксиального CVD.

Эпитаксиальное химическое осаждение из паровой фазы

Эпитаксиальный рост представляет собой строго контролируемое осаждение тонкой монокристаллической пленки материала, который сохраняет ту же кристаллическую структуру, что и существующий слой пластины подложки. Он служит матрицей для изготовления полупроводниковых компонентов в последующих процессах диффузии. Большинство эпитаксиальных пленок выращивают на подложках из одного и того же материала, например кремния на кремнии, в процессе, называемом гомоэпитаксией. Выращивание слоев различных материалов на подложке, такой как кремний на сапфире, называется гетероэпитаксией обработки устройства ИС.

Для выращивания эпитаксиальных слоев используются три основных метода: паровая фаза, жидкая фаза и молекулярный пучок. Жидкофазная и молекулярно-лучевая эпитаксии в основном используются при обработке приборов III-V (например, GaAs). Они обсуждаются в статье «Производство полупроводников III-V».

Методом парофазной эпитаксии выращивают пленки методом CVD молекул при температуре от 900 до 1,300°С.oC. Пары, содержащие кремний и контролируемые количества примесей p- или n-типа в газе-носителе (обычно водороде), пропускают над нагретыми пластинами для осаждения легированных слоев кремния. Процесс обычно проводят при атмосферном давлении.

В таблице 6 указаны четыре основных типа парофазной эпитаксии, параметры и протекающие химические реакции.

Таблица 6. Основные категории газофазной эпитаксии кремния

параметры

Давление

атмосферный

Температура

900-1300 ° C

Источники кремния

Силан (SiH4), тетрахлорид кремния ( SiCl4), трихлорсилан (SiHCl3),
и дихлорсилан ( SiH2Cl2)

Легирующие газы

Арсин (AsH3), фосфин (PH3), диборан (B2H6)

Концентрация легирующего газа

≈100 частей на миллион

Травильный газ

Хлористый водород (HCl)

Концентрация травильного газа

≈1–4%

Газы-носители

Водород (H2), азот (Н2)

Источник отопления

Радиочастотный (RF) или инфракрасный (IR)

Типы парофазной эпитаксии

Химические реакции

Водородное восстановление тетрахлорида кремния
(1,150–1,300 ° С)

SiCl4 + 2H2 → Si + 4HCl

Пиролитическое разложение силана
(1,000–1,100 ° С)

ДаH4 → Si + 2Н2

Водородное восстановление трихлорсилана

SiHCl3 + H2 → Si + 3HCl

Восстановление дихлорсилана

ДаH2Cl2 → Si + 2HCl

 

Последовательность осаждения, обычно выполняемая в эпитаксиальном процессе, включает:

  • очистка подложки- физическую очистку, обезжиривание растворителем, кислотную очистку (серная, азотная и соляная, фтористоводородная - обычная последовательность) и операцию сушки.
  • загрузка пластин
  • разогреть- продувка азотом и нагрев примерно до 500 ° C, затем используется газообразный водород, а ВЧ-генераторы индуктивно нагревают пластины.
  • травление хлористым водородом (HCl) —обычно в камеру реактора подается HCl с концентрацией от 1 до 4%.
  • отложение— дозируется источник кремния и легирующие газы, которые осаждаются на поверхность пластины
  • остывать-газообразный водород снова переключился на азот при 500°C
  • разгрузка.

 

Неэпитаксиальное химическое осаждение из паровой фазы

В то время как эпитаксиальный рост является высокоспецифичной формой CVD, при которой осажденный слой имеет ту же ориентацию кристаллической структуры, что и слой подложки, неэпитаксиальный CVD представляет собой образование стабильного соединения на нагретой подложке в результате термической реакции или разложения газообразных соединений.

CVD можно использовать для осаждения многих материалов, но при обработке кремниевых полупроводников, помимо эпитаксиального кремния, обычно встречаются следующие материалы:

  • поликристаллический кремний (polySi)
  • диоксид кремния (SiO2- как легированные, так и нелегированные; p-легированное стекло)
  • нитрид кремния ( Si3N4).

 

Каждый из этих материалов может быть нанесен различными способами, и каждый из них имеет множество применений.

В таблице 7 указаны три основные категории сердечно-сосудистых заболеваний с использованием рабочей температуры в качестве механизма дифференциации.

Таблица 7. Основные категории химического осаждения кремния из паровой фазы (CVD)

параметры

Давление

Атмосферное (APCVD) или низкое давление (LPCVD)

Температура

500-1,100 ° C

Источники кремния и нитрида

Силан (SiH4), тетрахлорид кремния ( SiCl4), аммиак (NH3), закись азота ( N20)

Источники примеси

Арсин (AsH3), фосфин (PH3), диборан (B2H6)

Газы-носители

Азот (N2), водород (H2)

Источник отопления

Система холодных стен — радиочастотная (РЧ) или инфракрасная (ИК)
Система горячих стен — тепловое сопротивление

Тип ССЗ

реакция

Газ-носитель

Температура

Средняя температура (≈ 600–1,100 °C)

Нитрид кремния (Si3N4)

3Сих4 + 4 НХ3 → Си3N4 + 12H2

H2

900-1,100 ° C

Поликремний (поли кремний)

ДаH4 + Тепло → Si + 2H2

H2
N2

850-1,000 ° C
600-700 ° C

Диоксид кремния (SiO2)

ДаH4 + 4СО2 → SiO2 + 4СО + 2Н2O
2H2 + SiCl4 + CO2 → SiO2 + 4HCl *
ДаH4 + СО→ SiO2 + 2H2 *

N2
H2
H2

500-900 ° C
800-1,000 ° C
600-900 ° C

Низкотемпературные (≈<600 C) Silox, Pyrox, Vapox и Nitrox**

Диоксид кремния (SiO2) или p-легированный SiO2

     

Силокс

ДаH4 + 2О2 + Легирующая добавка → SiO2 + 2H2O

N2

200-500 ° C

Пирокс

ДаH4 + 2О2 + Легирующая добавка → SiO2 + 2H2O

N2

<600 ° С

Вапокс

ДаH4 + 2О2 + Легирующая добавка → SiO2 + 2H2O

N2

<600 ° С

Нитрид кремния (Si3N4)

     

Nitrox

3Сих4 + 4НХ3 (или Н2О*) → Si3N4 + 12ч2

N2

600-700 ° C

Усиленная низкотемпературная плазма (пассивация) (<600°C)

Использование радиочастот (RF) или
реактивное напыление

     

Диоксид кремния (SiO2)

ДаH4 + 2О2 → SiO2 + 2H20

   

Нитрид кремния (Si3N4)

3Сих4 + 4НХ3 (или Н2О*) → Si3N4 + 12ч2

   

* Примечание: реакции не являются стехиометрически сбалансированными.

**Общие, патентованные или товарные знаки для реакторных систем CVD.

 

Следующие компоненты присутствуют почти во всех типах оборудования CVD:

  • реакционная камера
  • газорегуляторная секция
  • контроль времени и последовательности
  • источник тепла для подложек
  • обработка стоков.

 

В основном, процесс CVD влечет за собой подачу контролируемых количеств исходных газов кремния или нитрида в сочетании с газами-носителями азота и/или водорода и легирующим газом, если это необходимо, для химической реакции в камере реактора. Тепло применяется для обеспечения необходимой энергии для химической реакции в дополнение к контролю температуры поверхности реактора и пластин. После завершения реакции непрореагировавший исходный газ вместе с газом-носителем выпускаются через систему обработки сточных вод и выбрасываются в атмосферу.

Пассивация является функциональным типом ССЗ. Он включает в себя наращивание защитного оксидного слоя на поверхности кремниевой пластины, как правило, в качестве последнего этапа изготовления перед производственной обработкой. Слой обеспечивает электрическую стабильность, изолируя поверхность интегральной схемы от электрических и химических условий окружающей среды.

Металлизация

После изготовления устройств на кремниевой подложке их необходимо соединить вместе для выполнения функций схемы. Этот процесс известен как металлизация. Металлизация обеспечивает средства проводки или соединения самых верхних слоев интегральных схем путем нанесения сложных узоров из проводящих материалов, которые направляют электрическую энергию внутри схем.

Широкий процесс металлизации дифференцируется в зависимости от размера и толщины слоев осаждаемых металлов и других материалов. Эти:

  • тонкая пленка- приблизительная толщина пленки один микрон или менее
  • толстая пленка- приблизительная толщина пленки 10 мкм или более
  • обшивка- толщина пленки варьируется от тонкой до толстой, но обычно это толстые пленки.

 

Наиболее распространенными металлами, используемыми для металлизации кремниевых полупроводников, являются: алюминий, никель, хром или сплав, называемый нихромом, золото, германий, медь, серебро, титан, вольфрам, платина и тантал.

Тонкие или толстые пленки также можно напылять или наносить на различные керамические или стеклянные подложки. Некоторые примеры этих подложек: оксид алюминия (96% Al203), бериллий (99% BeO), боросиликатное стекло, пирокерам и кварц (SiO2).

Тонкая пленка

Тонкопленочная металлизация часто применяется с использованием высоковакуумного или частичновакуумного осаждения или метода испарения. Основными типами высоковакуумного напыления являются электронно-лучевое, мгновенное и резистивное напыление, в то время как напыление в частичном вакууме осуществляется в основном распылением.

Для выполнения любого типа тонкопленочной вакуумной металлизации система обычно состоит из следующих основных компонентов:

  • камера, которую можно вакуумировать, чтобы обеспечить достаточный вакуум для осаждения
  • вакуумный насос (или насосы) для уменьшения окружающего газа в камере
  • приборы для контроля уровня вакуума и других параметров
  • способ нанесения или испарения слоев металлизирующего материала.

 

Электронно-лучевое испарениечасто называют Электронный луч, использует сфокусированный пучок электронов для нагрева материала металлизации. Пучок электронов высокой интенсивности генерируется аналогично тому, как это делается в телевизионном кинескопе. Поток электронов ускоряется электрическим полем обычно от 5 до 10 кВ и фокусируется на испаряемом материале. Сфокусированный пучок электронов плавит материал, содержащийся в водоохлаждаемом блоке с большим углублением, называемым очагом. Затем расплавленный материал испаряется внутри вакуумной камеры и конденсируется на холодных пластинах, а также на всей поверхности камеры. Затем выполняются стандартные операции фоторезиста, экспонирования, проявления и влажного или сухого травления, чтобы очертить сложную металлизированную схему.

Быстрое испарение Еще один способ нанесения тонких металлизированных пленок. Этот метод в основном используется, когда необходимо одновременно испарить смесь двух материалов (сплавов). Некоторые примеры двухкомпонентных пленок: никель/хром (нихром), монооксид хрома/кремния (SiO) и алюминий/кремний.

При мгновенном испарении керамический стержень нагревается за счет термического сопротивления, и непрерывно подаваемая катушка с проволокой, поток гранул или вибрационно распределяемый порошок контактируют с горячей нитью или стержнем. Затем испаренные металлы покрывают внутреннюю камеру и поверхности пластин.

Резистивное испарение (также известное как испарение нити) — самая простая и наименее дорогая форма осаждения. Испарение осуществляется путем постепенного увеличения тока, протекающего через нить, чтобы сначала расплавить петли испаряемого материала, тем самым смачивая нить. Как только нить смачивается, ток через нить увеличивается до тех пор, пока не произойдет испарение. Основным преимуществом резистивного испарения является широкий спектр материалов, которые можно испарять.

Работы по техническому обслуживанию иногда выполняются на внутренней поверхности камер осаждения электронно-лучевого испарителя, называемых колпаками. Когда головы специалистов по техническому обслуживанию находятся внутри колпаков, может произойти значительное облучение. Удаление металлических остатков, которые оседают на внутренней поверхности колпаков, может привести к таким воздействиям. Например, воздействие на техников, намного превышающее предел воздействия серебра в воздухе, было измерено во время удаления остатков из испарителя, используемого для осаждения серебра (Baldwin and Stewart 1989).

Очистка остатков колпака с помощью органических чистящих растворителей также может привести к сильному воздействию растворителей. Во время этого типа очистки технический персонал подвергался воздействию метанола выше 250 частей на миллион. Это воздействие можно устранить, используя воду в качестве чистящего растворителя вместо метанола (Балдуин и Стюарт, 1989).

Ассоциация напыление процесс происходит в газовой атмосфере низкого давления или частичного вакуума с использованием либо постоянного электрического тока (постоянный ток, или катодное напыление), либо высокочастотного напряжения в качестве источника высокой энергии. При распылении ионы инертного газа аргона вводятся в вакуумную камеру после достижения удовлетворительного уровня вакуума с помощью форвакуумного насоса. Электрическое поле формируется путем подачи высокого напряжения, обычно 5,000 В, между двумя противоположно заряженными пластинами. Этот высокоэнергетический разряд ионизирует атомы газообразного аргона и заставляет их двигаться и ускоряться к одной из пластин в камере, называемой мишенью. Когда ионы аргона ударяются о мишень, изготовленную из осаждаемого материала, они смещают или распыляют эти атомы или молекулы. Выбитые атомы металлизирующего материала затем осаждаются тонкой пленкой на кремниевых подложках, обращенных к мишени.

Было обнаружено, что утечка радиочастотного излучения сбоку и сзади на многих старых распылительных установках превышает допустимый предел воздействия на рабочем месте (Болдуин и Стюарт, 1989). Большая часть утечек была связана с трещинами в шкафах, вызванными неоднократным снятием ремонтных панелей. В более новых моделях того же производителя панели с проволочной сеткой вдоль швов предотвращают значительные утечки. Старые напылители можно дооснастить проволочной сеткой или, в качестве альтернативы, можно использовать медную ленту для покрытия швов, чтобы уменьшить утечку.

Толстая пленка

Структура и размеры большинства толстых пленок несовместимы с металлизацией кремниевых интегральных схем, в первую очередь из-за ограничений по размеру. Толстые пленки используются в основном для металлизации гибридных электронных структур, например, при производстве ЖК-дисплеев.

Процесс шелкографии является доминирующим методом нанесения толстой пленки. Обычно используемыми толстопленочными материалами являются палладий, серебро, диоксид титана и стекло, золото-платина и стекло, золото-стекло и серебро-стекло.

Толстые резистивные пленки обычно наносятся на керамическую подложку и формируются с помощью технологии шелкографии. металлокерамика представляет собой резистивную толстую пленку, состоящую из суспензии проводящих металлических частиц в керамической матрице с органической смолой в качестве наполнителя. Типичные металлокерамические структуры состоят из оксида хрома, серебра или свинца в матрице из монооксида или диоксида кремния.

Обшивка

При формировании металлических пленок на полупроводниковых подложках используются два основных метода нанесения покрытий: гальваническое и химическое осаждение.

In гальванопокрытиеПокрываемая подложка помещается на катод или отрицательно заряженную клемму гальванического резервуара и погружается в раствор электролита. Электрод из покрываемого металла служит анодом или положительно заряженным выводом. При пропускании через раствор постоянного тока положительно заряженные ионы металлов, которые растворяются в растворе с анода, мигрируют и оседают на катоде (подложке). Этот метод покрытия используется для формирования проводящих пленок из золота или меди.

In электроосаждение, одновременное восстановление и окисление металла, подлежащего покрытию, используется для образования свободного атома или молекулы металла. Поскольку этот метод не требует электропроводности в процессе нанесения покрытия, его можно использовать с подложками изолирующего типа. Никель, медь и золото являются наиболее распространенными металлами, наносимыми таким образом.

Легирование/отжиг

После осаждения и травления металлизированных межсоединений можно выполнить последний этап легирования и отжига. Легирование заключается в помещении металлизированных подложек, обычно с алюминием, в низкотемпературную диффузионную печь, чтобы обеспечить контакт с низким сопротивлением между металлическим алюминием и кремниевой подложкой. Наконец, либо во время стадии сплавления, либо непосредственно после нее пластины часто подвергают воздействию газовой смеси, содержащей водород, в диффузионной печи при температуре от 400 до 500°C. Этап отжига предназначен для оптимизации и стабилизации характеристик устройства путем объединения водорода с незадействованными атомами на границе раздела кремний-диоксид кремния или вблизи нее.

Облицовка и металлизация тыльной стороны

Существует также необязательный этап обработки металлизацией, называемый обратным наплавом. Задняя сторона пластины может быть притерта или отшлифована с использованием влажного абразивного раствора и давления. Металл, такой как золото, может быть нанесен на обратную сторону пластины путем напыления. Это облегчает крепление отделенной матрицы к упаковке при окончательной сборке.

Сборка и тестирование

Непроизводственная обработка, которая включает в себя внешнюю упаковку, крепления, герметизацию, сборку и испытания, обычно выполняется на отдельных производственных объектах и ​​часто выполняется в странах Юго-Восточной Азии, где выполнение этих трудоемких работ менее затратно. Кроме того, требования к вентиляции для технологического процесса и контроля твердых частиц, как правило, различны (не чистые помещения) в непроизводственных производственных зонах. Эти заключительные этапы производственного процесса включают в себя операции, включающие пайку, обезжиривание, испытания с использованием химикатов и источников излучения, а также обрезку и маркировку с помощью лазеров.

Пайка при производстве полупроводников обычно не приводит к сильному воздействию свинца. Чтобы предотвратить тепловое повреждение интегральной схемы, температура припоя поддерживается ниже температуры, при которой может произойти значительное образование паров расплавленного свинца (430°C). Однако очистка паяльного оборудования путем соскабливания или очистки щеткой от остатков свинца может привести к воздействию свинца выше 50 мкг/м.3 (Болдуин и Стюарт, 1989). Кроме того, воздействие свинца 200 мкг/м3 имели место, когда во время операций пайки волной припоя использовались неправильные методы удаления окалины (Болдуин и Уильямс, 1996).

Одной из растущих проблем, связанных с операциями пайки, является раздражение дыхательных путей и астма из-за воздействия продуктов пиролиза флюсов припоя, особенно во время ручной пайки или операций подкраски, где исторически местная вытяжная вентиляция обычно не использовалась (в отличие от операций пайки волной припоя, которые последние несколько десятилетий обычно заключали в вытяжные шкафы) (Goh and Ng 1987). Подробнее читайте в статье «Печатная плата и сборка компьютера».

Поскольку канифоль в флюсе припоя является сенсибилизатором, все воздействия должны быть снижены до минимума, независимо от результатов отбора проб воздуха. Новые установки для пайки особенно должны иметь местную вытяжную вентиляцию, когда пайка должна выполняться в течение длительного периода времени (например, более 2 часов).

Пары от ручной пайки будут подниматься вертикально на тепловых потоках, попадая в зону дыхания работника, когда человек наклоняется над местом пайки. Контроль обычно достигается с помощью эффективной местной вытяжной вентиляции с высокой скоростью и малым объемом на наконечнике припоя.

Устройства, которые возвращают отфильтрованный воздух на рабочее место, могут, если эффективность фильтрации недостаточна, вызвать вторичное загрязнение, которое может повлиять на людей в рабочем помещении, кроме тех, кто занимается пайкой. Отфильтрованный воздух не должен возвращаться в рабочее помещение, за исключением случаев, когда объем пайки невелик и в помещении имеется хорошая общая вентиляция.

Сортировка и испытание вафель

После того, как изготовление пластины завершено, каждая полностью готовая пластина проходит процесс сортировки пластин, при котором интегральные схемы на каждой конкретной матрице электрически тестируются с помощью зондов, управляемых компьютером. Отдельная пластина может содержать от ста до многих сотен отдельных кристаллов или чипов, которые необходимо протестировать. После завершения испытаний штампы физически маркируются однокомпонентной эпоксидной смолой, дозируемой автоматически. Красный и синий используются для идентификации и сортировки кристаллов, которые не соответствуют требуемым электрическим характеристикам.

Разделение штампов

Когда устройства или схемы на пластине протестированы, промаркированы и отсортированы, отдельные кристаллы на пластине должны быть физически разделены. Для разделения отдельных штампов был разработан ряд методов: алмазная скрайбировка, лазерная скрайбировка и распиловка алмазным кругом.

Алмазное скрайбирование является старейшим используемым методом и включает в себя нанесение алмазного наконечника точной формы на пластину вдоль линии или «улицы», разделяющей отдельные штампы на поверхности пластины. Несовершенство кристаллической структуры, вызванное скрайбированием, позволяет пластине изгибаться и ломаться вдоль этой линии.

Лазерное скрайбирование — относительно новый метод разделения штампов. Лазерный луч генерируется импульсным мощным неодим-иттриевым лазером. Луч создает канавку в кремниевой пластине вдоль линий разметки. Канавка служит линией, по которой пластина ломается.

Широко используемый метод разделения штампов — мокрая распиловка — резка подложек вдоль улицы с помощью высокоскоростной циркулярной алмазной пилы. Пиление может либо частично прорезать (разметить), либо полностью прорезать (нарезать кубиками) кремниевую подложку. При распиловке образуется влажная суспензия материала, убираемого с улицы.

Die прикрепить и склеить

Индивидуальная матрица или чип должны быть прикреплены к несущей упаковке и металлической выводной рамке. Носители обычно изготавливаются из изоляционного материала, керамики или пластика. Керамические материалы-носители обычно изготавливаются из оксида алюминия (Al2O3), но, возможно, может состоять из бериллия (BeO) или стеатита (MgO-SiO2). Пластиковые носители представляют собой термопластичные или термореактивные смолы.

Крепление отдельной матрицы обычно осуществляется с помощью одного из трех различных типов крепления: эвтектического, преформного и эпоксидного. Эвтектическое крепление матрицы включает использование эвтектического припоя, такого как золото-кремний. В этом методе слой металлического золота предварительно наносится на заднюю сторону штампа. При нагревании пакета выше температуры эвтектики (370°C для золота и кремния) и размещении на нем штампа образуется связь между штампом и корпусом.

Склеивание преформы предполагает использование небольшого кусочка специального композиционного материала, который будет прилипать как к штампу, так и к упаковке. Преформу помещают на место прикрепления штампа к упаковке и дают расплавиться. Затем матрицу протирают по всей области до тех пор, пока матрица не будет прикреплена, а затем упаковка охлаждается.

Эпоксидное соединение предполагает использование эпоксидного клея для прикрепления штампа к корпусу. На упаковку наносится капля эпоксидной смолы, а поверх нее кладется штамп. Возможно, упаковку придется запекать при повышенной температуре, чтобы эпоксидная смола застыла должным образом.

Как только кристалл физически прикреплен к корпусу, необходимо обеспечить электрические соединения между интегральной схемой и выводами корпуса. Это достигается с помощью методов термокомпрессии, ультразвукового или термозвукового соединения для прикрепления золотых или алюминиевых проводов между контактными областями на кремниевом чипе и выводами корпуса.

Термокомпрессионное соединение часто используется с золотой проволокой и включает нагрев корпуса примерно до 300°С.oC и формирование связи между проволокой и контактными площадками с использованием как тепла, так и давления. Используются два основных типа термокомпрессионного соединения:склеивание шариков и клиновое соединение. Связывание шариков, которое используется только с золотой проволокой, подает проволоку через капиллярную трубку, сжимает ее, а затем водородное пламя плавит проволоку. Кроме того, это формирует новый шарик на конце провода для следующего цикла склеивания. При клиновидном склеивании используется клиновидный инструмент для склеивания и микроскоп, используемые для точного позиционирования кремниевого чипа и корпуса на контактной площадке. Процесс проводят в инертной атмосфере.

Ультразвуковое склеивание использует импульс ультразвуковой высокочастотной энергии, чтобы обеспечить чистящее действие, которое формирует связь между проволокой и контактной площадкой. Ультразвуковое соединение в основном используется с алюминиевой проволокой и часто предпочтительнее термокомпрессионного соединения, поскольку оно не требует нагрева микросхемы во время операции соединения.

Термозвуковое склеивание - это недавнее технологическое изменение в скреплении золотой проволокой. Он включает использование комбинации ультразвуковой и тепловой энергии и требует меньше тепла, чем термокомпрессионное соединение.

Инкапсуляция

Основная цель инкапсуляции состоит в том, чтобы поместить интегральную схему в корпус, отвечающий электрическим, термическим, химическим и физическим требованиям, связанным с применением интегральной схемы.

Наиболее широко используемыми типами корпусов являются корпус с радиальным выводом, плоский пакет и корпус с двумя рядами (DIP). Упаковки радиального типа в основном изготавливаются из ковара, сплава железа, никеля и кобальта, с уплотнениями из твердого стекла и коварными выводами. В плоских упаковках используются металлосвинцовые рамы, обычно изготовленные из алюминиевого сплава в сочетании с керамическими, стеклянными и металлическими компонентами. Двухрядные упаковки, как правило, являются наиболее распространенными и часто используют керамику или формованные пластмассы.

Формованные пластиковые полупроводниковые корпуса в основном производятся двумя отдельными процессами:трансферное литье и литье под давлением. Трансферное формование является преобладающим методом герметизации пластмасс. В этом методе щепа устанавливается на необрезанные свинцовые рамы, а затем партиями загружается в формы. Порошкообразные или гранулированные формы термореактивных пластиковых формовочных масс плавятся в нагретом котле, а затем нагнетаются (перемещаются) под давлением в загруженные формы. Системы формовочных масс в форме порошка или гранул могут использоваться на эпоксидных, силиконовых или силиконовых/эпоксидных смолах. Система обычно состоит из смеси:

  • термореактивные смолы—эпоксидная смола, силикон или силикон/эпоксидная смола
  • отвердители— эпоксидные новолаки и эпоксидные ангидриды
  • наполнители- плавленый или кристаллический диоксид кремния (SiO2) и оксид алюминия ( Al2O3), обычно 50-70% по весу
  • огнестойкий материал– триоксид сурьмы (Sb2O3) обычно 1-5% по массе.

 

При литье под давлением используется либо термопластичный, либо термореактивный состав для литья под давлением, который нагревается до точки плавления в цилиндре при контролируемой температуре и под давлением через сопло подается в форму. Смола быстро затвердевает, форма открывается, и упаковка выталкивается. В литье под давлением используется широкий спектр пластиковых компаундов, причем эпоксидные и полифениленсульфидные (PPS) смолы являются новейшими разработками в области герметизации полупроводников.

Окончательная упаковка кремниевого полупроводникового устройства классифицируется в соответствии с его устойчивостью к утечке или способностью изолировать интегральную схему от окружающей среды. Они бывают герметичными (воздухонепроницаемыми) и негерметичными.

Проверка на герметичность и сжигание

Тестирование на утечку это процедура, разработанная для проверки фактической герметизирующей способности или герметичности упакованного устройства. Используются две распространенные формы проверки на утечку: обнаружение утечки гелия и обнаружение утечки радиоактивного индикатора.

При обнаружении утечек гелия готовые упаковки помещаются в атмосферу с давлением гелия на определенный период времени. Гелий способен проникать сквозь несовершенства упаковки. После извлечения из камеры наддува гелия пакет переносится в камеру масс-спектрометра и проверяется на утечку гелия из дефектов пакета.

Во втором методе гелий заменяют радиоактивным индикаторным газом, обычно криптоном-85 (Kr-85), и измеряют вытекание радиоактивного газа из упаковки. В нормальных условиях облучение персонала в результате этого процесса составляет менее 5 миллизивертов (500 миллибэр) в год (Балдуин и Стюарт, 1989). Элементы управления для этих систем обычно включают:

  • изоляция в помещениях с доступом только для необходимого персонала
  • вывесили таблички с предупреждением о радиации на дверях помещений с Кр-85
  • непрерывные радиационные мониторы с сигнализацией и автоматическим отключением/изоляцией
  • специальная вытяжная система и помещение с отрицательным давлением
  • мониторинг облучения с помощью индивидуальной дозиметрии (например, значки радиационной пленки)
  • регулярное техническое обслуживание сигнализаций и блокировок
  • регулярные проверки на утечку радиоактивных материалов
  • инструктаж по технике безопасности для операторов и техников
  • обеспечение радиационного облучения на разумно достижимом низком уровне (ALARA).

 

Кроме того, материалы, вступающие в контакт с Kr-85 (например, открытые микросхемы, отработанное насосное масло, клапаны и уплотнительные кольца), проверяются, чтобы убедиться, что они не излучают чрезмерных уровней радиации из-за остаточного газа в них, прежде чем они будут удалены из контролируемая территория. Leach-Marshal (1991) предоставляет подробную информацию о воздействии и контроле от систем обнаружения утечек Kr-85.

Записать в представляет собой температурную и электрическую нагрузку для определения надежности конечного упакованного устройства. Устройства помещают в печь с регулируемой температурой на продолжительный период времени, используя либо атмосферу окружающей среды, либо инертную атмосферу азота. Температуры колеблются от 125°C до 200°C (в среднем 150°C), а периоды времени от нескольких часов до 1,000 часов (в среднем 48 часов).

Финальный тест

Для окончательной характеристики производительности упакованного кремниевого полупроводникового устройства проводится окончательное электрическое испытание. Из-за большого количества и сложности необходимых тестов компьютер выполняет и оценивает тестирование многочисленных параметров, важных для конечного функционирования устройства.

Отметить и упаковать

Физическая идентификация конечного упакованного устройства осуществляется с помощью различных систем маркировки. Двумя основными категориями маркировки компонентов являются контактная и бесконтактная печать. Контактная печать обычно включает ротационную офсетную технику с использованием красок на основе растворителей. Бесконтактная печать, при которой маркировка переносится без физического контакта, включает струйную печать или тонерную печать с использованием чернил на основе растворителей или лазерную маркировку.

Растворители, используемые в качестве носителя для печатных красок и в качестве предварительного очистителя, обычно состоят из смеси спиртов (этанол) и сложных эфиров (этилацетат). В большинстве систем маркировки компонентов, кроме лазерной маркировки, используются чернила, которые требуют дополнительного этапа для закрепления или отверждения. Этими методами отверждения являются воздушное отверждение, тепловое отверждение (тепловое или инфракрасное) и ультрафиолетовое отверждение. Краски ультрафиолетового отверждения не содержат растворителей.

Системы лазерной маркировки используют мощный диоксид углерода (CO2) лазер или мощный неодимовый: иттриевый лазер. Эти лазеры обычно встроены в оборудование и имеют блокируемые шкафы, ограничивающие путь луча и точку, в которой луч касается цели. Это устраняет опасность лазерного луча при нормальной работе, но возникает проблема, когда блокировка безопасности отключена. Наиболее распространенной операцией, при которой необходимо снять ограждения луча и отключить блокировки, является юстировка лазерного луча.

Во время этих операций по техническому обслуживанию помещение, в котором находится лазер, в идеале должно быть эвакуировано, за исключением необходимого технического персонала, при этом двери в помещение должны быть заперты и вывешены соответствующие знаки безопасности при работе с лазером. Однако мощные лазеры, используемые в производстве полупроводников, часто располагаются на больших открытых производственных площадях, что делает непрактичным перемещение необслуживающего персонала во время технического обслуживания. Для таких ситуаций обычно устанавливается временная зона контроля. Обычно эти зоны контроля состоят из лазерных завес или сварочных экранов, способных противостоять прямому контакту с лазерным лучом. Вход во временную зону управления обычно осуществляется через вход в лабиринт, который вывешивается с предупреждающим знаком всякий раз, когда блокировка лазера не работает. Другие меры предосторожности при юстировке луча аналогичны тем, которые требуются при работе с мощным лазером с открытым лучом (например, обучение, защита глаз, письменные процедуры и т. д.).

Мощные лазеры также представляют собой одну из наиболее значительных электрических опасностей в полупроводниковой промышленности. Даже после отключения питания внутри инструмента существует значительный потенциал удара, который необходимо рассеять перед работой внутри шкафа.

Наряду с опасностью луча и опасностью поражения электрическим током следует также соблюдать осторожность при обслуживании систем лазерной маркировки из-за возможности химического загрязнения огнестойкими триоксидом сурьмы и бериллием (керамические упаковки, содержащие это соединение, будут маркированы). Во время маркировки мощными лазерами может образовываться дым, оседающий на поверхностях оборудования и фильтрах дымоудаления.

В прошлом обезжириватели использовались для очистки полупроводников перед нанесением на них идентификационных кодов. Воздействие растворителя, превышающее применимый предел воздействия переносимого по воздуху на рабочем месте, может легко произойти, если голова оператора находится под охлаждающими змеевиками, которые вызывают повторную конденсацию паров, как это может произойти, когда оператор пытается поднять упавшие детали или когда техник очищает остатки со дна единица (Болдуин и Стюарт, 1989). Использование обезжиривающих средств в полупроводниковой промышленности значительно сократилось из-за ограничений на использование озоноразрушающих веществ, таких как хлорфторуглероды и хлорсодержащие растворители.

Анализ отказов и обеспечение качества

Лаборатории анализа отказов и качества обычно выполняют различные операции, используемые для обеспечения надежности устройств. Некоторые из операций, выполняемых в этих лабораториях, представляют потенциальную опасность для сотрудников. К ним относятся:

  • Маркировочные тесты использование различных растворителей и агрессивных смесей в нагреваемых стаканах на плитах. Местная вытяжная вентиляция (LEV) в виде металлического колпака с адекватными скоростями потока необходима для контроля летучих выбросов. Растворы моноэтаноламина могут привести к воздействию, превышающему его предел воздействия в воздухе (Baldwin and Williams 1996).
  • проверка на пузыри/утечки использование высокомолекулярных фторуглеродов (торговое название Fluorinerts)
  • рентгеновские упаковочные единицы.

 

Кобальт-60 (до 26,000 5 кюри) используется в облучателях для проверки способности ИС выдерживать воздействие гамма-излучения в военных и космических приложениях. В нормальных условиях облучение персонала в результате этой операции составляет менее 500 миллизивертов (1989 миллибэр) в год (Балдуин и Стюарт, 85 г.). Элементы управления для этой несколько специализированной операции аналогичны тем, которые используются для систем с малыми утечками Кр-XNUMX (например, изолированное помещение, непрерывные радиационные мониторы, контроль облучения персонала и т. д.).

Малые источники альфа-излучения со «специальной лицензией» (например, микро- и милликюри америция-241) используются в процессе анализа отказов. Эти источники покрыты тонким защитным покрытием, называемым окном, которое позволяет испускать альфа-частицы из источника для проверки способности интегральной схемы работать при бомбардировке альфа-частицами. Обычно источники периодически проверяют (например, раз в полгода) на утечку радиоактивного материала, которая может произойти, если защитное окно повреждено. Любая обнаруживаемая утечка обычно приводит к удалению источника и отправке его обратно производителю.

Кабинетные рентгеновские системы используются для проверки толщины металлических покрытий и выявления дефектов (например, пузырьков воздуха в пакетах пресс-форм). Несмотря на то, что они не являются значительным источником утечек, эти устройства обычно проверяют на периодической основе (например, ежегодно) с помощью ручного измерительного прибора на наличие утечек рентгеновского излучения и проверяют, чтобы убедиться, что дверные замки работают должным образом.

Доставка и оплата

Доставка является конечной точкой участия большинства производителей кремниевых полупроводниковых устройств. Торговые производители полупроводников продают свою продукцию другим производителям конечной продукции, в то время как несвободные производители используют устройства для производства своей собственной конечной продукции.

Исследование здоровья

На каждом этапе процесса используется определенный набор химикатов и инструментов, что приводит к определенным проблемам EHS. В дополнение к опасениям, связанным со специфическими этапами обработки кремниевых полупроводниковых устройств, в эпидемиологическом исследовании изучались последствия для здоровья работников полупроводниковой промышленности (Schenker et al., 1992). См. также обсуждение в статье «Влияние на здоровье и закономерности заболевания».

Основной вывод исследования заключался в том, что работа на предприятиях по производству полупроводников связана с повышенным уровнем самопроизвольных абортов (САБ). В историческом компоненте исследования количество изучаемых беременностей у производственных и непроизводственных работников было примерно равным (447 и 444 соответственно), но самопроизвольных абортов у производственных (n=67) было больше, чем у непроизводственных (n=46). . С поправкой на различные факторы, которые могли вызвать систематическую ошибку (возраст, этническая принадлежность, курение, стресс, социально-экономический статус и история беременности), относительный риск (RR) выдумки против невыдумки составил 1.43 (95% доверительный интервал = 0.95-2.09). .

Исследователи связали повышенный уровень SAB с воздействием определенных эфиров гликоля на основе этилена (EGE), используемых в производстве полупроводников. Конкретные эфиры гликоля, которые участвовали в исследовании и которые подозреваются в неблагоприятном воздействии на репродуктивную функцию, включают:

  • 2-метоксиэтанол (CAS 109-86-4)
  • 2-метоксиэтилацетат (CAS 110-49-6)
  • 2-этоксиэтилацетат (CAS 111-15-9).

 

Хотя это и не является частью исследования, два других эфира гликоля, используемые в промышленности, 2-этоксиэтанол (CAS 110-80-5) и диметиловый эфир диэтиленгликоля (CAS 111-96-6), обладают аналогичными токсическими эффектами и были запрещены некоторыми производителей полупроводников.

В дополнение к повышенному уровню SAB, связанному с воздействием определенных эфиров гликоля, исследование также пришло к выводу:

  • Непоследовательная связь существовала для воздействия фтора (при травлении) и SAB.
  • Самооценка стресса была сильным независимым фактором риска САБ среди женщин, работающих на производственных участках.
  • Женщинам, работающим в производственной сфере, потребовалось больше времени, чтобы забеременеть, по сравнению с женщинами, не работающими в производственной сфере.
  • Увеличение респираторных симптомов (раздражение глаз, носа и горла и свистящее дыхание) наблюдалось у производственных рабочих по сравнению с рабочими, не занятыми на производстве.
  • Скелетно-мышечные симптомы дистальных отделов верхних конечностей, такие как боль в кистях, запястьях, локтях и предплечьях, были связаны с работой в производственной комнате.
  • Дерматит и выпадение волос (алопеция) чаще регистрировались среди производственных рабочих, чем среди непроизводственных рабочих.

 

Обзор оборудования

Сложность оборудования для производства полупроводников в сочетании с постоянным совершенствованием производственных процессов делает проверку нового технологического оборудования перед установкой важной для минимизации рисков EHS. Два процесса проверки оборудования помогают гарантировать, что новое полупроводниковое технологическое оборудование будет иметь соответствующие средства контроля EHS: маркировка CE и стандарты Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI).

Маркировка CE является заявлением производителя о том, что маркированное таким образом оборудование соответствует требованиям всех применимых директив Европейского Союза (ЕС). Для оборудования для производства полупроводников наиболее применимыми считаются Директива по машинному оборудованию (MD), Директива по электромагнитной совместимости (EMC) и Директива по низкому напряжению (LVD).

В случае Директивы по электромагнитной совместимости необходимо привлечь компетентный орган (организацию, официально уполномоченную государством-членом ЕС) для определения требований к тестированию и утверждения результатов проверки. MD и LVD могут быть оценены либо производителем, либо нотифицированным органом (организацией, официально уполномоченной государством-членом ЕС). Независимо от выбранного пути (самооценка или третья сторона) именно зарегистрированный импортер несет ответственность за то, чтобы импортируемый продукт имел маркировку СЕ. Они могут использовать информацию третьих лиц или результаты собственной оценки в качестве основания для своей уверенности в том, что оборудование соответствует требованиям применимых директив, но, в конечном счете, они сами подготовят декларацию о соответствии и нанесут маркировку СЕ.

Semiconductor Equipment and Materials International — международная торговая ассоциация, представляющая поставщиков полупроводникового и плоскопанельного оборудования и материалов. Среди ее направлений деятельности — разработка добровольных технических стандартов, которые представляют собой соглашения между поставщиками и покупателями, направленные на повышение качества и надежности продукции при разумной цене и стабильных поставках.

Два стандарта SEMI, которые специально применяются к проблемам EHS для нового оборудования, — это SEMI S2 и SEMI S8. СЕМИ С2-93, Правила техники безопасности для оборудования для производства полупроводников, представляет собой минимальный набор рекомендаций по EHS, основанных на производительности, для оборудования, используемого в производстве полупроводников. ПОЛУ С8-95, Руководство пользователя по эргономическим критериям успеха для поставщиков, расширяет раздел эргономики в SEMI S2.

Многие производители полупроводников требуют, чтобы новое оборудование было сертифицировано третьей стороной как отвечающее требованиям SEMI S2. Рекомендации по интерпретации SEMI S2-93 и SEMI S8-95 содержатся в публикации отраслевого консорциума SEMATECH (SEMATECH 1996). Дополнительная информация о SEMI доступна во всемирной сети (http://www.semi.org).

Химическая обработка

Дозирование жидкости

Благодаря тому, что автоматизированные системы дозирования химикатов стали правилом, а не исключением, количество химических ожогов у сотрудников снизилось. Однако в этих автоматизированных системах дозирования химикатов должны быть установлены надлежащие меры безопасности. К ним относятся:

  • обнаружение утечек и автоматическое отключение на источнике подачи и в распределительных коробках
  • двойная изоляция линий, если химическое вещество считается опасным материалом
  • датчики высокого уровня на конечных точках (ванна или емкость для инструментов)
  • отключение насоса по времени (позволяет перекачивать в определенное место только определенное количество воды, прежде чем он автоматически отключится).

Раздача газа

Безопасность газораспределения значительно улучшилась за последние годы с появлением новых типов клапанов для баллонов, дроссельных отверстий, встроенных в баллон, автоматических панелей продувки газа, обнаружения и отключения при высокой скорости потока, а также более сложного оборудования для обнаружения утечек. Из-за своих пирофорных свойств и широкого использования в качестве исходного сырья силановый газ представляет наибольшую взрывоопасность в промышленности. Однако инциденты, связанные с газообразным силаном, стали более предсказуемыми благодаря новым исследованиям, проведенным Factory Mutual и SEMATECH. Благодаря правильно подобранным дроссельным отверстиям (RFO), давлению нагнетания и скорости вентиляции большинство взрывоопасных ситуаций было устранено (SEMATECH 1995).

В последние годы произошло несколько инцидентов, связанных с безопасностью, из-за неконтролируемого смешивания несовместимых газов. Из-за этих инцидентов производители полупроводников часто пересматривают установки газовых линий и ящики для инструментального газа, чтобы исключить неправильное смешивание и / или обратный поток газов.

Химические проблемы обычно вызывают наибольшие опасения в производстве полупроводников. Однако большинство травм и смертей в отрасли являются результатом нехимических опасностей.

Электрическая безопасность

Существует множество электрических опасностей, связанных с оборудованием, используемым в этой отрасли. Защитные блокировки играют важную роль в обеспечении электробезопасности, но специалисты по техническому обслуживанию часто отключают эти блокировки. Значительный объем работ по техническому обслуживанию обычно выполняется, когда оборудование все еще находится под напряжением или только частично обесточено. Наиболее значительные электрические опасности связаны с ионными имплантатами и источниками питания лазеров. Даже после отключения питания в инструменте существует значительный потенциал удара, который необходимо рассеять перед работой внутри инструмента. Процесс проверки SEMI S2 в Соединенных Штатах и ​​маркировка CE в Европе помогли улучшить электрическую безопасность нового оборудования, но операции по техническому обслуживанию не всегда учитываются должным образом. Для всего вновь установленного оборудования необходимо тщательно изучить операции по техническому обслуживанию и опасности поражения электрическим током.

Вторым в списке опасности поражения электрическим током является комплект оборудования, генерирующего радиочастотную энергию в процессах травления, напыления и очистки камеры. Надлежащее экранирование и заземление необходимы для сведения к минимуму риска радиочастотных ожогов.

Эти опасности поражения электрическим током и многие инструменты, не отключаемые во время операций по техническому обслуживанию, требуют, чтобы техники по техническому обслуживанию использовали другие средства для своей защиты, такие как процедуры блокировки/маркировки. Опасности поражения электрическим током — не единственные источники энергии, для которых предусмотрена блокировка/маркировка. Другие источники энергии включают линии под давлением, многие из которых содержат опасные газы или жидкости, а также пневматические средства управления. Разъединители для управления этими источниками энергии должны находиться в легкодоступном месте — в потрясающий (изготовление) или место погони, где сотрудник будет работать, а не в неудобных местах, таких как субфабрики.

Эргономика

Взаимодействие между работником и инструментом продолжает вызывать травмы. Мышечные напряжения и растяжения довольно распространены в полупроводниковой промышленности, особенно среди специалистов по техническому обслуживанию. Доступ к насосам, крышкам камер и т. д. часто плохо спроектирован во время изготовления инструмента и во время размещения инструмента на производстве. Насосы должны быть на колесах или помещены в выдвижные ящики или поддоны. Подъемные устройства должны быть включены для многих операций.

Простое обращение с пластинами создает эргономические риски, особенно на старых предприятиях. В более новых установках обычно используются пластины большего размера, и поэтому требуется больше автоматизированных систем обработки. Многие из этих систем обработки пластин считаются роботизированными устройствами, и вопросы безопасности, связанные с этими системами, должны учитываться при их проектировании и установке (ANSI 1986).

Пожарная Безопасность

В дополнение к газообразному силану, о котором уже говорилось, газообразный водород потенциально может представлять значительную пожароопасность. Тем не менее, он лучше изучен, и в отрасли не возникло многих серьезных проблем, связанных с водородом.

Наиболее серьезная пожароопасность сейчас связана с мокрые палубы или травильные ванны. Типичные пластиковые конструкционные материалы (поливинилхлорид, полипропилен и огнестойкий полипропилен) были задействованы в производстве. пожары. Источником воспламенения может быть нагреватель ванны травления или гальванического покрытия, электрическое управление, установленное непосредственно на пластике, или соседний инструмент. Если с одним из этих пластиковых инструментов возникает пожар, частицы загрязнения и коррозионно-активные продукты горения распространяются по всей фабрике. Экономические потери высоки из-за простоя фабрики, в то время как площадь и оборудование возвращаются к стандартам чистых помещений. Часто какое-то дорогостоящее оборудование невозможно должным образом обеззаразить, и приходится приобретать новое оборудование. Таким образом, надлежащая профилактика пожаров и противопожарная защита имеют решающее значение.

Противопожарную защиту можно решить с помощью различных негорючих строительных материалов. Нержавеющая сталь является предпочтительным конструкционным материалом для этих мокрых настилов, но часто процесс «не принимает» металлический инструмент. Пластмассы с меньшим потенциалом воспламенения/задымления существуют, но еще не были должным образом протестированы, чтобы определить, будут ли они совместимы с процессами производства полупроводников.

В целях противопожарной защиты эти инструменты должны быть защищены беспрепятственной спринклерной защитой. Размещение фильтров HEPA над влажными скамейками часто блокирует спринклерные головки. В этом случае под фильтрами устанавливаются дополнительные спринклерные головки. Многие компании также требуют, чтобы система обнаружения и тушения пожара была установлена ​​внутри полостей этих инструментов, где возникает много пожаров.

 

Назад

Суббота, Апрель 02 2011 18: 39

Жидкокристаллические дисплеи

Жидкокристаллические дисплеи (ЖК-дисплеи) коммерчески доступны с 1970-х годов. Они обычно используются в часах, калькуляторах, радиоприемниках и других продуктах, требующих индикаторов и трех или четырех буквенно-цифровых символов. Недавние усовершенствования жидкокристаллических материалов позволяют производить большие дисплеи. Хотя ЖК-дисплеи составляют лишь небольшую часть полупроводниковой промышленности, их значение возросло с их использованием в плоских дисплеях для портативных компьютеров, очень легких портативных компьютеров и специализированных текстовых процессоров. Ожидается, что важность ЖК-дисплеев будет продолжать расти, поскольку они в конечном итоге заменят последнюю электронную лампу, обычно используемую в электронике, — электронно-лучевую трубку (ЭЛТ) (O'Mara 1993).

Производство ЖК-дисплеев является очень специализированным процессом. Результаты мониторинга промышленной гигиены указывают на очень низкие уровни переносимых по воздуху загрязняющих веществ для различных отслеживаемых воздействий растворителей (Wade et al. 1981). В целом, количество используемых токсичных, коррозионных и легковоспламеняющихся твердых, жидких и газообразных химических веществ и опасных физических веществ ограничено по сравнению с другими видами производства полупроводников.

Жидкокристаллические материалы представляют собой стержнеобразные молекулы, примером которых являются молекулы цианобифенила, показанные на рисунке 1. Эти молекулы обладают свойством вращать направление прохождения поляризованного света. Хотя молекулы прозрачны для видимого света, контейнер с жидким материалом кажется молочным или полупрозрачным, а не прозрачным. Это происходит потому, что длинная ось молекул выровнена под случайными углами, поэтому свет рассеивается случайным образом. Ячейка жидкокристаллического дисплея устроена так, что молекулы следуют определенному выравниванию. Это выравнивание можно изменить с помощью внешнего электрического поля, что позволяет изменить поляризацию входящего света.

Рисунок 1. Основные молекулы жидкокристаллического полимера

MIC030F1

При производстве плоскопанельных дисплеев две стеклянные подложки обрабатываются отдельно, а затем соединяются вместе. Передняя подложка имеет рисунок для создания массива цветовых фильтров. На задней стеклянной подложке расположены тонкопленочные транзисторы и металлические соединительные линии. Эти две пластины сопрягаются в процессе сборки и, при необходимости, разрезаются и разделяются на отдельные дисплеи. Жидкокристаллический материал впрыскивается в зазор между двумя стеклянными пластинами. Дисплеи проверяются и тестируются, и на каждую стеклянную пластину наносится поляризующая пленка.

Для производства плоских дисплеев требуется множество отдельных процессов. Они требуют специального оборудования, материалов и процессов. Некоторые ключевые процессы описаны ниже.

Подготовка стеклянной подложки

Стеклянная подложка является важным и дорогостоящим компонентом дисплея. Требуется очень жесткий контроль оптических и механических свойств материала на каждой стадии процесса, особенно при нагреве.

Производство стекла

Два процесса используются для изготовления очень тонкого стекла с очень точными размерами и воспроизводимыми механическими свойствами. В процессе плавления, разработанном Corning, используется стеклянный питательный стержень, который плавится в клиновидном желобе и течет вверх и по краям желоба. Стекая по обеим сторонам желоба, расплавленное стекло соединяется в единый лист на дне желоба и может вытягиваться вниз как однородный лист. Толщина листа регулируется скоростью опускания стекла. Может быть получена ширина почти до 1 м.

Другие производители стекол с соответствующими размерами для ЖК-подложек используют флоат-метод изготовления. В этом методе расплавленное стекло вытекает на слой расплавленного олова. Стекло не растворяется и не реагирует с металлическим оловом, а плавает на поверхности. Это позволяет гравитации сгладить поверхность и позволить обеим сторонам стать параллельными. (см. главу Стекло, керамика и сопутствующие материалы.)

Доступны различные размеры подложек, вплоть до 450 × 550 мм и больше. Типичная толщина стекла для плоских дисплеев составляет 1.1 мм. Более тонкое стекло используется для некоторых небольших дисплеев, таких как пейджеры, телефоны, игры и так далее.

Резка, скашивание и полировка

Стеклянные подложки обрезаются по размеру после процесса плавления или флоатинга, обычно примерно до 1 м со стороны. За процессом формования следуют различные механические операции, в зависимости от конечного применения материала.

Поскольку стекло является хрупким и легко скалывается или трескается по краям, на них обычно делают фаски, фаски или иную обработку для уменьшения сколов при обращении. Термические напряжения в краевых трещинах накапливаются в процессе обработки подложки и приводят к ее разрушению. Поломка стекла является серьезной проблемой во время производства. Помимо возможности получения порезов и рваных ран работниками, это представляет собой потерю производительности, а осколки стекла могут оставаться в оборудовании, вызывая загрязнение твердыми частицами или царапая другие подложки.

Увеличение размера подложки приводит к увеличению сложности полировки стекла. Большие подложки крепятся к носителям с помощью воска или другого клея и полируются с помощью суспензии абразивного материала. За этим процессом полировки должна следовать тщательная химическая очистка для удаления остатков воска или других органических остатков, а также металлических примесей, содержащихся в абразиве или полировальной среде.

Уборка

Процессы очистки используются для чистых стеклянных подложек и для подложек, покрытых органическими пленками, такими как цветные фильтры, полиимидные ориентационные пленки и т.д. Кроме того, подложки с полупроводниковыми, изоляционными и металлическими пленками требуют очистки на определенных этапах производственного процесса. Как минимум, требуется очистка перед каждым этапом маскирования при изготовлении цветных фильтров или тонкопленочных транзисторов.

В большинстве случаев при очистке плоских панелей используется комбинация физических и химических методов с избирательным использованием сухих методов. После химического травления или очистки подложки обычно сушат изопропиловым спиртом. (См. таблицу 1.)

Табл. 1. Очистка плоскопанельных дисплеев

Физическая очистка

Сухая чистка

Химическая очистка

Чистка щеткой

Ультрафиолетовый озон

Органический растворитель*

Струйный спрей

Плазма (оксид)

Нейтральное моющее средство

Ультразвуковой

Плазма (неоксидная)

 

Мегазвук

Лазер

Чистая вода

* Обычные органические растворители, используемые при химической очистке, включают: ацетон, метанол, этанол, n-пропанол, изомеры ксилола, трихлорэтилен, тетрахлорэтилен.

Формирование цветового фильтра

Формирование цветного фильтра на передней стеклянной подложке включает в себя некоторые этапы обработки и подготовки стекла, общие для передней и задней панелей, в том числе процессы снятия фаски и притирки. Такие операции, как формирование рисунка, покрытие и отверждение, многократно выполняются на подложке. Существует много точек сходства с обработкой кремниевых пластин. Стеклянные подложки обычно обрабатываются в направляющих системах для очистки и покрытия.

Рисунок цветового фильтра

Для создания цветных фильтров для различных типов плоскопанельных дисплеев используются различные материалы и методы нанесения. Можно использовать либо краситель, либо пигмент, и любой из них можно наносить и создавать узор несколькими способами. В одном подходе желатин наносят и окрашивают в последовательных фотолитографических операциях с использованием оборудования для бесконтактной печати и стандартных фоторезистов. В другом используются пигменты, диспергированные в фоторезисте. Другие методы формирования цветных фильтров включают электроосаждение, травление и печать.

Депонирование ИТО

После формирования цветного фильтра завершающим этапом является напыление прозрачного электродного материала. Это оксид индия-олова (ITO), который на самом деле представляет собой смесь оксидов In2O3 и SnO2. Этот материал является единственным, подходящим для использования в качестве прозрачного проводника для ЖК-дисплеев. Тонкая пленка ITO требуется с обеих сторон дисплея. Обычно пленки ITO изготавливают с помощью вакуумного испарения и напыления.

Тонкие пленки ITO легко протравливаются влажными химическими веществами, такими как соляная кислота, но по мере того, как шаг электродов становится меньше, а детали становятся тоньше, может потребоваться сухое травление, чтобы предотвратить подрезание линий из-за перетравливания.

Формирование тонкопленочных транзисторов

Изготовление тонкопленочных транзисторов очень похоже на изготовление интегральной схемы.

Осаждение тонкой пленки

Подложки начинают процесс изготовления с этапа нанесения тонкой пленки. Тонкие пленки наносят методом CVD или методом физического осаждения из паровой фазы (PVD). Плазменный CVD, также известный как тлеющий разряд, используется для аморфного кремния, нитрида кремния и диоксида кремния.

Шаблоны устройств

После нанесения тонкой пленки наносится фоторезист и отображается изображение, позволяющее протравить тонкую пленку до соответствующих размеров. Последовательность тонких пленок осаждается и травится, как при изготовлении интегральных схем.

Нанесение ориентационной пленки и втирание

Как на верхнюю, так и на нижнюю подложку нанесена тонкая полимерная пленка для ориентации молекул жидкого кристалла на поверхности стекла. Эта ориентирующая пленка толщиной примерно 0.1 мкм может быть полиимидом или другим «жестким» полимерным материалом. После осаждения и запекания его натирают тканью в определенном направлении, оставляя на поверхности едва заметные бороздки. Натирание может производиться однократной тканью на ленте, подаваемой с валика с одной стороны, проходящей под валиком, контактирующим с подложкой, на валик с другой стороны. Подложка перемещается под тканью в том же направлении, что и ткань. Другие методы включают передвижную щетку, которая перемещается по подложке. Важное значение имеет ворс натирающего материала. Канавки помогают молекулам жидких кристаллов выравниваться на поверхности подложки и принимать правильный угол наклона.

Ориентационная пленка может быть нанесена центрифугированием или печатью. Метод печати более эффективен в использовании материала; От 70 до 80% полиимида переносится с печатного вала на поверхность подложки.

сборка

После завершения этапа притирки подложки начинается последовательность автоматизированной сборочной линии, которая состоит из:

  • нанесение клея (необходимо для герметизации панелей)
  • применение прокладки
  • расположение и оптическое выравнивание одной пластины по отношению к другой
  • воздействие (тепло или УФ) для отверждения клея и соединения двух стеклянных пластин вместе.

 

По линии происходит автоматизированная транспортировка как верхних, так и нижних плит. На одну пластину наносится клей, а вторая пластина вводится в аппликаторную станцию.

Впрыск жидких кристаллов

В случае, когда на подложке было построено более одного дисплея, дисплеи теперь разделяются путем нарезки. В этот момент жидкокристаллический материал может быть введен в зазор между подложками, используя отверстие, оставленное в герметизирующем материале. Затем это входное отверстие запечатывается и подготавливается к окончательной проверке. Жидкокристаллические материалы часто поставляются в виде двух- или трехкомпонентных систем, которые смешиваются при впрыскивании. Системы впрыска обеспечивают перемешивание и продувку ячейки во избежание захвата пузырьков в процессе наполнения.

Проверка и тестирование

Осмотр и функциональное тестирование выполняются после сборки и впрыска жидких кристаллов. Большинство дефектов связано с частицами (включая точечные и линейные дефекты) и проблемами с зазорами между ячейками.

Насадка-поляризатор

Последним этапом изготовления самого жидкокристаллического дисплея является нанесение поляризатора на внешнюю сторону каждой стеклянной пластины. Поляризационная пленка представляет собой композитную пленку, содержащую самоклеящийся клейкий слой, необходимый для прикрепления поляризатора к стеклу. Они наносятся автоматическими машинами, которые дозируют материал из рулонов или предварительно нарезанных листов. Эти машины представляют собой варианты этикетировочных машин, разработанные для других отраслей промышленности. Поляризационная пленка прикреплена к обеим сторонам дисплея.

В некоторых случаях перед поляризатором наносится компенсационная пленка. Компенсационные пленки представляют собой полимерные пленки (например, поликарбонат и полиметилметакрилат), которые растягиваются в одном направлении. Это растяжение изменяет оптические свойства пленки.

Готовый дисплей обычно имеет интегральные схемы драйвера, установленные на одной из стеклянных подложек или рядом с ней, обычно на стороне тонкопленочного транзистора.

опасности

Разрушение стекла представляет собой серьезную опасность при производстве ЖК-дисплеев. Возможны порезы и рваные раны. Воздействие химических веществ, используемых для очистки, является еще одной проблемой.

 

Назад

ОТКАЗ ОТ ОТВЕТСТВЕННОСТИ: МОТ не несет ответственности за контент, представленный на этом веб-портале, который представлен на каком-либо языке, кроме английского, который является языком, используемым для первоначального производства и рецензирования оригинального контента. Некоторые статистические данные не обновлялись с тех пор. выпуск 4-го издания Энциклопедии (1998 г.)».

Содержание: